• Title/Summary/Keyword: Heo hun

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스퍼터링 공정 중 알루미늄 타겟 오염이 알루미늄 산화막 증착에 미치는 영향

  • Lee, Jin-Yeong;Gang, U-Seok;Heo, Min;Lee, Jae-Ok;Song, Yeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.302.2-302.2
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    • 2016
  • 알루미늄 산화막 스퍼터링 공정 중 타겟이 반응성이 있는 산소와 결합하여 산화되는 타겟 오염은 증착 효율의 감소[1]와 방전기 내 아크 발생을 촉진[2]하여 이를 억제하는 방법이 연구되어 왔다. 본 연구에서는 알루미늄 산화막 증착 공정 중 타겟 오염 현상이 기판에 증착된 알루미늄 산화막 특성이 미치는 영향을 분석하였다. 실험에는 알루미늄 타겟이 설치된 6 인치 웨이퍼용 직류 마그네트론 스퍼터링 장치를 활용하였다. 위 장치에서 공정 변수 제어를 통해 타겟 오염 현상의 진행 속도를 제어하였다. 공정 중 타겟 오염 현상을 타겟 표면 알루미나 형성에 따른 전압 강하로 관찰하였고 타겟 오염에 의한 플라즈마 변화를 원자방출분광법을 통해 관찰하였다. 이 때 기판에 증착 된 알루미나 박막의 화학적 결합 특성을 XPS depth로 측정하였으며, 알루미나 박막의 두께를 TEM을 통해 측정하였다. 측정 결과 타겟 오염 발생에 의해 공정 중 인가 전압 감소와 타겟 오염에 소모된 산소 신호의 감소가 타겟 오염 정도에 따라 변동되었다. 또한 공정 중 타겟 오염 정도가 클수록 기판에 증착한 막과 실리콘 웨이퍼 사이에 산소와 실로콘 웨이퍼의 화합물인 산화규소 계면의 형성 증가됨을 확인했다. 위 현상은 타겟 오염 과정 중 발생하는 방전기 내 산소 분압 변화와 막 증착 속도 변화가 산소의 실리콘 웨이퍼로의 확산에 영향을 준 것으로 해석되었다. 위 결과를 통해 스퍼터링 공정 중 타겟 오염 현상이 기판에 증착 된 알루미나 막 및 계면에 미치는 영향을 확인하였다.

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Effect of Shock Waves on Dynamic Stability of Transonic Missiles (천음속 미사일의 동안정성에 대한 충격파 영향)

  • Park, Su-Hyeong;Gwon, Jang-Hyeok;Heo, Gi-Hun;Byeon, U-Sik
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.30 no.2
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    • pp.12-20
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    • 2002
  • Three dimentional unsteady Euler equations are solved and an integration method is presented to predict the dynamic stability derivatives of transonic missiles. Results for the Basic Finner model are compared with several experimental data to vaildate the prediction capability of the present method. The variations of dynamic stability derivatives are discussed with respect to angle of attack, Mach number, and rotation rate. Results show that shock waves between fins enhance the pitch-damping characteristics in transonic region. Results also imply that the Euler equations can give the damping coefficients with comparable accuracy.

A Study on Vehicle Crash Characteristics with RCAR Crash Test in Compliance with the New Test Condition (동일 승용차량에 대한 RCAR 신.구 충돌시험을 통한 차체 충돌특성에 관한 연구)

  • Lim, Jong-Hun;Park, In-Song;Heo, Seung-Jin
    • Transactions of the Korean Society of Automotive Engineers
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    • v.14 no.6
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    • pp.190-194
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    • 2006
  • This research investigates vehicle structure acceleration and vehicle deformation with RCAR crash test. To investigate vehicle damage characteristics in an individual case, it is possible to RCAR low speed crash test. In this study, two tests were conducted to evaluate difference between RCAR new condition and RCAR old condition. A two large vehicles were subjected to a frontal crash test at a speed of 15km/h with an offset of 40% $10^{\circ}$ angle barrier and flat barrier. The results of the 15km/h with an offset of 40% $10^{\circ}$ angle barrier revealed high acceleration value on the vehicle structure and high repair cost compared to the RCAR 15km/h with an offset of 40% flat barrier. So in order to improve damage characteristics in low speed crash of vehicle structure and body component of the monocoque type passenger vehicles, the end of front side member and front back beam should be designed with optimum level and to supply the end of front side member as a partial condition approx 300mm.

