• 제목/요약/키워드: Heater plate

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반도체 검사 장비의 챔버 내부 온도 분포의 균일성 개선 (Improvement of the Uniformity of Temperature Distribution inside Semiconductor Test Equipment Chamber)

  • 이광주;정경석;박성문
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제11권10호
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    • pp.3626-3632
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    • 2010
  • 반도체 소자 검사장비 핸들러는 주 검사장비인 테스터에 반도체 소자를 개별 또는 그룹으로 이송하여 테스트 환경을 만들어주고 검사가 끝나면 검사결과를 테스터로부터 전송받아 양품과 불량품으로 분류해주는 장비이다. 본 논문에서는 기존에 개발된 핸들러의 챔버 내부 온도 분포의 균일성을 개선하기 위하여, 챔버 덕트의 조절셔터 설치, Heater와 Match Plate 중심위치의 정렬, Match Plate Base의 Hole 크기 및 형상 변경, 온도 센서로 향하는 공기의 흐름이 원활할 수 있도록 핀에 직경 2 mm의 구멍 설치 등의 설계 변경을 하였다. 설계 변경의 효과를 확인하기 위하여, 기존 장비와 설계 개선된 장비 내부의 온도 분포를 32개의 온도 센서를 사용하여 측정하였다. 그 결과 기존 챔버내부 온도 분포는 $87.1{\sim}91.5^{\circ}C$ ($90{\pm}2.9^{\circ}C$)이었으나 개선된 챔버 내부 온도 분포는 $89.5{\sim}90.8^{\circ}C$ ($90{\pm}0.8^{\circ}C$)으로 15분 이상 지속 가능하여 챔버 내부의 온도 분포 균일성이 크게 개선되었음을 알 수 있었다. 또한 설계 변경 이후의 온도 분포는 $90{\pm}1^{\circ}C$의 범위 내에서 10분 이상을 유지하는 목표를 달성하였음을 확인하였다.

평판집열기(平板集熱機)를 이용(利用)한 고추 건조(乾燥)에 관(關)한 연구(硏究) (Red Pepper (Capsicum annum) Drying Using Flat-Plate Solar Collectors)

  • 김동만;김만수;장규섭
    • 농업과학연구
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    • 제6권1호
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    • pp.56-64
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    • 1979
  • 고추 건조(乾燥)의 열원(熱源)으로 태양(太陽)에너지를 이용(利用)하기 위(爲)하여 가격(價格)이 저렴(低廉)한 두 종류(種類)의 평판집열장치(平板集熱裝置)를 설계제작(設計製作)하였으며 이의 이용(利用)에 따른 기본적(基本的)인 요소(要素)들을 분석(分析) 검토(檢討)하였고, 고추의 형태(形態)에 따라 건조시험(乾燥試驗)을 수행(遂行)한바 그 결과(結果)를 요약(要約)하면 다음과 같다. 1. 대전지방(大田地方)에서의 집열기(集熱機)의 적정경사각(滴定傾斜角)은 1년(年)에 2번 조정(調整)할 경우, 하절기(夏節期)에는 약(約) ${\phi}-15^{\circ}$이고 동절기(冬節期)에는 약(約) ${\phi}+15^{\circ}$였다. 1년중(年中) 직달방향계수(直達方向係數)(Rb)는 집열기(集熱機)의 경사각(傾斜角) $33^{\circ}$에서 4월(月) 16일(日)부터 8월(月) 27일(日)까지를 제외(除外)하고는 1이상(以上)이었다. 2. 시험기간중(試驗期間中)의 외기(外氣) 및 각건조실(各乾燥室)의 조건(條件)은 외기(外氣)의 평균(平均) 온습도(溫濕度)가 $25.6^{\circ}C$, 52.6%RH, 대비건조실(對比乾燥室)이 $42.0^{\circ}C$, 74.2%RH였으며, 물가열식(加熱式)에서 가장 높았고 상대습도(相對濕度)는 공기가열(空氣加熱) 건조실(乾燥室)이 가장 낮았다. 3. 고추 건조(乾燥)에서 건조속도(乾燥速度)는 통고추는 물가열식(加熱式)이 2.3배(培)로 가장 빨랐고 다음이 공기가열식(空氣加熱式), 대비구(對比區) 천일노천구(天日露天區)의 순서(順序)였다. 가장 빠른 건조방법(乾燥方法)은 고추를 수평(水平)으로 절단(切斷)하여 물가열식(加熱式) 건조실(乾燥室)에서 건조(乾燥)시켰을 때였다. 4. 고추의 신미성분(辛味成分)인 capsaicine과 적색소(赤色素)인 capsanthine 함량(含量)은 건조과정중(乾燥過程中)에 약간 감소(減少)하였으나 건조제품(乾燥製品)의 질(質)에 영향(影響)을 미치는 정도(程度)가 아니었으며 건조처리별(乾燥處理別)로도 큰 차이(差異)를 보여 주지 않았다.

