Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2004.10a
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pp.564-567
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2004
In the manufacture of integrated circuits, photolithography is the lowest yield step in present production lines. Electron beams form a powerful set of tools with which to attack this problem. Electron beams can be used to make patterns that are smaller than can a photolithography. We design a high voltage generator of electron beam manufacturing system. For this purpose, first, the configuration of electron beam manufacturing system was analyzed. Second, the basic configuration of a high voltage generator and test results were presented.
Kim, Jin-Gyu;Choi, Joo-Hyoung;Jeong, Jong-Man;Kim, Young-Min;Suh, Il-Hwan;Kim, Jong-Pil;Kim, Youn-Joong
Bulletin of the Korean Chemical Society
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v.28
no.3
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pp.391-396
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2007
The three-dimensional structure of an inorganic crystal, CaMoO4 (space group I 41/a, a = 5.198(69) A and c = 11.458(41) A), was determined by electron crystallography utilizing a high voltage electron microscope. An initial structure of CaMoO4 was determined with 3-D electron diffraction patterns. This structure was refined by crystallographic image processing of high resolution TEM images. X-ray crystallography of the same material was performed to evaluate the accuracy of the TEM structure determination. The cell parameters of CaMoO4 determined by electron crystallography coincide with the X-ray crystallography result to within 0.033-0.040 A, while the atomic coordinates were determined to within 0.072 A.
Three-dimensional melanin granules of mummy's hair analyzed using high voltage electron microscopy at 1250kV. The melanin granules in the cortex of mummy's hair located in close proximity to the outer of cortex in the adjacent place of the cuticles. A lot of melanin granule performed in this area. It is a distinguished difference from modern human. While it rotated up to 60 degree counter-clockwise and taken a photo per one degree using high voltage electron microscopy. The melanin granule displayed with long elliptical and variable at the size. The size of granule is measured from $0.3{\sim}0.6{\mu}m$ in minimum diameter and $0.5{\sim}1{\mu}m$ in maximum diameter. Conclusionally, high voltage electron microscope has higher resolution and penetration power than conventional transmission electron microscope that could be load biological thick specimen.
Electron tomography (ET) of biological specimens is performed from a series of images obtained over a range of tilt angles in a transmission electron microscope. When using the high voltage electron microscope (HVEM), various noises appear in EM images acquired from thick sections by high voltage electron beam. In order to obtain an adequate result in electron tomograms that allow visualization of rather complex and mega-cellular structure such as brain tissue, it is necessary to remove the noise in each original tilt images of thick section. Using band-pass filtering of original tilt images, the filtered images are obtained and used to assemble a reconstructed tomogram. The qualified 3D tomogram from filtered images results in a considerable reduction of the noises compared to conventional tomogram. In conclusion, this study suggests that band-pass filtering is effective to improve the brightness and intensity of HVEM produced tomograms acquired from micron-thick sections of biological specimens.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2005.06a
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pp.1875-1878
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2005
It is not efficient and scarcely out of the question to use commercial expensive electron beam lithography system widely used for semiconductor fabrication process for the manufacturing application field of various devices in the small business scope. Then scanning electron microscope based electron beam machining system is maybe regarded as a powerful model can be used for it simply. To get a complete suite of thus proper system, column unit build up with electron beam gun head unit is necessarily required more than anything else to modify scanning electron microscope. In this study, various components included ceramic isolation plate and main body which are essentially constructed for electron beam gun head unit are designed and manufactured. And this electron beam gun head unit will be used for next connected study in the development step of scanning electron microscope based electron beam machining system.
This paper describes a new design of carbon nanotube tip. $Nanocly^{TM}$ NC 7000 Thin Multiwall Carbon Nanotubes of carbon purity (90%) and average diameter tube 9.5 nm with a high aspect-ratio (>150) were used. These tips were manufactured by employing a drawing technique using a glass puller. The glass microemitters with internal carbon nanotubes show a switch-on effect to a high current level (1 to $20{\mu}A$). A field electron microscope with a tip (cathode)-screen (anode) separation at ~10 mm was used to characterize the electron emitters. The system was evacuated down to a base pressure of ${\sim}10^{-9}$ mbar when baked at up to ${\sim}200^{\circ}C$ overnight. This allowed measurements of typical Field Electron Emission characteristics; namely the current-voltage (I-V) characteristics and the emission images on a conductive phosphorus screen (the anode). Fowler-Nordheim plots of the current-voltage characteristics show current switch-on for each of these emitters.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2006.05a
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pp.459-460
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2006
Electron beam manufacturing system can be used to make patterns that are smaller than can a photolithography. In this system, High voltage generator is a fundamental element for stable beam. We used high voltage with transformer. However, this instrument has several problems (for examples, dimensions, buying parts, simplicity of control circuit). For solving these problems, a commercial product is considered. This is developed for SEM(Scanning Electron Microscope). In this paper, we designed a control circuit for a commercial product and analyzed performance.
Kamino, T.;Yaguchi, T.;Ueki, Y.;Ohnish, T.;Umemura, K.;Asayama, K.
한국전자현미경학회:학술대회논문집
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2001.11a
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pp.18-22
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2001
A technique to characterize specific site of materials using a combination of a dedicated focused ion beam system(FIB), and Intermediate-voltage scanning transmission electron microscope(STEM) or transmission electron microscope(TEM) equipped with a scanning electron microscope(SEM) unit has been developed. The FIB system is used for preparation of electron transparent thin samples, while STEM or TEM is used for localization of a specific site to be milled in the FIB system. An FIB-STEM(TEM) compatible sample holder has been developed to facilitate thin sample preparation with high positional accuracy Positional accuracy of $0.1{\mu}m$ or better can be achieved by the technique. In addition, an FIB micro-sampling technique has been developed to extract a small sample directly from a bulk sample in a FIB system These newly developed techniques were applied for the analysis of specific failure in Si devices and also for characterization of a specific precipitate In a metal sample.
The objects of the nature have three dimensional (3-D) parameters. The 3-D profiles are embedded on the photographs and microscopic images. To understand 3-D configuration, stereo pair image with thick section is frequently employed. The perception of 3-D images is possible with the aid of stereoscopic glasses, although the expert can perceive 3-D images without the glasses. Anaglyphic stereo images are constructed by various softwares from commercial and freeware. Here we would like to present an easy anaglyphs construction method with Adobe $Photoshop^{(R)}$ based on tilting paired images from high voltage electron microscope. The anaglyphic stereo images constructed revealed the same 3-D perception with conventional stereoscopy. We could zoom in/out the anaglyph image digitally to investigate the detail configuration by real time. This method is expected to contribute to understanding complex structures 3 dimensionally.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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