• 제목/요약/키워드: High density plasma

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유-무기 하이브리드 하드마스크 소재의 합성 및 식각 특성에 관한 연구 (Synthesis and Etch Characteristics of Organic-Inorganic Hybrid Hard-Mask Materials)

  • 유제정;황석호;김상범
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제12권4호
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    • pp.1993-1998
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    • 2011
  • 반도체 산업은 지속적으로 비약적인 발전을 이루어내면서 점점 고집적회로를 제작하기 위하여 패턴의 미세화가 이루어지게 되었다. 현재 미세 나노패턴의 형성을 위하여 여러층의 하드마스크가 사용되고 있으며, 화학증기증착(CVD)공정을 이용하여 형성한다. 이에 본 연구에서는 스핀공정(spin-on process)이 가능한 유-무기 하이브리드 중합체를 이용한 단일층의 하드마스크를 제작하였는데, 하드마스크 내의 무기계 성분이 감광층 보다 쉽게 식각되는 반면에 하드마스크의 유기계 성분으로 인해 substrate층 보다 덜 식각되었다. 유-무기 하이브리드 중합체를 이용한 하드마스크막의 광학 및 표면 특성을 조사하였고, 감광층과 하드마스크막의 식각비를 비교하여 유-무기소재의 하이브리드중합체에 대한 미세패턴을 형성시킬 수 있는 하드마스크막으로써의 유용성을 확인하였다.

배향막 응용을 위한 이온 빔 조사된 ZnO 박막에 관한 연구 (Study on ZnO Thin Film Irradiated by Ion Beam as an Alignment Layer)

  • 강동훈;김병용;김종연;김영환;김종환;한정민;옥철호;이상극;서대식
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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    • pp.430-430
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    • 2007
  • In this study, the nematic liquid crystal (NLC) alignment effects treated on the ZnO thin film layers using ion beam irradiation were successfully studied for the first time. The ZnO thin films were deposited on indium-tin-oxide (ITO) coated glass substrates by rf-sputter and The ZnO thin films were deposited at the three kinds of rf power. The used DuoPIGatron type ion beam system, which can be advantageous in a large area with high density plasma generation. The ion beam parameters were as follows: energy of 1800 eV, exposure time of 1 min and ion beam current of $4\;mA/cm^2$ at exposure angles of $15^{\circ}$, $30^{\circ}$, $45^{\circ}$, and $60^{\circ}$. The homogeneous and homeotropic LC aligning capabilities treated on the ZnO thin film surface with ion beam exposure of $45^{\circ}$ for 1 min can be achieved. The low pretilt angle for a NLC treated on the ZnO thin film surface with ion beam irradiation for all incident angles was measured. The good LC alignment treated on the ZnO thin film with ion beam exposure at rf power of 150 W can be measure. For identifying surfaces topography of the ZnO thin films, atomic force microscopy (AFM) was introduced. After ion beam irradiation, test samples were fabricated in an anti-parallel configuration with a cell gap of $60{\mu}m$.

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고전압과 고전력 응용을 위한 $Al_{0.3}Ga_0.7N/GaN$ 이종접합 전계효과 트랜지스터의 제작 및 특성에 관한 연구 (Studies on Fabrication and Characteristics of $Al_{0.3}Ga_0.7N/GaN$ Heterojunction Field Effect Transistors for High-Voltage and High-Power Applications)

  • 김종욱;이재승;김창석;정두찬;이재학;신진호
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제38권8호
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    • pp.13-19
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    • 2001
  • 분자선 결정 성장법을 이용하여 성장된 서로 다른 장벽층의 두께를 갖는 $Al_{0.3}Ga_{0.7}N$ heterojunction field effect transistors (HFETs) 를 제작하여 그 특성을 비교, 관찰하였다. $Al_{0.3}Ga_{0.7}N$층의 두께에 따른 특성의 비교로부터 최적의 2 차원 전자개스 (2 dimensional electron gas) 를 가질 수 있는 $Al_{0.3}Ga_{0.7}N$/GaN HFET 소자 구조를 얻을 수 있었다. $L_g=0.6$ ${\mu}m$$W_g=34\;{\mu}m$ $Al_{0.3}Ga_{0.7}N$/GaN (20 nm/2 mm) HFET에서 Imax ($V_{gs}=1\;V$) 와 $G_{m,maX}$는 각각 1.155 A/mm 및 250ms/${\mu}m$ 이었으며 $F_t=13$ GHz 와 $F_{max}=48$ GHz의 우수한 고주파 특성을 얻을 수 있었고 2 inch 기판상에서 제작된 소자들은 5% 이하의 매우 균일한 DC 특성을 나타내었다. 이와 더불어 게이트-드레인 간의 간격에 따른 소자의 특성을 관찰함으로서 소자의 항복전압과 고주파 특성과의 상관관계를 고찰하였다.

