• 제목/요약/키워드: He-Xe gas Mixture

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Analysis of Electron Transport Coefficients in Binary Mixtures of TEOS Gas with Kr, Xe, He and Ne Gases for Using in Plasma Assisted Thin-film Deposition

  • Tuan, Do Anh
    • Journal of Electrical Engineering and Technology
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    • 제11권2호
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    • pp.455-462
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    • 2016
  • The electron transport coefficients in not only pure atoms and molecules but also in the binary gas mixtures are necessary, especially on understanding quantitatively plasma phenomena and ionized gases. Electron transport coefficients (electron drift velocity, density-normalized longitudinal diffusion coefficient, and density-normalized effective ionization coefficient) in binary mixtures of TEOS gas with buffer gases such as Kr, Xe, He, and Ne gases, therefore, was analyzed and calculated by a two-term approximation of the Boltzmann equation in the E/N range (ratio of the electric field E to the neutral number density N) of 0.1 - 1000 Td (1 Td = 10−17 V.cm2). These binary gas mixtures can be considered to use as the silicon sources in many industrial applications depending on mixture ratio and particular application of gas, especially on plasma assisted thin-film deposition.

Microdischarge using priming particles for reducing neon emission in AC plasma display panel with Ne-Xe-He gas mixture

  • Kim, Hyun;Jang, Sang-Hun;Tae, Heung-Sik;Chien, Sung-Il;Lee, Dong-Ho
    • 센서학회지
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    • 제15권4호
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    • pp.284-290
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    • 2006
  • This study uses neon, xenon, and helium gas mixture microdischarge to determine the effects of priming particles on the neon emission characteristics in an alternate current plasma display panel (AC PDP). The infrared (823 nm) and neon emission (585 nm) intensities are measured and compared in the blue cells in the case of new discharge with priming particles or conventional discharge without priming particles, respectively. It is found that the priming particles can produce a plasma discharge effectively even under the weak electric field condition, thereby resulting in reducing the neon emission intensity remarkably without sacrificing the IR emission intensity. As a result, it is found that the Ne emission intensity is reduced by about 46.4 % but the blue visible emission intensity is increased by about 15.2 % when compared with the conventional discharge without priming particles.

Quadrupole Mass Spectrometry를 이용한 핵연료봉내 기체분석 (Analysis of Gases in Nuclear Fuel Rod by Quadrupole Mass Spectrometry)

  • 김승수;강문자;박순달;박용준;조기수
    • 분석과학
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    • 제12권2호
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    • pp.94-98
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    • 1999
  • Quadrupole Mass Spectrometer를 이용하여 핵연료봉으로부터 포집된 1기업이하 소량의 기체들로부터 그들의 조성과 동위원소비를 구하는 방법을 검토하였다. He, $N_2$, $O_2$, Ar, Kr, Xe의 개별기체와 혼합기체를 이용하여 기체압력과 조성비에 따른 검정곡선의 직선성을 조사하였다. Sample chamber와 analyser chamber 사이에 부착된 molecular leak의 영향을 조사하였으며, 시료와 유사한 조성을 갖는 혼합표준기체로부터 각 기체의 감도를 얻은 후 동일조건에서 시료를 분석하였다. 측정압력 범위에서 Kr과 Xe의 동위원소간 감도차는 크게 나타나지 않았다.

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13.56MHz로 여기되는 도파관 $CO_2$ 레이저의 동작특성 및 Xe 첨가효과 (Operating Characteristics of a Waveguide $CO_2$ Laser Excited by 13.56MHz and Additional Xe Effect)

  • 김영식;권혁상;신교철;백찬기;김윤명;박재환
    • 한국광학회지
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    • 제3권4호
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    • pp.234-238
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    • 1992
  • 금속과 판유리를 이용한 도파관 탄산가스 레이저를 제작하고 출력특성을 조사하였다. 도파관의 길이는 50cm, 내부 단면적은 $6\times 6\ttextrm{mm}^{2}$이며 13.56MHz의 고주파로 횡여기시키는 방식이다. 가스 밀폐형으로 동작될 때 입력전력과 가스압력 변화에 의한 레이저 출력의 측정 결과 가스 분압비 $He:CO_{2}:N_{2}:Xe= 6:1:2:1$, 전체 가스압력 50Torr, 고주파 입럭전력이 180W인 조건에서 최대출력 9.5W로 발진하고 있다.

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Reduction of Temporal Image Sticking in AC Plasma Display Panels through the Use of High He Contents

  • Park, Choon-Sang;Kim, Sun-Ho;Kim, Jae-Hyun;Tae, Heung-Sik
    • Journal of Information Display
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    • 제10권4호
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    • pp.195-201
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    • 2009
  • The temporal dark- and bright-image sticking phenomena were examined relative to the He contents under 11% Xe content in the 50-in HD and FHD AC-PDPs with a ternary gas mixture (Xe-He-Ne). To compare the temporal dark- and bright-image sticking phenomena under various He contents, the differences in the disappearing time, display luminance, perceived luminance, infrared emission, color coordinate, color temperature, and discharge current before and after discharge were measured under 0, 35, 50, and 70% He contents. It was found that temporal dark- and bright-image sticking were reduced in proportion to the increase in He %. Thus, a high He content contributes to the reduction of temporal dark- and bright-image sticking.

