• 제목/요약/키워드: Helped seed layer

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보조씨드층을 이용한 ZnO 압전박막의 우선배향성에 관한 연구 (A Study on Preferred Orientation of ZnO Piezoelectric Thin Film Using Helped Seed Layer)

  • 박인철;김홍배
    • 한국진공학회지
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    • 제15권6호
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    • pp.619-623
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    • 2006

  • FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator) 소자의 공진특성을 결정하는 가장 중요한 요소는 압전막의 압전성을 들 수 있다. FBAR 압전막으로 유력한 ZnO 압전박막은 (002)면 c-축 우선배향성(preferred orientation)의 정도에 따라서 압전성이 결정된다. 그러므로 ZnO 박막의 우선배향성에 관한 연구는 많은 연구자들의 관심사가 되어왔다. 본 논문에서는 ZnO 보조씨드충(helped seed layer)을 이용하여 ZnO 압전박막의 우선배향성에 대하여 조사하였으며, rocking curve의 표준편차$(\sigma)$ 값이 $1.15^{\circ}$인 주상형 결정립을 가진 c-축 ZnO 압전박막이 우수한 압전특성을 나타내는 것을 확인하였다.

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