So, Hyun-Wook;Lee, Dong-Hyeok;Jang, Jin-Nyoung;Hong, Mun-Pyo
한국진공학회:학술대회논문집
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한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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pp.253-253
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2012
Low temperature SiOx film process has being required for both silicon and oxide (IGZO) based low temperature thin film transistor (TFT) for application of flexible display. In recent decades, from low density and high pressure such as capacitively coupled plasma (CCP) type plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) to the high density plasma and low pressure such as inductively coupled plasma (ICP) and electron cyclotron resonance (ECR) have been used to researching to obtain high quality silicon oxide (SiOx) thin film at low temperature. However, these plasma deposition devices have limitation of controllability of process condition because process parameters of plasma deposition such as RF power, working pressure and gas ratio influence each other on plasma conditions which non-leanly influence depositing thin film. In compared to these plasma deposition devices, neutral beam assisted chemical vapor deposition (NBaCVD) has advantage of independence of control parameters. The energy of neutral beam (NB) can be controlled independently of other process conditions. In this manner, we obtained NB dependent high crystallized intrinsic and doped silicon thin film at low temperature in our another papers. We examine the properties of the low temperature processed silicon oxide thin films which are fabricated by the NBaCVD. NBaCVD deposition system consists of the internal inductively coupled plasma (ICP) antenna and the reflector. Internal ICP antenna generates high density plasma and reflector generates NB by auger recombination of ions at the surface of metal reflector. During deposition of silicon oxide thin film by using the NBaCVD process with a tungsten reflector, the energetic Neutral Beam (NB) that controlled by the reflector bias believed to help surface reaction. Electrical and structural properties of the silicon oxide are changed by the reflector bias, effectively. We measured the breakdown field and structure property of the Si oxide thin film by analysis of I-V, C-V and FTIR measurement.
TiC-21 mol% Mo solid solution (${\delta}$-phase) and TiC-99 mol% Mo solid solution (${\beta}$-phase), and TiC-(80~90) mol% Mo hypo-eutectic composite were deformed by compression in a temperature range from room to 2300 K and in a strain rate range from $4.9{\times}10^{-5}$ to $6.9{\times}10^{-3}/s$. The deformation behaviors of the composites were analyzed from the strengths of the ${\delta}$- and ${\beta}$-phases. It was found that the high strength of the eutectic composite is due primarily to solution hardening of TiC by Mo, and that the ${\delta}$-phase undergoes an appreciable plastic deformation at and above 1420 K even at 0.2% plastic strain of the composite. The yield strength of the three kinds of phase up to 1420 K is quantitatively explained by the rule of mixture, where internal stresses introduced by plastic deformation are taken into account. Above 1420 K, however, the calculated yield strength was considerably larger than the measured strength. The yield stress of ${\beta}$-phase was much larger than that of pure TiC. A good linear relationship was held between the yield stress and the plastic strain rate in a double-logarithmic plot. The deformation behavior in ${\delta}$-phase was different among the three temperature ranges tested, i.e., low, intermediate and high. At an intermediate temperature, no yield drop occurred, and from the beginning the work hardening level was high. At the tested temperature, a good linear relationship was held in the double logarithmic plot of the yield stress against the plastic strain rate. The strain rate dependence of the yield stress was very weak up to 1273 K in the hypo-eutectic composite, but it became stronger as the temperature rose.
The low foamed high strengthen styrofoam samples made by dielectric heating are discussed. We used the oscillator which have the frequency of 13.6MHz and the Power of 7kW. 3 times expanded beads by steaming method were used in our foam-molding test. Internal fusion properties and density of internal structure were improved by dielectric foaming process. At the temperature of 105-110$^{\circ}C$, the internal fusion property was maximally improved.
본 연구에서는 Al-Ti-C 반응계의 점화온도에 대해 고찰하고, 자전연소합성법 및 교반주조 공정을 통해 TiC/Mg 금속복합재료를 제조하여 미세조직 및 기계적 특성을 분석하였다. 0, 10, 20, 30 vol.% TiC 입자가 균일하게 분산된 Mg 복합재료를 제조하였고, 강화재의 양이 증가할수록 기지 대비 우수한 압축강도 및 내마모특성을 보였다. 이는 in-situ 자전연소합성법에 의해 결함이나 불순물 등의 오염이 적은 TiC/Mg 금속복합재료 제조로 기지에서 강화재로의 효과적인 하중 전달에 의한 것으로 판단된다.