Evaluation of Vacuum Brazed WC and Stainless Steel for Oil Sands Plant (오일샌드 플랜트용 초경합금과 스테인레스강의 진공브레이징 특성평가)

  • Chang, Se-Hun;Cho, Seung-Hyun;Ahn, Seong-Woo;Heo, Joong-Sik;Kim, In-Pyo;Oh, Ik-Hyun
    • The KSFM Journal of Fluid Machinery
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    • v.19 no.3
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    • pp.48-52
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    • 2016
  • Microstructure and tensile strength of the vacuum brazed stainless steel(STS304) and WC-8 %Co were investigated. For brazing, the BNi-2, 3(A.W.S standard) were used as filler metals. It was found that metallic compounds of W-Ni were observed at the between WC metrix and brazed layer. Among these filler metals, the BNi-2 showed excellent wettability, but tensile strength was lower than BNi-3. The fracture of the brazed specimens with BNi-2 was occurred at the between WC metrix and brazed layer. The fracture of the brazed specimens with BNi-3 was occurred at the between WC metrix and brazed layer, and between brazed layer and stainless steel.

Multistage Cold Forging Process Design of Al6082 Considering Forming Limit (Al6082의 가공한계를 고려한 냉간단조 공정설계)

  • Ann, Ku-Hee;Kang, Jong-Hun;Heo, Su-Jin;Shin, Tae-soo;Cho, Hae-Yong
    • Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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    • v.19 no.9
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    • pp.93-99
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    • 2020
  • Recently, as the weight reduction of vehicles has been actively progressed, parts developed using aluminum 60XX series from existing steel materials are increasing. In this paper, the bushing used for the front frame rail, which is one of the parts for fixing engines and other parts in automobiles, was changed to an aluminum material of the Al60XX series, and it was intended to be produced by applying of cold forging method. The bushing is a part that secures the engine frame, and in order to produce it by cold forging, the molding limit is predicted through process design, and a multi-stage process is designed through finite element analysis. In addition, in order to verify the feasibility of the designed forging process, the limits of the multi-step process were verified based on the Cockcroft Latham theory, and the crack and overlap of the actual forging work were predicted and improved.

Measurement of relative dose irradiated from a Co-60 source using a scintillating fiber-optic dosimeter (광섬유 방사선량계를 이용한 Co-60 방사선원으로부터 조사되는 상대선량측정)

  • Jang, Kyoung-Won;Cho, Dong-Hyun;Yoo, Wook-Jae;Seo, Jeong-Ki;Heo, Ji-Yeon;Lee, Bong-Soo;Shin, Sang-Hun;Park, Byung-Gi;Kim, Sin
    • Journal of Sensor Science and Technology
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    • v.19 no.1
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    • pp.52-57
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    • 2010
  • In this study, we have fabricated a scintillating fiber-optic dosimeter for a radiotherapy dosimetry. And ${\gamma}$-rays generated by a Co-60 are measured using a scintillating fiber-optic dosimeter and percent depth dose curves are obtained according to the different depths of solid water phantoms. Also, Cerenkov radiations generated by primary or secondary electrons are measured at different depths of water phantom using a background optical fiber.

Towards Real-time Multi-object Tracking in CPU Environment (CPU 환경에서의 실시간 동작을 위한 딥러닝 기반 다중 객체 추적 시스템)

  • Kim, Kyung Hun;Heo, Jun Ho;Kang, Suk-Ju
    • Journal of Broadcast Engineering
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    • v.25 no.2
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    • pp.192-199
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    • 2020
  • Recently, the utilization of the object tracking algorithm based on the deep learning model is increasing. A system for tracking multiple objects in an image is typically composed of a chain form of an object detection algorithm and an object tracking algorithm. However, chain-type systems composed of several modules require a high performance computing environment and have limitations in their application to actual applications. In this paper, we propose a method that enables real-time operation in low-performance computing environment by adjusting the computational process of object detection module in the object detection-tracking chain type system.

Study of Optimal G/R Ratio using Statistical Analysis for Radar Rainfall Estimation (통계분석을 이용한 최적 레이더 보정 지점 선정에 대한 연구)