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고지방과 콜레스테롤 식이로 유도된 고지혈증 흰쥐에서 노루궁뎅이버섯의 항고지혈증 효과 (The Antihyperlipidemic Effect of Lion's Mane Mushroom (Hericium erinaceus) in Hyperlipidemic Rats Induced by High Fat and Cholesterol Diet)

  • 장형석;윤기남
    • 대한임상검사과학회지
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    • 제49권3호
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    • pp.263-270
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    • 2017
  • 노루궁뎅이버섯의 자실체가 고지방과 콜레스테롤을 급여한 Sprague Dawley계 암컷 흰쥐의 지질대사와 생리활성에 미치는 영향을 조사하고자 생후 5주령의 흰쥐에 표준 식이를 급여한 정상군(NC군), 표준 식이에 15%의 돈지와 1%의 콜레스테롤을 첨가한 식이를 급여한 고지방 콜레스테롤군(HFC군), 고지방 콜레스테롤 식이에 노루궁뎅이버섯 자실체 분말을 5% 첨가한 군(HFC+HE군) 등 총 3개의 군으로 나누어 6주간 실험을 진행하였다. 실험동물의 체중증가와 식이효율은 HFC군에 비해 HFC+HE군이 유의하게 감소하여 NC군과 유사한 수준을 나타냈다. 식이섭취량은 NC군과 HFC군에 비해 HFC+HE군이 유의하게 낮았다. HFC+HE군의 혈청 총콜레스테롤, LDL-콜레스테롤의 농도는 NC군과 HFC군에 비해 유의하게 낮았고 동맥경화지수(AI)도 NC군과 HFC군에 비해 유의성 있게 낮았다. 그러나 혈청의 중성지방 농도는 NC군에 비해 유의성은 없었으나 HFC군에 비해 유의하게 낮았다. HFC+HE의 혈청 알부민, 크레아티닌, 요산 및 총단백질의 농도는 NC군의 수준을 나타냈다. 혈청의 AST, ALT 및 ALP 활성은 NC군과 유사하였으나 HFC군에 비해 유의하게 낮았다. 실험 5~6주에 배출된 변을 채취하여 총지질과 총콜레스테롤의 양을 분석한 결과 NC군과 HFC군에 비해 변의 총지질과 총콜레스테롤 함량이 유의하게 높아 변으로 배출된 총지질과 총콜레스테롤의 양이 많게 증가한 것으로 나타났다. 따라서 고지방 콜레스테롤식이에 5%의 노루궁뎅이버섯 자실체 분말을 첨가한 식이를 급여한 흰쥐의 체중은 정상군의 수준을 유지하였고, 혈청의 총콜레스테롤, LDL-콜레스테롤 및 중성지질의 농도도 정상군과 유사하게 낮았으며, 동맥경화지수도 낮아 노루궁뎅이버섯이 흰쥐의 지질대사를 정상으로 유지시키는 효과를 나타내는 것으로 사료되었다.

대한민국 고혈압 성인에서 아스파르트산 아미노전이효소/알라닌 아미노전이효소 비율과 맥압의 관련성 (The Relationship between the Serum Aspartate Aminotransferase/Alanine Aminotransferase Ratio and Pulse Pressure in Korean Adults with Hypertension)

