2단계 증착법으로 제조된 Pb(Zr, Ti)O$_3$ 압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구
(The Electrical Properties and Residual Stress of Pb(Zr,Ti)O$_3$ Piezoelectric Thin Films fabricated by 2- Step Deposition Method)
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- 한국재료학회지
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- 제11권9호
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- pp.769-775
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- 2001