  • Jung, Young-Hun;Jeong, Chang-Sam;Ko, Ick-Hwan;Heo, Jun-Haeng
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.103-106
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    • 2009
  • 우리나라의 경우 자연 재해로 인한 피해를 감소시키기 위해 첨단 레이더 관측시스템을 설치 및 운영하고 있으며 활용도 또한 증가하고 있어 기상재해를 대비한 정확하고 용이한 레이더 강우량 추정은 필수적 요소라 하겠다. 강우량 추정은 대기 중의 강우 입자들로부터 반사된 전파의 세기 즉 레이더의 반사도 자료와 강우와의 관계를 이용하여 강우량을 산출하며 가장 보편적으로 Marshall and Palmer (1948)에 의해 연구된 Z-R 관계식을 이용하여 강우량을 추정하고 있다. 기존의 레이더 강우량 추정시 사용되는 보정 방법인 G/R (우량계/레이더) 비는 대상유역을 격자로 나눴을 경우 강우관측소가 위치한 격자와 주변 8개의 위치한 격자의 면적강우량을 산술평균하여 사용하고 레이더 자료와 강우관측소의 강우자료를 비교하여 보정한 후 강우량을 추정하고 있다. 그러나 G/R 비를 평균하여 보정할 경우 대상유역에 위치한 강우자료가 오측이거나 관측이 되지 않았을 경우 관측지점의 강우량 추정에 영향을 주게 되며 G/R 비를 산출할 시 강우관측소가 가지는 오차를 줄이기 위하여 강우관측소의 강우자료와 레이더 자료간의 보정이 필요하다고 사료된다. 따라서 본 연구에서는 레이더의 관측반경은 480km 까지 가능하지만 양질의 자료를 사용하기 위해 광덕산에 위치한 레이더의 반경 100km 내의 강우관측소를 이용하였으며 기상청에서 운영하고 있는 94개 지점의 AWS (automatic weather system)를 이용하여 대상유역에 위치한 강우관측소의 강우자료와 레이더 강우량에 통계분석을 하여 최적의 G/R 비를 산정한 후 레이더 강우량을 추정하였다. 또한 추정된 강우량을 관측된 강우량과 비교하여 적용성을 판단하였다.

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Simulation analysis of a renewable energy based microgrid using RTDS (RTDS를 이용한 신재생에너지 기반 마이크로그리드 시뮬레이션 해석)

  • Heo, Se-Rim;Kim, Gyeong-Hun;Lee, Hyo-Guen;Hwang, Chul-Sang;Park, Min-Won;Yu, In-Keun;Park, Jung-Do;Yi, Dong-Young;Lee, Sang-Jin
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2011.07a
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    • pp.143-144
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    • 2011
  • Due to enhanced demands on quality, security and reliability of the electric power energy system, a microgrid has become a subject of special interest. In this paper, output characteristics of energy storage system (ESS) with an electric double layer capacitor (EDLC) and battery energy storage system (BESS) of a renewable energy based microgrid were analyzed under grid-connected and islanded operation modes. The microgrid which consists of photovoltaic and wind power turbine generators, diesel generator, ESS with an EDLC, BESS and loads was modeled using real time digital simulator. The results present the effective control patterns of the microgrid system.

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A Study on the Evaluation Factors and the Performance of Internet Venture Business Types (인터넷 벤처비즈니스의 유형별 평가요인 및 성과에 관한 연구)

  • Lee, Myeong-Ho;Lee, U-Hyeong;Heo, Hun
    • Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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    • 2000.10a
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    • pp.317-320
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    • 2000
  • 지난 1999년은 우리나라에서도 그 어느 때 보다 벤처기업에 대한 관심이 커졌던 한 해였다. 특히, 정보 통신분야는 기술의 발전속도가 빨라 참신한 사업 아이템과 우수한 기술만으로 새로운 시장의 창출이 가능한 분야가 계속 생겨나고 있으며, 세계적으로도 정보통신 시장은 계속 확대 추세 일로에 있다. 이러한 벤처기업에 대한 관심의 고조에 따른 많은 부작용들이 나타나고 또한 벤처기업에 대한 객관적인 평가요인들에 대한 연구가 국내ㆍ외적으로 이루어졌다. 우리나라의 경우 1980년대 중반부터 벤처산업에 대한 연구가 조금씩 진행되었으나 주로 벤처산업의 행태나 벤처 캐피탈회사의 유형을 밝히는 것, 그리고 국가적 차원에서 벤처산업에 대한 지원방향을 논의하는 것이 연구의 대부분을 차지하였다. 최근 들어, 벤처기업성과와 관련된 연구들이 조금씩 진행되었으나 연구 주제가 협소하여 전반적으로 벤처기업의 성과를 설명하기에는 부족한 점이 많다. 본 연구는 우리나라 벤처기업의 성과에 영향을 미치는 주요 평가요인들을 고찰하여 보고 이를 벤처기업의 유형화연구와 연결하는 데 그 목적이 있다. 아울러 이들 평가요인들이 성과와 어떠한 관계를 가지는지에 대하여 알아보고자 하는 것이다 결국, 국내 벤처기업들의 평가요인들의 객관적인 도출과 벤처기업들의 전략적 유형화 연구를 덧붙여 연구함으로써 벤처기업의 평가에 활용코저 하는 것이다.

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