Fabrication of InP-Based Microstructures for III- V Compound Semiconductor Micromachining (III-V 화합물 반도체 마이크로머시닝을 위한 InP를 기반으로 한 미세구조의 제조에 관한 연구)
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- Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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- v.4 no.5
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- pp.1151-1156
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- 2000