The Mass Flow Controller(MFC) has become crucial in semiconductor manufacturing equipments. It is an important element because the quality and the yield of a semiconductor process are decided by the accurate flow control of gas. Therefore, the demand for the high speed and the highly accurate control of MFCs has been requested. It is hard to find an article of the control algorithm applied to MFCs. But, it is known that commercially available MFCs have PID control algorithms. Particularly, when the system detects the flow by way of heat transfer, MFC control problem contains the time delay and the nonlinearity. In this presentation, MFC control algorithm with the superior performance to the conventional PID algorithm is discussed and the superiority is demonstrated through the experiment. Fuzzy controller was utilized in order to compensate the nonlinearity and the time delay, and the performance is compared with that of a product currently available in the market. The control system, in this presentation, consists of a personal computer, the data acquisition board and the control algorithm carried out by LabWindows/CVI program on the PC. In addition, the method of estimating an actual flow from sensor output containing the time delay and the nonlinearity is presented. In conclusion, according to the result of the experiment, the proposed algorithm shows better accuracy and is faster than the conventional controller.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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1997.10a
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pp.993-998
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1997
The advanced technology of micro-machining is starting to penetrate our lives. This technology, with which it is possible to make micro-structures by means of processing on the order of nm (micrometer = 1/1,000 mm) or less, is realizing machines that were only part of our wildest imagination. However, the fact is that many issues remain in the quest for a variety of applications. With the advent of computing technologies, information technologies, and telecommunications technologies, we foresee the need for new approaches in design, process, and the use of materials, technologies, and people in a globalized manufacturing enterprise. A new thinking paradigm is needed to focus on quality of service on the products we design and manufacture. Factories in different regions need to be co-ordinated through use of the state-of-the-art information on productivity, diagnostics, and service evaluation of manufacturing systems could be shared among different locations and partners. In this research, We develope the internet based Diagnosis system for micro machining and evaluate its characteristics by using mechatronic sensor like Dynamometer, acoustic emission, Acceleration sensor, micro phone, vision, infra-red thermometer.
Kang, Seok-Jeong;Chung, Won-Jee;Park, Seung-Kyu;Noe, Sung Hun
Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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v.16
no.4
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pp.113-118
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2017
As the demand for industrial robots and Automated Guided Vehicles (AGVs) increases, higher performance is also required from them. Fuzzy controllers, as part of an intelligent control system, are a direct control method that leverages human knowledge and experience to easily control highly nonlinear, uncertain, and complex systems. This paper uses a $LabVIEW^{(R)}-based$ fuzzy controller with gain scheduling to demonstrate better performance than one could obtain with a fuzzy controller alone. First, the work area was set based on forward kinematics and inverse kinematics programs. Next, $LabVIEW^{(R)}$ was used to configure the fuzzy controller and perform the gain scheduling. Finally, the proposed fuzzy gain scheduling controller was compared with to controllers without gain scheduling.
International Journal of Internet, Broadcasting and Communication
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v.13
no.1
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pp.194-200
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2021
This study proposes a plan to construct an integrated platform that reduces manufacturing costs and efficiently produce by integrating the systems of main producers, production subcontractors, and raw material subcontractors for the production of food packaging containers. The production plan of food packaging containers and raw materials is established in real time between the main producers, production subcontractors, and raw material subcontractors in consideration of the demand characteristics of each product. It establishes basic information that all processes from the production planning stage to the forwarding stage of the product are linked to each other. The progress of each producer of interlinked processes is shared in real-time to improve productivity and quality of food packaging containers and raw materials and reduce manufacturing costs. By monitoring the system of the main producer and the production subcontractor in real time, the production of food packaging containers is performed in a timely manner, thereby improving productivity. The application of the plan-do-check-action (PDCA) process, which includes planning, execution, evaluation and improvement in the production operation processes of the main producer, production subcontractor and raw material subcontractor, enables improved production compliance rate. The contents of the main producers, production subcontractors, and raw material subcontractors are managed in real time, then a converged production management system is established through the platform proposed in this study to ensure timely supply and demand of raw materials without delay in ordering.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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v.18
no.4
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pp.805-815
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1994
The development of automatic production systems has a trend toward Computer Integrated Manufacturing System(CIMS) in recent years. In hardware configuration, CIMS are composed of intelligent CAD/CAM work stations, multifunction CNC machining centers including material handling systems. The DNC systems present the key element of automation hierarchy in a FMS. A DNC system is one which connects a number of numerically-controlled machines to a common memory in a digital computer for part program storage with provision for on-demand distribution of part program data to machines using communication in hierarchical structure of central computer, control computer and cell controller. This paper describes the development of Behind-the-Tape-Reader(BTR) type DNC system using CYBER 180-830 as a central computer and IBM PC-386 cell control computer and NC lathe with FANUC 5T NC controller. In this system, the connection between central computer and cell control computer is done via RS-232C serial interface board, and the connection between cell control computer and FANUC 5T controller is done via parallel interface board. The software consists of two module, central computer communication module for NC program downloading and status uploading, NC machine running module for NC operating.