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Plate and Shell 열교환기내의 R-22 증발열전달 및 압력강하 특성에 관한 실험적 연구 (Evaporation Heat Transfer and Pressure Drop Characteristics of Refrigerant R-22 in a P1ate and Shell Heat Exchanger)

  • 서무교;박재홍;김영수
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제25권10호
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    • pp.1318-1326
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    • 2001
  • The evaporation heat transfer coefficient and pressure drop for refrigerant R-22 flowing in the plate and shell heat exchanger were investigated experimentally in this study. Two vertical counterflow channels were farmed in the exchanger by three plates of commercial geometry with a corrugated trapezoid shape of a chevron angel of 45 ° Upflow boiling of refrigerant R-22 in one channel receives heat from the hot downf1ow of water in the other channel. The effects of the mean vapor quality, mass flux, heat flux and pressure of R-22 on the evaporation heat transfer and pressure drop were explored. The quality change of R-22 between the inlet and outlet of the refrigerant channel ranges from 0.03 to 0.05. The present data showed that both the evaporation heat transfer coefficient and pressure drop increase with the vapor quality. At a higher mass flux, the evaporation heat transfer coefficient and pressure drop are higher for the entire range of the vapor quality Raising the imposed wall heat flux was found to slightly improve the heat transfer, while at a higher refrigerant pressure, both the heat transfer and pressure drop are slightly lower.

가열 공기 유입에 따른 복합형 태양열 가열기 공기-물 제조 성능에 관한 연구 (Performance Evaluation of Hybrid Solar Air-Water Heater when the Heated Air is used as Inlet Air during Air and Water is Heated Simultaneously)

  • 최휘웅;윤정인;손창효;최광환
    • 한국태양에너지학회 논문집
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    • 제35권5호
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    • pp.21-29
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    • 2015
  • In this study, the performance of hybrid solar air-water heater when the heated air was used as inlet air was investigated during air and liquid were heated simultaneously. Temperature difference between inlet air and ambient was set as $0^{\circ}C$, $13^{\circ}C$ and $22^{\circ}C$ and it was maintained during the daily operation. As a result, thermal efficiency of liquid heating was increased when the inlet air temperature was increased and heat gain of the water in heat storage tank was also increased with increment of temperature difference between inlet air and ambient temperature. On the contrary to this, the decrement of air heating efficiency and total efficiency of collector was confirmed with increment of inlet air temperature and it is considered that heat gain of liquid side is lower than heat loss of air side that occurring by using heated air as inlet air of collector. So, from these results, maximum temperature that the liquid in heat storage tank can reach was expected to increase if the return air or any heated air was used as inlet air. But air and total efficiency of hybrid solar air-water is decreased, so using outdoor air as inlet air is considered as better way on perspective of using of solar thermal energy by hybrid solar collector. However, it is hard to conclude that using outdoor air is better than heated air on the perspective of energy saving of building because the performance of heat storage performance was increased even air and total thermal efficiency was decreased, so the necessity of more profound consideration about these result in further research was confirmed for putting the hybrid solar air-water heater to practical use.