Modern technological progress demands the use of materials at high temperature and high pressure. One of the most critical factors in considering such applications-perhaps the most critical one-is creep behavior. In this study the activation energy for the creep rupture (Qf) and the stress dependence of rupture time (n') have been determined during creep of Al 7075 alloy eve, the temporature range of $200^{\circ}C to 500^{\circ}C$ and stress range of 0.64 kgf/$\textrm{mm}^2$ to 9.55 kgf/$\textrm{mm}^2$, respectively, in order to investigate the creep-rupture property. Constant load creep tests were carried out in the enperiment At around the temperature $210^{\circ}C~390^{\circ}C$ and the stress level 1.53~9.55(kgf/$\textrm{mm}^2$), the stress dependence of rupture time(n') had the value of 6.6~6.78 but at 50$0^{\circ}C$, the value of 1.3. Besides at around the temperature of $200^{\circ}C~500^{\circ}C$ and under the stress level of 0.89~8.51 (kgf/$\textrm{mm}^2$), the activation energy for the creepprupture (Qf) was nearly equal to that of the volume self diffusion of pure aluminum (34Kca1/mo1e)
A new concept of salt core, a melting temperature of which is lower than the solidus temperature of cast alloy, was introduced to produced an integrated casting part having a complicated inner shape or requiring under-cut in high pressure die casting or squeeze casting process. The main goal of this study is to develop a new integrated net-shape forming technology using fusible core of lower melting temperature than that of a casting alloy. This integrated net-shape forming technology would be very successful and cost-effective for producing the integrated products having a complicated inner shape or requiring under-cut. The technology for measuring and evaluating a various property of fusible core such as a thermal conductivity and thermal expansion coefficient, melting temperature was established. Also, the work space can be cleaned without a pollution inducing products.
Jeongtae Kim;Insung Park;Gwantae Kim;Taekyu Kim;Hongsoo Ha
한국초전도ㆍ저온공학회논문지
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제25권2호
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pp.14-18
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2023
Superconducting layers deposited on the metal substrate using the pulsed laser deposition process (PLD) play a crucial role in exploring new applications of superconducting wires and enhancing the performance of superconducting devices. In order to improve the superconducting property and increase the throughput of superconducting wire fabricated by pulsed laser deposition, high temperature heating device is needed that provides high temperature stability and strong durability in high oxygen partial pressure environments while minimizing performance degradation caused by surface contamination. In this study, new heating device have been developed for PLD process that deposit and growth the superconducting material continuously on substrate using reel-to-reel transportation apparatus. New heating device is designed and fabricated using iron-chromium-aluminum wire and alumina tube as a heating element and sheath materials, respectively. Heating temperature of the heater was reached over 850 ℃ under 700 mTorr of oxygen partial pressure and is kept for 5 hours. The experimental results confirm the effectiveness of the developed heating device system in maintaining a stable and consistent temperature in PLD. These research findings make significant contributions to the exploration of new applications for superconducting materials and the enhancement of superconducting device performance.
Graphite is suitable for high temperature structural materials because of chemical stability as well as unique crystal structure. Especially, graphite can be used as a part of a nuclear reactor due to high tolerance at the extreme conditions of high temperature and neutron irradiations. Although study of oxidation properties or behaviors of graphite are very important and essential for the life and stability of the nuclear reactor, most of studies treat this theme lightly. This work focuses on the oxidation characteristics of several grade isotropic graphite of the nuclear reactor.
PLC (Power Line Communication) is the communication method using the existing power line installed in houses and offices to convert and transmit high frequency communication signal from tens of KHz to tens of MHz, and receive the filtered signal using high frequency filter The advantage of PLC is that PLC uses the existing power line installed in houses and offices so it does not require separate power line. Easy and convenient access using electric outlets is another advantage of PLC. However, PLC has some disadvantages such as limited transmission power, high load interference and noise, variable signal attenuation, characteristic of impedance, and selective possibility of frequency property. We designed the boiler temperature control system unit by using the PLC modem. We can avoid unnecessary heating of separate temperature control unit, and save the cost accordingly control stability of the proposed system is proven through the experiment.
High-temperature thermal insulation materials challenge extensive oxide candidates such as porus $SiO_2$, $Al_2O_3$, yttria-stabilized zirconia, and mullite, due to the needs of good mechanical, thermal, and chemical reliabilities at high temperatures simultaneously. Recently, porous rare earth (RE) silicates have been revealed to be excellent thermal insulators in harsh environments. These materials display attractive properties, including high porosity, moderately high compressive strength, low processing shrinkage (near-net-shaping), and very low thermal conductivity. The current critical challenge is to balance the excellent thermal insulation property (extremely high porosity) with their good mechanical properties, especially at high temperatures. Herein, we review the recent developments in processing techniques to achieve extremely high porosity and multiscale strengthening strategy, including solid solution strengthening and fiber reinforcement methods, for enhancing the mechanical properties of porous RE silicate ceramics. Highly porous RE silicates are highlighted as emerging high-temperature thermal insulators for extreme environments.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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