Journal of Korean Society of Industrial and Systems Engineering
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v.32
no.1
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pp.102-110
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2009
Concurrent Engineering(CE) has presented new possibilities for successful product development by incorporating various product life-cycle functions from the earlier stage of design. In the product design, geometric representation is vital not only in its traditional role as a means of communicating design information but also in its role as a means of externalizing designer's thought process by visualizing the design product. During the last dozens of years, there has been extraordinary development of computer-aided tools intended to generate, present or communicate 3D models. However, there has not been comparable progress in the development of 3D-CAD systems intended to represent and manipulate a variety of product life-cycle information in a consistent manner. This paper proposes a novel concept, Minus Volume (MV), to incorporate various design information relevant to product lift-cycle functions. MV is a functional shape that is extracted from a design object within a bounding box. A prototype 3D-CAD system is implemented based on the MV concept and illustrated with the successful implementation of concurrent design and manufacturing.
IEMEK Journal of Embedded Systems and Applications
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v.15
no.2
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pp.79-85
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2020
IIoT stands for Industrial Internet of Things used in manufacturing, healthcare, and transportation in networked smart factories. Recently, IIoT's environment requires an automated control system through intelligent cognition to improve efficiency. In particular, IIoT can be applied to automatic calibration of production equipment for improved management in industrial environments. Such automation systems require a wireless network for transmitting industrial data. Self-calibration systems in laser transmission paths using wireless networks can save resources and improve production quality by real-time monitoring and remote control of laser transmission path. In this paper, we propose a wireless networked system for self-calibration of laser equipment that requires a laser transmission path, and we show the results of the prototype evaluation. The self-calibration system of laser equipment measures the coordinates of the laser points with sensors and sends them to the host using the proposed application protocol. We propose a wireless network service for the wired motor controller to align the laser coordinates. Using this wireless network, the host controls the motor by sending a control command of the motor controller in an HTTP message based on the received coordinate values. Finally, we build a prototype system of the proposed design to verify the detection performance and analyze the network performance.
Journal of Institute of Control, Robotics and Systems
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v.10
no.8
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pp.718-725
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2004
The real-time industrial network, often referred to as fieldbus, is an important element for intelligent manufacturing systems. Thus, in order to satisfy the real-time requirements of field devices, numerous fieldbus protocols have been announced. But, the application of fieldbus has been limited due to the high cost of hardware and the difficulty in interfacing with multi-vendor products. Therefore, as an alternative to fieldbus, the computer network technology, especially Ethernet (IEEE 802.3), is being adapted to the industrial environment. However, the crucial technical obstacle for Ethernet is its non-deterministic behavior that makes it inadequate for industrial applications where real-time data have to be delivered within a certain time limit. Recently, the development of switched Ethernet shows a very promising prospect for industrial application due to the elimination of uncertainties in the network operation resulting in much improved performance. This paper focuses on the application of the switched Ethernet with cascade structure for industrial communications. More specifically, this paper presents an analytical performance evaluation of switched Ethernet with cascade structure, and a case study about networked control system.
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
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v.7
no.1
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pp.47-50
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2006
An active contour model has been used to detect the edges in a still image. In order to apply the active contour model to edge detection, the energy function which consists of internal, external and image energies should be defined. After defining the energy function, the edge of an object is detected through minimization of the value of the energy function. In this paper, the modified internal energy function is proposed to improve the convergence of the energy function when the active contour model is applied to the tracking of deformable objects using the greedy algorithm. In order to show the performance of the proposed energy function, experiments were carried out for the still and animated images.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.14
no.4
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pp.46-55
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1997
This paper presents the development of intelligent performance management of computer communication networks for larger-scale integrated systems and the demonstration of its efficacy using computer simula- tion. The innermost core of the performance management is based on fuzzy set theory. This fuzzy perfor- mance manager has learning ability by using principles of neuro-fuzzy model, neuralnetwork, genetic algo- rithm(GA). Two types of performance managers are described in this paper. One is the Neuro-Fuzzy Per- formance Manager(NFPM) of which learning ability is based on the conventional gradient method, and the other is GA-based Neuro-Fuzzy Performance Manager(GNFPM)with its learning ability based on a genetic algorithm. These performance managers have been evaluated via discrete event simulation of a computer network.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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