PDP와 LCD에서의 가스방전 페널에 대한 기초연구 (Basic study on the gas discharge panel for LCD and PDP)

  • 송병두;하성철;전병훈
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 추계학술대회 논문집 Vol.16
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    • pp.554-557
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    • 2003
  • This paper describes the information for quantitative simulation of weakly ionized plasma. We should grasp the meaning of the plasma state condition to utilize engineering application and to understand materials of plasma state. In this paper, electron swarm parameter in He+Xe and Ar+He mixture gas calculated for range E/N values $0.01{\sim}500$ [Td] at the temperature is 300 [K] and pressure is 1 [Torr], using a set of electron collision cross sections determined by the authors, and using a method of Backward Prolongation by two term approximation Boltzmann equation method, for basic study on the gas discharge panel.

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Discharge characteristics of a Flat Fluorescent Lamp(FFL) contanining Penning gases

  • Lee, Sang-Mok;Cho, Yong;Jung, Sang-Kooun;Jeong, Byoung-Hyun;Jeong, Yun-Cheol;Kwak, Min-Gi;Sohn, Sang-Ho
    • 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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    • 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
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    • pp.675-678
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    • 2006
  • We developed a Flat Fluorescent Lamp(FFL) with a high luminance by using the same discharge mode as PDP. Our FFL has the simple and unique structure where the glass substrates are used as dielectric layers. The panel has a striped line shape of 7 inch diagonal size. The Xe-Ne-He mixture gas was used to generate the plasma, and the gas discharge characteristics under both total gas pressure and partial gas pressure were investigated. The panel showed a maximum high luminance $7,270cd/m^2$ under bias of 20KHz pulse of 3KV.

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고주파 여기식 매트릭스형 도파관 이산화탄소 레이저 (The radio-frequency excited matrix waveguide CO2 laser)

  • 최종운;안명수;이영우
    • 한국광학회지
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    • 제15권4호
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    • pp.343-348
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    • 2004
  • 고주파로 여기 되는 매트릭스형 도파관 이산화탄소 레이저를 개발하였다. 단위길이당 레이저 출력을 증가시키기 위하여 4개의 고주파 방전관을 2 ${\times}$ 2 형태의 매트릭스 구조로 제작하여 한개의 공진기 속에 배치하였다. 레이저 출력은 출력경으로부터 가까운 거리에서는 4개의 독립된 형태로 출력되었고, 출력경으로부터 거리가 멀어질수록 4개의 빔이 하나로 합쳐짐으로서 가우시안 모드에 가까워지는 것을 확인하였다. 레이저에 주입되는 혼합 가스압력이 45 mbar, 가스 혼합비율이 $CO_2$ : $N_2$ : He : Xe = 1 : 1 : 3 : 0.2, 고주파입력 파워가 200 W일 때 약 12 W의 광출력을 얻었다.

레이저 흡수 분광법을 이용한 He-Ne-Xe 상종가스의 외부전곡 램프의 $1s_4$ 공명준위와 $1s_5$ 준안정준위의 제논 원자 밀도에 대한 연구 (Laser absorption spectroscopy of ternary gas mixture of He-Ne-Xe in External Electrode Fluorescent Lamp (EEFL))

  • 정세훈;오필용;이준호;조광섭;최은하
    • 한국진공학회지
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    • 제15권6호
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    • pp.576-580
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    • 2006
  • 본 논문에서는 수은 램프를 대체하기 위하여 제논 기체를 사용한 무수은 램프를 제작하여 제논 여기종 밀도에 대한 연구를 진행하였다. 진공자외선을 방사할 수 있는 $1s_4$ 공명준위의 제논 원자 밀도와 $1s_5$ 준안정준위의 제논 원자 밀도를 레이저 흡수 분광법을 사용하여 다양한 기체조건 및 방전전류에 따라서 측정하였다. 우리는 주어진 압력에서 방전전류에 따른 $1s_4$ 공명준위의 제논 원자 밀도와 $1s_5$ 준안정준위의 제논 원자 밀도를 측정하였으며 이러한 기본적인 방전 특성의 이해는 EEFL뿐만 아니라 플라스마 디스플레이에서도 발광 효율을 높이는데 매우 큰 기여를 할 것이다.

불소 표면 개질 고분자 분리막의 제조와 노블가스 분리특성 (Fabrication of Fluorinated Polymeric Membranes and Their Noble Gas Separation Properties)

  • 김기범;윤국로
    • 공업화학
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    • 제21권4호
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    • pp.475-478
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    • 2010
  • 불소화 반응을 통하여 PDMS을 질소 분위기 하에서 $50{\sim}2000\;{\mu}mol/mol$ 농도의 불소 가스($F_2$)를 사용하여 직접적인 방법으로 복합막 표면개질을 하였고 이를 OM (Optical Microscope), AFM (Atomic Force Microscope), SEM (Scanning electron microscope), FT-IR (Fourier transform infrared spectroscopy)을 측정하여 막 표면을 연구하였고 GC (Gas chromatography)로 혼합 노블가스의 기체 거동을 조사하였다. 다양한 노블 혼합 가스를 사용하여 표면 개질된 PDMS 멤브레인의 선택도가 50% 향상 되었다.