• 제목/요약/키워드: Hyperthermal

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Microwave Electric Field and Magnetic Field Simulations of an ECR Plasma Source for Hyperthermal Neutral Beam Generation

  • 이희재;김성봉;유석재;조무현;남궁원
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.501-501
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    • 2012
  • A 2.45 GHz electron cyclotron resonance (ECR) plasma source with a belt magnet assembly configuration (BMC) was developed for hyperthermal neutral beam (HNB) generation. A plasma source for high flux HNB generation should be satisfied with the requirements: low pressure operation, high density, and thin plasma. The ECR plasma source with BMC achieved high density at low operation pressure due to electron confinement enhancement caused by high mirror ratio and drifts in toroidal direction. The 2.45 GHz microwave launcher had a circularly bended WR340 waveguide with slits. The microwave E-field profile induced by the microwave launcher was studied in this paper. The E-field profile was a cups field perpendicular to B-filed at ECR zone. The optimized E-field profile and B-field were found for effective ECR heating.

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Hyperthermal 중성빔을 이용한 HIT cell용 Si 박막 형성 및 계면특성 (Deposition of Si film and properties of interface for HIT cell by hyperthermal neutral beam)

  • 오경숙;최성웅;김대철;김종식;김영우;유석재;홍문표;박영춘;이봉주
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.394-396
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    • 2008
  • 기존의 PECVD에서 문제시 되고 있는 플라즈마에 의한 박막손상과 $300^{\circ}C$ 이상의 증착온도 등의 단점을 보완한 증착 기술로 중성입자 빔 (Hyper-thermal neutral beam ; HNB)을 이용한 저온 증착방법에 대한 연구를 진행하였다. 중성빔을 이용하여 HNB sputtering 방법과 $SiH_4$와 Ar, $H_2$ 가스를 이용한 HNB CVD 방법으로 a-Si 박막 제작에 대한 연구를 진행하였고, HIT(heterojunction with Intrinsic Thin layer) cell 태양전지를 만들고자 기본적인 박막 증착과 박막 특성 및 계면특성 등의 분석을 실시하였다. 유리기판과 p-type Si 기판 위에 a-Si 및 nc-Si 박막을 증착하였으며, TEM, FTIR, Raman, IV 측정 등을 통해 그 특성을 분석하여 HNB의 특성 및 효과를 규명하였다.

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Hyperthermal Collision-induced Dissociation of Bromotoluene Radical Cations at Self-Assembled Monolayer Surfaces

  • Jo, Sung-Chan;Augusti, Rodinei;Cooks, R. Graham
    • Mass Spectrometry Letters
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    • 제2권1호
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    • pp.24-27
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    • 2011
  • Hyperthermal ion/surface collisions of bromotoluene radical cations were studied using perfluorinated (F-SAM) and hydroxyl-terminated (OH-SAM) self-assembled monolayer surfaces in a tandem mass spectrometer with BEEQ geometry. The isomers were differentiated by ion abundance ratios taken from surface-induced dissociation (SID). The dissociation rate followed the order of ortho > meta > para isomers. The peak abundance ratio of m/z 51 to m/z 65 showed the best result to discern the isomers. A dissociation channel leading to tolylium ion was suggested to be responsible for the pronounced isomeric differences. The capability of SID to provide high-energy activation with narrow internal energy distribution may have channeled the reaction into the specific dissociation pathway, also facilitating small differences in reaction rates to be effective in the spectral time window of this experiment. All of the molecular ions experiencing reactive collisions with the F-SAM surface undergo transhalogenation, in which a fluorine atom on the surface replaces the bromine in the incoming ions. This reactive collision was dependent on the laboratory collision energy occurring in ca. 40.75 eV range.

