• 한국광물학회지
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• 제1권2호
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• pp.94-103
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• 1988

YAG (Yttrium Aluminum Garnet) 레이저와 다이아몬드앤빌셀 (DAC)을 이용하여 페롭스카이트 구조물질중 $BaTiO_3$와 $PbTiO_3$에 대한 상(相)전이와 $MgSiO_3$와 $(Mg_{0.87},\;Fe_{0.13})SiO_3$ 성분(成分)의 사방휘석으로부터 규산염 페롭스카이트를 합성하였다. $BaTiO_3$와 $PbTiO_3$는 실온의 2.6 GPa와 4.0 GPa에서 각각 정방정계에서 등축정계로 상(相)전이하며 고온, 고압하에서 매우 넓은 안정영역을 갖고 있다. $MgSiO_3$ 엔스테타이트를 출발물질로 하였을 경우 약 33 GPa, $1,000^{\circ}C$의 조건하에서 페롭스카이트가 주성분인데, 일메나이트, 감마스피넬, 스티쇼마이트도 부성분으로 나타난다. $(Mg_{0.87},\;Fe_{0.13})SiO_3$의 경우는 약 35 GPa와 $1,000^{\circ}C$에서 페롭스카이트상(相)이 주성분으로 나타나며, 베타스피넬, 스티쇼바이트와 본래 엔스테타이트상(相)도 유지되나, 일메나이트상(相)과 감마스피넬은 나타나지 않는다.

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2009년도 춘계학술발표대회
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• pp.25.1-25.1
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• 2009

Pattern 웨이퍼 상의 오염입자 제거는 반도체 산업의 주된 과제 중 하나이다. Pattern의 선폭이 좁아짐에 따라 Pattern에 손상을 가하지 않고 오염입자를 제거 하는 것은 더욱 어려워지고 있다. 그뿐만 아니라 기존 습식세정 공정에서의 화학액에 의한 환경오염 및 박막의 손실도 문제가 되기 시작했다. 이러한 문제를 해결하기 위해 기존 세정공정에서 화학액의 농도를 낮추고 Megasonic 등을 이용하여 세정력을 보완하는 방법들이 연구되고 있다. 하지만 습식세정의 경우 강한 화학작용으로 인한 표면 손상 및 물 반점의 문제는 여전히 이슈가 되고 있다. 이러한 단점을 극복하기 위하여 건식 세정법이 제시되고 있으며 이 중 레이저 충격파는 레이저를 집속시켜 발생된 충격파를 이용하여 입자를 제거하기 때문에 국부적인 세정이 가능하며 세정력 조절이 가능하여 손상이 세정을 할 수 있다. 그러나 Pattern의 구조에 의해 전되는 세정력의 차이가 발생하고 Trench 내부의 오염입자제거 문제점이 발생할 수 있다. 시편은 Si STI Pattern을 100 nm PSL Particle (Red Fluorescence, Duke Scientific, USA) 을 50ppm 농도로 희석시킨 IPA에 dipping 하여 오염시킨 후 N2 Gas를 이용하여 건조하여 준비하였다. 그리고 레이저 충격파 세정 시스템은 최대 에너지 1.8 J까지 가능한 레이저를 발생하는 1,064 nm Nd:YAG 레이저를 이용하여 실험하였다. 레이져 충격파 실험은 충격파와 시편사이의 거리, gap distance와 에너지를 변환하여 세정효율을 관찰하였다. 세정효율은 세정 전후의 입자 감소량을 현광현미경 (LV-150, Nikon, Japan)를 이용하여 측정하였다. 그 결과, Trench 내부의 오염입자의 경우 Trench 밖의 오염입자에 비해 세정효율이 떨어지는 것으로 나타났으나 시편과 레이저 초점과의 거리가 가까워짐에 따라 Trench 내부의 오염입자에 대한 세정 효율을 증가시킬 수 있었다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제40권5호
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• pp.495-500
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• 1993

연구배경 : 수술이 불가능한 주기도의 종양성 병변에 의한 기도 폐쇄를 치료하는 방법으로서 Yag-laser 치료, 체외부 방사선치료나 기관지내 방사선치료법 등이 있다. 최근 조기 간암 환자들에서 직접 ethanol을 암조직내로 투입해서 좋은 효과가 보고되고 있어 저자들도 주기도 폐쇄를 일으킨 폐암환자 11명을 대상으로 기관지경을 통해 직접 암종괴내로 ethanol을 주입하여 기도폐쇄를 호전시킬 수 있었기에 보고하는 바이다. 방법 : 지속적인 산소 주입하에 굴곡성 기관지 내시경을 통해 경기관지 흡입침을 이용하여 종양내로 직접 ethanol을 0.5~1.0ml씩을 수회 주입한 후 생검 겸자로 종양을 제거하였으며 필요시는 3~4일후 이 조작을 되풀이하였다. 결과 : ethanol 주입 직후 점막이 창백해지고 출혈이 즉시 멎었으며 지연 효과로서 종양의 괴사가 발생하였으며, 대부분의 환자에서 2~3회 치료후 기간지가 개방되었고 증상 및 흉부 X-선 사진의 호전을 보였다. 11명 환자들에서 폐기능 검사상 FVC가 $2.1{\pm}0.84L$에서 $2.44{\pm}0.92L$로 $FEV_{1.0}$이 $1.48{\pm}0.69L$에서 $1.80{\pm}0.64L$로 증가하였고, $PaO_2$는 $68.1{\pm}9.2$ mmHg에서 $83.9{\pm}8.1$ mmHg로 (p<0.005), $SaO_2$는 $94{\pm}8.5%$에서 $96.6{\pm}1.1%$(p<0.005)로 증가하였으며, $AaDO_2$는 $26.5{\pm}8.5$mmHg에서 $10.9{\pm}9.1$mmHg(p<0.005)로 감소하였다. 결론 : 종양에 의한 주기관지 폐색환자에서 ethanol을 종양 조직내 직접 주입하는 것은 주기도 폐쇄를 치료하는데 빠른 효과를 볼 수 있으며, 저렴한 비용으로 비교적 안전하게 시행할 수 있는 방법이라 생각한다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제76권3호
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• pp.141-145
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• 2014

Although endobronchial hamartoma is a rare benign tumor, most patients with endobronchial hamartoma have respiratory symptoms such as obstructive pneumonia, hemoptysis, cough, or dyspnea due to bronchial obstruction. It can cause irreversible post-obstructive pulmonary destruction, thus early diagnosis and treatment is very important. Recently, there have been cases of neodymium-doped yttrium aluminum garnet (Nd:YAG) laser and electrocautery procedures for bronchoscopic treatment of malignant or benign central airway obstruction with comparable therapeutic efficacy and few complications. Bronchoscopic cryotherapy is a newly developed technique for management of central airway obstruction. Moreover, it provides diagnostic methods with improving diagnostic yield and safety. We report two cases of endobronchial hamartoma, each diagnosed and definitively treated with bronchoscopic techniques. Endobronchial biopsy and removal was successfully performed by cryotherapy via flexible bronchoscopy without notable complications. Follow-up bronchoscopic examinations excluded residual or recurrent disease.