The effect of micro/nano-scale wafer deformation on UV-nanoimprint lithography using an elementwise patterned stamp (다중양각스탬프를 사용하는 UV 나노임프린트 리소그래피공정에서 웨이퍼 미소변형의 영향)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2004.10a
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- pp.1119-1122
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- 2004