Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제4권6호
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pp.32-37
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2003
In this paper, the trap characteristics of thin silicon oxides is investigated in the ULSI implementation with nano structure transistors. The stress and transient currents associated with the on and off time of applied voltage were used to measure the distribution of high voltage stress induced traps in thin silicon oxide films. The stress and transient currents were due to the charging and discharging of traps generated by high stress voltage in the silicon oxides. The transient current was caused by the tunnel charging and discharging of the stress generated traps nearby two interfaces. The stress induced leakage current will affect data retention in electrically erasable programmable read only memories. The oxide current for the thickness dependence of stress current, transient current, and stress induced leakage currents has been measured in oxides with thicknesses between 113.4nm and 814nm, which have the gate area 10$\^$-3/ $\textrm{cm}^2$. The stress induced leakage currents will affect data retention, and the stress current and transient current is used to estimate to fundamental limitations on oxide thicknesses.
Kim, Hye-Jeong;Lee, Jun-Yong;Chun, Sang-Hyun;Hong, Sang-Jeen
한국진공학회:학술대회논문집
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한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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pp.523-523
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2012
As the wafer geometric requirements continuously complicated and minutes in tens of nanometers, the expectation of real-time add-on sensors for in-situ plasma process monitoring is rapidly increasing. Various industry applications, utilizing plasma impedance monitor (PIM) and optical emission spectroscopy (OES), on etch end point detection, etch chemistry investigation, health monitoring, fault detection and classification, and advanced process control are good examples. However, process monitoring in semiconductor manufacturing industry requires non-invasiveness. The hypothesis behind the optical monitoring of plasma induced ion current is for the monitoring of plasma induced charging damage in non-invasive optical way. In plasma dielectric via etching, the bombardment of reactive ions on exposed conductor patterns may induce electrical current. Induced electrical charge can further flow down to device level, and accumulated charges in the consecutive plasma processes during back-end metallization can create plasma induced charging damage to shift the threshold voltage of device. As a preliminary research for the hypothesis, we performed two phases experiment to measure the plasma induced current in etch environmental condition. We fabricated electrical test circuits to convert induced current to flickering frequency of LED output, and the flickering frequency was measured by high speed optical plasma monitoring system (OPMS) in 10 kHz. Current-frequency calibration was done in offline by applying stepwise current increase while LED flickering was measured. Once the performance of the test circuits was evaluated, a metal pad for collecting ion bombardment during plasma etch condition was placed inside etch chamber, and the LED output frequency was measured in real-time. It was successful to acquire high speed optical emission data acquisition in 10 kHz. Offline measurement with the test circuitry was satisfactory, and we are continuously investigating the potential of real-time in-situ plasma induce current measurement via OPMS.
Boussinesq 모형을 이용하여 규칙파 조건(Regular wave condition)에서 파랑변형 및 해빈류의 수치모의를 하였다. 파랑변형의 수치결과는 선행 연구에 의한 수리실험 결과와 비교하여 매우 좋은 일치를 보였으며, 검증한 파랑변형 결과를 바탕으로 충분히 안정한 상태 이후의 해빈류를 계산하여 예측하였다. 모형의 현장 적용성을 위해, 실규모해역에서 관측한 선행 연구의 현장자료와 비교하였으며, 파랑변형의 수치결과는 현장자료와 비교적 양호한 일치를 보였다. 해빈류의 수치결과는 연안사주가 발단된 지역에서 다소 과소평가 되었지만, 전반적으로 해빈류의 공간적 분포에 대하여 정도 있게 예측한 것으로 여겨진다.
Background : Amygdalin is abundant in Armeniacae semen, and it is recently reported to treat cancers and relieve pain. But modus operandi of amygdalin at the level of neuron has not been reported, yet. Objective : This study aimed to find out the effect of amygdalin on glycine- and glutamate-induced ion currents in periaqueductal gray (PAG) neurons. And it was investigated that amygdalin participates in the regulation of the descending pain control system in the level of PAG neurons. Method : We investigated that the changes of glycine- and glutamate-induced ion currents in PAG neurons through application of lipopolysaccharides (LPS) and application of amygdalin with LPS by using the nystatin-perforated patch clamp method. Result : Application of LPS on PAG neurons resulted in increased glycine-induced ion current, and in decreased glutamate-induced ion current. In contrast, application of amygdalin with LPS resulted in decreased glycine-induced ion current increased by LPS, and increased glutamate-induced ion current decreased by LPS. Conclusion : Amygdalin from Armeniacae semen controls glycine- and glutamate-induced ion current by LPS in PAG neurons, and it is suggested that amygdalin participates in the regulation of the descending pain control system in the level of PAG neurons.