뜸의 특성 연구 방법론에 대한 문헌고찰 (Literature Review on Research Methodology Assessing Properties of Moxibustion)

  • 임진웅;이상훈
    • Journal of Acupuncture Research
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    • 제29권6호
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    • pp.1-10
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    • 2012
  • Objectives : The aim of this review was to summarize and assess researches reporting thermal properties of moxibustion. Methods and Materials : We searched one electronic database(PubMed) and two journals(The Journal of Korean Medicine and The Journal of Korean Acupuncture & Moxibustion Society) and for the articles published until Nov. 2012. The articles reporting thermal characteristic of moxibustion were selected and reviewed. 31 articles were included and assessed in this review. The type of moxibustion, the material beneath moxbustion, main outcome and the amount of information were reviewed. The amount of information was defined as 1 for one main outcome reported in each article. Results : Direct moxibustion were used in 15 articles and indirect moxibustion were used in 19 articles. 11 researches used anti-heating plate for the material beneath moxibustion, one article used steel ring, agar with anti-heating plate, six articles used skin and another six articles used heater. Two articles used animals and another two articles used metals. The mean value of the amount of information was $4.41{\pm}2.94$(SD). Conclusions : Research articles assessing properties of moxibustion have been consistently published since 1993, and employed various methodologies. The amount of information has been associated with four section analysis and is currently decreasing. Research assessing properties of moxibustion with clinical effectiveness is needed.

평판식 태양열 공기가열기의 성능에 관한 연구 -도장재료, 도장방법 및 공기통로 구조를 중심으로- (A Study on the Performance of Ak Heaters -Black Coating Materials, Coating Methods and Structure of Air Path-)

  • 박종길;연광석;차균도
    • 한국농공학회지
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    • 제21권1호
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    • pp.78-85
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    • 1979
  • In order to obtain the basic data for designing optimum flat plate solar air heaters, which can be operated with relatively low temperature for drying farm products, 8 different treatment of solar air heaters were devised and tested for their heating performances and efficiencies. The results were analised and summarized as follows. 1. The primary factors, structure of air path (C), black coating materials (A) and bottom coating methods (B) showed very high significant effect of far above 1% level. With respect to the mutual multiplying effect of secondary factors, 1% level of significance was found with coating materials and methods (AB), and 5% level of significance was found with coating materials and air path structure (AC). 2. The heating performance of the air heaters with winding air path showed about twice those with straight air path. 3. The Korean black ink which is less expensive than dim oil paint showed 3-4% better heating efficiencies as the black coating material of flat plate solar air heaters. 4. The heating efficiencies of the solar air heaters whose bottoms were not black coated were 2-3% higher than those with black coated bottoms. 5. The highest heating efficiency of solar air heater among 8 different treatment was found in the plot of Korean black ink-bottom not coated-winding air path showing 29.0-34.5%

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An Experimental Study on the Characteristic of the Hot Water-Air Heating Generating System with a Solar Collector

  • Rokhman, Fatkhur;Hong, Boo-Pyo;You, Jin-Kwang;Yoon, Jung-In;Choi, Kwang-Hwan
    • 한국태양에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국태양에너지학회 2012년도 춘계학술발표대회 논문집
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    • pp.360-363
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    • 2012
  • A solar air heating has low efficiency compared with the solar water heating because the heat capacity of the air is small. The heat received by solar collector plate is not fully transferred to the air and then a part of them became the losses to the environment through conduction and convection process. This research is focusing on a design of better combined multi-purposed system suggested by us and aims to secure the more efficient solar energy utilization by combining the hot water and air heating system. The result in this paper has shown that the proposed design has better thermal performance than that of the common design. Furthermore, it was found that the performance of the combined air - water heating system increases the efficiency from 30% to 35%-40%.