Scattering of Noble Gas Ions from a Si(100) Surface at Hyperthermal Energies (20-300 eV)

  • 이현우;Kang, H.
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제16권2호
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    • pp.101-104
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    • 1995
  • In an attempt to understand the nature of hyperthermal ion-surface collisions, noble gas ion beams (He+, Ne+, Ar+, and Xe+) are scattered from a Si(100) surface for collision energies of 20-300 eV and for 45°incidence angle. The scattered ions are mass-analyzed using a quadrupole mass spectrometer and their kinetic energy is measured in a time-of-flight mode. The scattering event for He+ and Ne+ can be approximated as a sequence of quasi-binary collisions with individual Si atoms for high collision energies (Ei > 100 eV), but it becomes of a many-body nature for lower energies, Ar+ and Xe+ ions undergo mutliple large impact parameter collisions with the surface atoms. The effective mass of a surface that these heavy ions experience during the collision increases drastically for low beam energies.

하이퍼써멀 에너지 영역에서 높은 플럭스 입자빔 생성을 위한 플라즈마 발생원 (Plasma Sources for Production of High Flux Particle Beams in Hyperthermal Energy Range)

  • 유석재;김성봉
    • 한국진공학회지
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    • 제18권3호
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    • pp.186-196
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    • 2009
  • 하이퍼써멀 영역의 에너지 ($1{\sim}100\;eV$), 특히, 50 eV 이하의 에너지를 갖는 높은($10^{16}$ particles/$cm^2\;s$ 이상) 플럭스의 이온빔을 직접 인출하기는 어렵지만, 이온을 중성화한 중성입자빔 경우에는 가능하다. 높은 플럭스의 하이퍼써멀 중성입자빔을 생성하고 효율적으로 수송하기 위해서는 낮은 플라즈마 운전압력(0.3 mTorr 이하)에서도 높은 이온밀도($10^{11}\;cm^{-3}$ 이상)를 유지할 수 있는 대면적 플라즈마 발생원이 요구된다. 이러한 하이퍼써멀 중성입자빔의 생성을 위해 요구되는 플라즈마 발생원을 구현하기 위해서는 자기장에 의한 전자가둠 방식이 도입되어야 하는데, 영구자석을 이용한 다양한 자기장 구조를 갖는 Electron Cyclotron Resonance (ECR) 플라즈마 발생 방식이 하나의 해결 방법이 될 수 있음을 제안하였다. 여기에는 마그네트론 구조를 갖는 자기장을 채택한 평면형 ECR 플라즈마 발생 방식과 원통형 플라즈마 용기 외벽 둘레에 영구자석 어레이를 설치하여 축방향 자기장을 형성하고 용기 중심부에 전자를 가두는 원통형 방식이 있다. 두 경우 모두 기본적으로 mirror field 구조에 의한 전자 가둠을 기반으로 하고 전자의 drift에 의해 더욱 효율적으로 전자를 플라즈마 공간에 가두는 방식을 도입하고 있어서 낮은 운전압력에서도 높은 밀도의 플라즈마를 발생시키고 유지할 수 있다.

Properties of Si thin films by hyperthermal neutral beam

  • Oh, Kyoung-Suk;Choi, Sung-Woong;Kim, Dae-Chul;Yoo, Suk-Jae;Park, Young-Chun;Hong, Mun-Pyo;Kim, Young-Woo;Lee, Bon-Ju
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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    • pp.316-316
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    • 2008
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Secondary Erythromelalgia - A Case Report -

  • Kang, Byoung Chan;Nam, Da Jeong;Ahn, Eun Kyoung;Yoon, Duck Mi;Cho, Joung Goo
    • The Korean Journal of Pain
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    • 제26권3호
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    • pp.299-302
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    • 2013
  • Erythromelalgia is a rare neurovascular pain syndrome characterized by a triad of redness, increased temperature, and burning pain primarily in the extremities. Erythromelalgia can present as a primary or secondary form, and secondary erythromelalgia associated with a myeloproliferative disease such as essential thrombocythemia often responds dramatically to aspirin therapy, as in the present case. Herein, we describe a typical case of a 48-year-old woman with secondary erythromelalgia linked to essential thrombocythemia in the unilateral hand. As this case demonstrates, detecting and visualizing the hyperthermal area through infrared thermography of an erythromelalgic patient can assist in diagnosing the patient, assessing the therapeutic results, and understanding the disease course of erythromelalgia.