This paper estimates the electric field effect near 765[kV] AC double transmission line with numerical data. The induced voltage and current of a human and car under who kinds of phase arrangement are calculated when each of two objects is insulated or grounded. When the calculated results of the low-reactance and superposition phase arrangement are compared, it is proved that the induced voltage and current of the former are about 30 [%] smaller than that of the latter. The induced current of a human and car are less than 0.5[mA] which is about 10[%] less than that of the American National Standard Code. Also the induced voltage and current of dead lines by other live lines are calculated. Finally the effective number and position of shield wires to reduce the field in ground level are considered. charge simulation method and surface charge method are used to simulate the 2 or 3 dimensional transmission line model respectively.
This paper analysed the induced current density inside human body of hot-line worker for 765kV double circuit transmission line according to locations of human body. Human model was composed of several organs and other parts, whose shapes were expressed by spheroids or cylinders. Organs such as the brain, heart, lungs, liver and intestines were taken into account. Applying the 3 dimensional boundary element method, we calculated induced current density in case a worker was located inside and outside a lowest phase of 765 kV transmission line in which a 60% current of maximum load flowed. As results of study, we found a maximum induced current density in all organs was less than $10mA/m^2$ when a wonder was outside. As one in brain and heart was higher than $10mA/m^2$ when a worker was inside, we propose a method for lowering current density.
Wave-induced current model is developed in our study and this model is composed with wave transform model and current model. Two types of wave model are used in our study, one is Copeland(1985) type which is applied in the offshore region and the other is Watanabe and Maruyama(1984) type which is applied in the surf zone. The depth-integrated and time-averaged governing equation of an unsteady nonlinear form is used in the wave induced current model. Lateral mising, radiation stresses, surface and bottom stresses are considered in our current model. Copeland's(1985) relult is used to calculate radiation stress and Berkmeir & Darlymple's(1976) is used as a surface friction formula. Numerical solutions are obtained by Leendertse scheme and compared with Noda's(1974) experimental results for the uniform slope coastal region test and Nishimura & Maruyama's(1985) experimental relults and numerical simulation results for the detached breakwater test. The results from our wave model show good agreement with the others and also show nonlinear effects around the detached breakwater. Wave induced current model is developed in this study and this model shows nonlinear effects around the detached breakwater and can be applied in the surf zone and also consider the friction stresses.
A Wave-induced current model is developed in our study and this model is composed with wave transform model and current model. Two types of wave model are used in our study one is Copeland(1985) type which is applied in the offshore region and the other is Watanabe and Maruyama(1984) type which is applied in the surf zone. The depth-integrated and time-averaged governing equation of an unsteady nonlinear form is used in the wave induced current model. Lateral mixing radiation stresses surface and bottom stresses are considered in our current model. Copeland’s(1976) is used as a surface friction formula. Numerical solutions are obtained by Leendertse scheme and compared with Noda’s(1974) experimental results for the uniform slope coastal region test and Nishimura & Naruyama’s (1985) experimental results and numerical simulation results for the detached breakwater. The results from our wave model and wave model and wave-induced current model show good agreements with the others and also show nonlinear effects around the detached breakwater. The model in this study can be applied in the surf zone considering the friction stresses.
The construction of the coastal structures and reclamation work causes the circulation reduced in the semi-closed inner water area and the unbalanced sediment budget of beach results in an alteration of beach topography. Among the various fluid motions in the nearshore zone water particle motion due to wave and wave-induced currents are the most responsible for sediment movement. Therefore it is needed to predict the effect of the environmental change because of development and so the prediction of wave transformation dose. The purpose of this study is to introduce the relation between waves wave-induced currents and sediment movement. In this study we will show numerical method using energy conservation equation involving reflection diffraction and reflection and the surfzone energy dissipation term due to wave breaking is included in the basic equation. For the wave-induced current the momentum equation was combined with radiation stresses lateral mixing and friction Various information is required in the prediction of wave-induced current depending on the prediction tool. We can predict changes in wave-induced current from the distribution of wave especially near the wave breaking zone. To evaluate these quantities we have to know the local condition of waves mean sea level and so on. The results from the wave field and wave-induced current field deformation models are used as input data of the sediment transport and bottom change model. Numerical model were established by a finite difference method then were applied to the development plan of the eastern Pusan coastal zone Yeonhwa-ri and Daebyun fishing port. We represented the result with 2-D graphics and made comparison between before and after development.
This study is to predict accurately the wave induced current accuring by the radiation stress which acts as the driving force around Nearshore structure. For the wave induced current, the depth integrated and time averaged governing equation of an unsteady nonlinear form is derived from the continuity and momentum equation of an incompressible fluid. Numerical solutions are obtained by a finite difference method for the governing equation. In the vicinity of a structure, computed flow patterns show good agreement with the hydraulic experimental data. The numerical results obtained by neglecting the convective term show a large change of alongshore and offshore current.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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