  • 윤현
    • 대한임상검사과학회지
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    • 제53권3호
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    • pp.241-248
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    • 2021
  • 본 연구는 고혈압이 있는 대한민국 성인에서 아스파르트산 아미노전이효소(aspartate aminotransferase, AST)/알라닌 아미노전이효소(alanine aminotransferase, ALT) 비율과 맥압(pulse pressure, PP) 사이의 관계를 평가하기 위해 수행되었다. 제6차 국민건강영양조사(KNHANES VI-3, 2015)에서 성인 1,515명의 데이터를 분석했다. 본 연구에서는 몇 가지 중요한 결과가 있다. 첫째, AST (odds ratio [OR], 1.018; 95% confidence interval [CI], 1.002~1.033), ALT (OR, 0.982; 95% CI, 0.969~0.996) 및 AST/ALT ratio (OR, 1.367; 95% CI, 1.027~1.819)는 고PP 결정하는 독립적인 요인이었다. 둘째, 관련변수(연령, 성별, 흡연, 음주, 규칙적인 운동, TC, TG, HDL-C, FBG, BMI, WC)를 조정한 후의 결과에서 AST/ALT ratio의 1 사분위에 대한 고PP의 OR을 기준으로, AST/ALT ratio의 2 사분위(OR, 1.188; 95% CI, 0.817~1.727) 및 AST/ALT ratio의 3 사분위(OR, 1.169; 95% CI, 0.800~1.710)는 유의하지 않았지만, AST/ALT ratio의 4 사분위(OR, 1.632, 95% CI, 1.113~2.393)에서 유의하게 높았다. 결론적으로, 고혈압이 있는 대한민국 성인에서 고PP은 AST/ALT ratio 및 AST와 양의 상관관계가 있었지만 ALT와 음의 상관계가 있었다.

단삼통맥탕(丹蔘通脈湯)과 단삼생맥산(丹蔘生脈散)이 고지혈증 및 Hypoxia로 유발된 뇌손상과 세포손상에 미치는 영향 (The Effect of Dansamtongmek-tang and Dansamsengmek-san on Hyperlipidemia and Brain & Cell Damage by Hypoxia)

  • 김용진;유병남;김윤식;설인찬
    • 대한한의학회지
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    • 제27권3호
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    • pp.107-131
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    • 2006
  • Background and Aims: Dansamtongmek-tang (DSTMT) and Dansamsengmek-san (DSSMS) have been used for many years as therapeutic agents for the acute stage of cerebrovascular disease, hypertension and hyperlipidemia in Oriental medicine, but the effects of DSTMT and DSSMS on hyperlipidemia and safety for cell damage are not yet well-known. This study was done to investigate the effects of DSTMT and DSSMS on hyperlipidemia. Methods: In vivo test: after administering DSTMT and DSSMS to SHR and ICR occurred hyperlipidemia for 3 weeks, we analyzed body weight, cholesterol levels. TG, HDL-chol, LDL-chol, LDH in plasma, brain, liver and kidney tissue, and DNA by RT-PCR. In vitro test: after administering DSTMT and DSSMS to human hepatocellular carcinoma in hypoxia, we observed cell cohesion by light microscope, analyzed the inflow of Ca2+ by confocal laser scanning microscope and DNA by RT-PCR. Results: DSTMT significantly decreased the levels of triglyceride and increased the levels of HDL-cholesterol in SHR, and significantly decreased the levels of LDL-cholesterol and body weight and increased the levels of HDL-cholesterol in ICR. DSSMS significantly decreased body weight, total cholesterol levels, LDL-cholesterol, LDH and cardiac risk factor (CRE) in SHR and significantly decreased the levels of total cholesterol, triglyceride, LDL-cholesterol, LDH and CRF in ICR. DSTMT had an effect on protecting cells from damage by inhibiting production of p53 mRNA, and in DSSMS, by inhibiting production of p53 mRNA and p21 mRNA after hypoxia. DSTMT effectively blocked off Ca2+ at low density, but DSSMS effectively blocked off Ca2+ at high density. Both DSTMT and DSSMS had an effect on inhibiting lipid metabolism by blocking off production of apo B mRNA. Conclusions: These results suggest that DSTMT and DSSMS might be usefully applied for treatment of hyperlipidemia and suppression of brain damage.