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아래로 향한 수평가열판이 있는 수조에서의 자연대류 (Natural Convection in a Water Tank with a Heated Horizontal Plate Facing Downward)

  • Yang, Sun-Kyu;Chung, Moon-Ki;Helmut Hoffmann
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • 제27권3호
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    • pp.301-316
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    • 1995
  • 아래를 향한 가열 수평 평판이 있는 수조에서의 자연대류 현상을 규명하기 위한 실험적, 해석적인 연구를 수행하였다. 이는 압력용기 하부에 용융물이 있을때 캐비티내에서의 열수력현상을 규명하기 위한 간단화된 모델에 관한 연구이다. 압력 용기는 하부에 가열평판이 부착된 직육면체 단열 상자로 모의하고 이 상자는 물이 차 있는 수조에 설치된다. 냉각기는 정상상태의 유동 조건을 만들기 위해 상자와 수조사이의 U자 형태의 유동 영역에 설치된다. 실제 압력용기 하부에서는 다상 유동이 발생할 확율이 크나본 연구는 복잡한 다상 유동의 열수력 현상을 규명하기 위한 첫 단계 시도로서 단상유체를 사용한 실험 및 해석 연구이다. 본 연구에서는 가열 평판 아래에서의 자연대류현상특성을 더욱 잘 이해하기 위해 LDV와 열전대를 사용하여 속도와 온도를 측정하였다. 또한 입자가 부상된 유동장을 사진 찍어 유동을 가시화 하였다. 실험결과는 다음과 같다. 유체는 가열판과 냉각기가 작동할 때 매우 효과적으로 전 유동장에 걸쳐 순환한다. 가열판 하부에서 유동이 정체된 영역이 있고 매우 얇은 열 경계층을 갖는 두드러진 온도의 성층현상이 관찰되었다. FLUTAN Code를 이용한 해석은 속도를 합리 적으로 예측할 수 있다는 결과를 보여 주었다.

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습식 배연탈황공정에서 GGH 누설률 평가식의 수정 (Modification of GGH Leakage Evaluation Equations in Wet FGD System)

  • 천성남;안영모;장경룡
    • 한국대기환경학회:학술대회논문집
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    • 한국대기환경학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.387-388
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    • 2003
  • 습식 배연탈황 공정에서는 흡수탑 내에서의 황산화물 흡수율을 높일 목적으로 흡수탑으로 유입되는 배기가스를 약 5$0^{\circ}C$까지 냉각하고, 처리된 배기가스는 연돌에서의 자연 통풍력을 확보하고 연돌 배출 후 수분의 응축으로 인한 백연(white Plume)의 문제를 방지하고자 통상 9$0^{\circ}C$ 이상으로 가온하는 것이 일반적이며 이를 위해 다양한 형식의 열교환기가 설치 운영되고 있다. 탈황공정에서 흔히 GGH(gas to gas heater)라 불리는 Ljungstrom 방식의 열 교환기는 미처리된 고온가스와 처리된 저온 가스가 회전하는 열교환소자로 이루어진 영역을 지나면서 열 교환이 이루어지는 형태로 회전 부위 및 두 가스흐름의 구분 판(sector plate) 등에서 필연적으로 처리가스 흐름 중으로 미처리 가스의 누입이 일어나게 된다. (중략)

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Pool-Boiling Critical Heat Flux of Water on Small Plates: Effects of Surface Orientation and Size

  • Yang, Soo-Hyung;Baek, Won-Pil;Chang, Soon-Heung
    • 한국원자력학회:학술대회논문집
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    • 한국원자력학회 1996년도 춘계학술발표회논문집(2)
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    • pp.337-342
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    • 1996
  • The pool-boiling critical heat flux (CHF) of water on small flat plates has been experimentally investigated focusing on the effects of the inclination angle and size of the heated surface under near atmospheric pressure. The second-phase experiment was accomplished to find out the general CHF behavior for over-all inclination angles from -90$^{\circ}$ to 90$^{\circ}$using two plate-type test sections (30$\times$150 mm and 40$\times$150 mm) submerged in a slightly subcooled water pool. Test results generally confirm the first-phase findings and show little effect of inclination angle for inclined upward-facing cases. CHF position moves to lower position with the increase of the heater characteristic size and inclination angle(from -30$^{\circ}$to 60$^{\circ}$).

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