근접장 마이크로파 현미경을 이용한 ITO 박막의 표면저항의 비파괴 관측 특성 연구 (Nondestructive measurement of surface resistance of indium tin oxide(ITO) films by using a near-field scanning microwave microscope)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2004년도 춘계학술대회 논문집 디스플레이 광소자분야
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- pp.137-141
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- 2004