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흰쥐 타액선내에서의 DENDROASPIS NATRIURETIC PEPTIDE(DNP)의 분포 (Localization of Dendroaspis natriuretic peptide (DNP) in the rat salivary glands)

  • 김재곤;이영수;백병주;박병건
    • 대한소아치과학회지
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    • 제28권3호
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    • pp.447-463
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    • 2001
  • Dendroaspis natriuretic peptide(DNP)는 Dendroaspis angusticeps의 뱀독으로부터 추출된 natriuretic peptide의 새로운 일원으로서, 사람의 혈장과 심방 근육에 존재하고 실험동물에서 혈관확장과 이뇨작용을 나타내는 것으로 알려져있다. 그러나 아직까지 심장 이외의 다른 기관내에 DNP가 존재하는지 또한 이들이 현재까지 알려진 기능 이 외의 또다른 생리적 기능을 나타내는 지의 여부는 아직 확실하게 밝혀져 있지 않다. 타액전 내에서 DNP의 기능을 규명하기 위한 전단계로, 먼저 흰쥐의 타액선내에 DNP가 존재하는지를 면역조직화학법을 이용하여 알아보았고 또한 DNP의 수용체가 타액전 또는 구강점막내에 존재하는 지의 여부를 생체외 방사선자기법을 이용하여 알아보았다. DNP의 면역반응은 악하선과 설하선 및 이하선에서 주로 도관부위에서 관찰되었고, 선포부위에서는 관찰되지 않았다. atrial natriuretic peptide(ANP)의 면역반응 역시 악하선과 설하선 및 이하선에서 DNP 면역반응과 유사하게 주로 도관부위에서 관찰되었다. DNP에 특이한 수용체가 타액선에는 저밀도로 존재한 반면 경구개와 혀 점막상피부위에서는 고밀도로 존재하였다. 경구개와 혀 점막상피부위의 DNP수용체는 주로 상피의 기저층과 기저층에 인접한 유극세포층에 국한되어 존재하는 것을 미세방사선자기법을 통하여 알 수 있었다. 이러한 결과로 볼 때 DNP가 타액선과 구강점막 부위에서 어떠한 생리적 기능을 나타낼 것으로 여겨지는데, 특히 구강점막 부위에서는 점막상피세포의 성장과 성숙과정에 관여하리라 추정된다.

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Associations of dietary intake and metabolic syndrome risk parameters in Vietnamese female marriage immigrants in South Korea: The KoGES follow-up study

  • Yang, Hyesu;Kim, Hyesook;Kim, Ji-Myung;Chung, Hye Won;Chang, Namsoo
    • Nutrition Research and Practice
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    • 제10권3호
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    • pp.313-320
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    • 2016
  • BACKGROUND/OBJECTIVES: This study was conducted to compare the overall changes in dietary intake and metabolic syndrome risk parameters in Vietnamese marriage-based female immigrants over time. SUBJECTS/METHODS: The subjects of this study were 581 Vietnamese marriage-based female immigrants, who were recruited from local clinical centers in Korea. Baseline data were collected from 2006-2011 and the follow-up data were collected from 2012-2014. Dietary food intake was assessed by a 1-day 24-hour recall method. RESULTS: Compared to the baseline, the mean body weight, body mass index, waist circumference, high density lipoprotein (HDL)-cholesterol, systolic blood pressure and diastolic blood pressure increased while the fasting blood sugar, triglycerides and low density lipoprotein-cholesterol decreased at follow-up. The total consumption of foods such as vegetables/fruits/seaweeds/mushrooms, oil and fat, and eggs decreased during the follow-up period, whereas the consumption of sugars, beverages and meats increased. Partial correlation between the rate of change [(Follow-up - Baseline) / Baseline ${\times}100$] in metabolic syndrome risk parameters and food intake after controlling for confounding factors showed that the waist circumference was positively correlated with either the total plant food intake (r = 0.1042, P = 0.0129) or the total food intake (r = 0.0880, P = 0.0359). The plasma levels of total cholesterol (r = -0.1918, P = 0.0289) and HDL-cholesterol (r = -0.1424, P = 0.0007) were negatively correlated with the percentage of total intake from plant food, and HDL-cholesterol levels were positively correlated with the intake of total animal food (r = 0.0980, P = 0.0217). The serum C-reactive protein levels were positively correlated with the total intake of animal food (r = 0.2374, P < 0.0001) or the percentage of total intake from animal food (r = 0.1346, P = 0.0016). CONCLUSIONS: These results suggest that the change rate of dietary intake such as total plant food or animal food is associated with the change rates of metabolic syndrome risk parameters.

