A Comparative Study of CrN Coatings Deposited by DC and Inductively Coupled Plasma Magnetron Sputtering (DC 스퍼터법과 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 CrN 코팅막의 물성 비교연구)
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- Journal of the Korean institute of surface engineering
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- v.45 no.3
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- pp.123-129
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- 2012