폐경 후 여성의 골다공증 및 심혈관계질환 위험도에 따른 영양소 및 식품섭취상태: 제5기 국민건강영양조사(2010-2011) 자료를 이용하여 (Food and Nutrient Intake Level by the Risk of Osteoporosis and Cardiovascular Disease in Postmenopausal Women: The use of the 5th Korean National Health and Nutrition Examination Surveys (2010-2011))

  • 김효빈;김혜숙;권오란;박희정
    • 대한지역사회영양학회지
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    • 제24권2호
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    • pp.152-162
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    • 2019
  • Objectives: The purpose of this study was to investigate the food, nutrient intake, and diet quality of postmenopausal women at high risk of osteoporosis (OP) and cardiovascular disease (CVD) compared with those of control subjects. Methods: A total of 1,131 post-menopausal women aged over 45 years, who took the 2010-2011 Korean National Health and Nutrition Examination Survey (KNHANES), were included for analysis. These participants were classified into the following groups: the OP group, with a risk of OP (n=135); the CVD group, with a risk of CVD (n=373); the OP+CVD group, with a risk of OP and CVD concurrently (n=218); and the control group (n=405) according to bone mineral density (BMD) and CVD risk. Anthropometric measurements, blood profiles, dietary intake, and dietary quality indices were measured and compared among the four groups. Results: Waist circumference, total body fat percentage, blood pressure, fasting plasma glucose, total cholesterol, triglyceride, and LDL-cholesterol were higher, and HDL-cholesterol and BMD were lower in the OP+CVD group than in the control group. In the food frequency questionnaire, the OP+CVD group had significantly higher frequencies of grain (except for multi-grain) and lower frequencies of fruit and dairy product. The frequency of consumption of red meat, processed meat, and carbonated beverages was higher in OP+CVD group. In nutrient density analysis, proteins and vitamin $B_2$ levels were significantly lower in the OP+CVD group than in the control group. The nutritional quality index (INQ) values of calcium were in the order of 0.63, 0.58, 0.56, and 0.55 in each group, and it was urgent to improve the dietary intake for calcium in postmenopausal women. In addition, vitamin $B_2$ was inadequately consumed by all groups. Conclusions: These results suggest that it is necessary to increase the intake of vitamin $B_2$ and calcium and decrease the frequency of intake of red meat, processed meat, and carbonated beverages in postmenopausal women with the risk of OP and CVD.

곰피추출물의 간기능 개선 효과 평가를 위한 12주, 무작위배정, 이중맹검, 위약-대조 인체적용시험 (The Effects of Ecklonia stolonifera Extracts on Improvement of Hepatic Function: a Double-Blind, Randomized, Placebo-Controlled Clinical Study)

  • 김정희;김은진;강다혜;김형빈;장재영;엄애선;김종욱
    • 한국식품위생안전성학회지
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    • 제37권3호
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    • pp.198-205
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    • 2022
  • 본 연구에서는 경증 또는 중등도 간기능 이상 소견자를 대상으로 ESE의 간기능 개선 효과를 평가하기 위해 시험식품군과 대조식품군으로 나누어 단일기관, 위약대조, 무작위배정, 이중눈가림 평행 인체적용시험으로 연구를 수행하였다. 12주간 ESE 420 mg(210 mg/포, 1일 2회)을 함유한 시험식품 또는 대조식품을 섭취하였을 때 ESE의 간 기능 개선 유효성과 안전성을 평가하였다. 유효성 평가 결과, 섭취 후 시험식품군은 대조식품군과 비교하여 ALT, AST, γ-GT 수준이 유의하게 감소하였다. 반면, 지질대사 지표는 두 군간의 의미 있는 차이를 보이지 않았다. 또한, 비알콜성 시험대상자군을 대상으로 분석하였을 때도 ALT 및 AST 수준이 유의하게 감소하였으며 γ-GT의 경우 감소하는 경향성을 보였다. 안전성 평가로서 혈액, 소변, 활력 징후를 검사한 결과 대부분 항목에서 시험식품군과 대조식품군 군간 차이가 없었으며 몇몇 유의성이 나타난 지표도 임상적 의미는 없었다. 따라서 ESE는 간기능 개선에 도움을 줄 수 있을 것으로 보이며 안전한 식품 소재로 판단된다.