Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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2006.05a
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pp.115-120
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2006
MEMS 소자의 접합과 패키징에 Pb free solder를 사용하게 됨에 따라 발생하는 문제들로 인하여 보다 쉽고 간편하게 hermetic이 유지될 수 있는 방법을 검토하게 되었다. 따라서 본 연구는 epoxy 계통의 negative PR인 XP SU-8 3050 NO-2를 접착제로 사용 시 Si시편/ 유리기판, Si시편/LTCC기판에서 hermetic 특성의 고찰이 목적이다. Si시편/유리기판과 Si시편/LTCC기판의 접합 계면에 접착제로 negative PR을 토출하고 활성화 공정조건을 행한 시편들에서 hermetic이 얻어졌다. Si시편/유리기판의 leak rate는 $5.9{\times}10^{-8}mbar-1/sec$로 접합방법에 따른 영향은 없었으며, Si시편/LTCC 기판에서 leak rate는 $4.9{\times}10^{-8}mbar-1/sec$로 Si시편/유리기판과 비슷하였다. 향후 He leak rate를 개선하기 위해서는 LTCC 기판을 가공하여 PR 흐름방지 턱을 만들고, UV expose 에너지를 높이고 ($400mj/cm^2$ 조사), 시린지/기판의 gap 조절을 자동화 할 수 있는 vision system이 부착된 장비를 사용하면, 보다 낮은 leak rate 값을 얻을 수 있어 우수한 hermetic이 유지된다.
The CANDU 6 reactor assembly consists of an array of 380 pressure tubes, which are installed horizontally in a large cylindrical vessel, the Calandria, containing the low pressure heavy water moderator. The pressure tube is located inside the calandria tube and the annulus between these tubes, which forms a closed loop with $CO_2$ gas recirculating, is called the Annulus Gas System(AGS). It is designed to give an alarm to the operator even for a small pressure tube leak by a very sensitive dew point meter so that he can take a preventive action for the pressure tube rupture incident. To judge whether the operator action time is enough or not in the design of Wolsong 2,3 & 4, the Leak Before Break(LBB) assessment is required for the analysis of the pressure tube failure accident. In order to provide the required data for the LBB assessment of Wolsong Units 2, 3, 4, a series of leak detection capability tests was performed by injecting controlled rates of heavy water vapour. The data of increased dew point and rates of rise were measured to determine the alarm set point for the dew point rate of rise of Wolsong Unit 2. It was found that the response of the dew point depends on the moisture injection rate, $CO_2$ gas flow rate and the leak location. The test showed that CANDU 6 AGS can detect the very small leaks less than few g/hr and dew point rate of rise alarm can be the most reliable alarm signal to warn the operator. Considering the present results, the first response time of dew point to the AGS $CO_2$ flow rate is approximated.
Proceedings of the Korea Institute of Fire Science and Engineering Conference
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1997.11a
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pp.282-288
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1997
The purpose of this paper is to predict the situation of leak in closed space using an Artificial Neural Network (ANN). The existing system can't monitor the whole He situations with on/off signals. Especially the first stage of data determines the leak spot and intensity is disregarded in gas accidents. To complement these faults, a new prototype of monitoring system is proposed. Ihe system is composed of'sensing systenL data acquisition system computer, and ANN implemented in software and is capable of identifying the leak spot and intensity in closed space. The concentration of gas is measured at the 4 different places. The network has 3 layers that are composed of 4 input Processing Element (PE),24 hidden PEs, md 4 output PEs. The ANN has optimum condition through several experiments and as a consequence the recognition rate of93.75% is achieved finally
SOFC 발전시스템의 상용화를 위해 선행되어야 할 것은 스택의 안정적 출력 및 신뢰성 확보이다. 이를 이루기 위해서는 스택을 구성하는 구성요소의 신뢰성 있는 규격 및 검수가 필요하다. 즉, 셀, 밀봉재, 분리판 및 집전체로 대변되는 구성요소들이 스택에 장착되었을 때 그 기능을 최대한 발휘하면서도 점진적 또는 급격한 품질저하가 발생되지 말아야 한다. 특히, 셀의 경우 스택의 성능에 직접적인 영향을 미치는 구성요소로서 품질에 대한 명확한 검수기준이 필요하다. SOFC용 셀은 다공성 anode, 치밀한 전해질, 그리고 다공성 cathode로 구성된 세라믹 소결체이다. 이 때 치밀한 전해질에 결함이 내재되어 있거나 물리적 힘에 의해 신규로 발생할 경우, 연료로 사용되는 수소와 공기가 만나는 cross-over가 발생하게 된다. Cross-over는 연료가 소모되는 문제도 있지만 발열로 인한 Hot spot을 형성시켜서 주변과의 온도구배를 유발하고, 이로 인해 고체 전해질의 균열전파를 일으킬 수 있고 나아가 급격한 셀의 파괴를 야기할 수 있다. 본 연구에서는 SOFC에 사용되는 셀의 형상측정, 물리적 강도 및 결함 검출을 위한 검수기법을 개발하여 스택의 신뢰성 향상과 향후 규격표준화를 위한 기반을 제공하고자, 평판형 셀의 3차원 형상을 정밀하게 측정하는 장치와 일정 면압을 인가하여 특정 형상을 갖고 있는 셀의 물리적 파괴여부를 판단할 수 있는 장치, 그리고 셀의 전해질에 내재된 결함을 검출할 수 있는 장치를 제작하였다. 본 장치들은 $1,000cm^2$급 평판형 셀까지 검수할 수 있도록 고안하여 양산시스템에 접목시킬 수 있도록 고안된 것이다. 본 장치들을 이용한 검수결과, 현재 $700cm^2$급 평판형 셀의 경우 최대 camber가 4mm 이하, 전해질의 He leak rate는 $5{\times}10^{-5}mbar.l/s.cm^2$ 이하라는 검수규격을 본 연구소에서 운전하는 스택에 1차적으로 적용하였으며 현재 검수규격의 신뢰성 및 강화를 위한 연구를 수행 중에 있다.
One hundred eight patients (Feb.'86, through Jan.'96) underwent 53 mitral(MVR), 20 aortic(AVR), )5 double(DVR) valve replacement with SJM prosthesis. There were 55 males and 53 females whose mean age was 36.3 $\pm$ 10.4 years. We used 143 valves in mitral(88), aortic(54), and tricuspid(1) sites. The size and number of valves were 31 mm(32). 33inm(23), 29mm(20), 27mm(10), 25mm(2), and 35mm(1) in mitral site; 2)mm(21), 21mm(1 S), 19mm(7), 25mm(5), 27mm(2), and 33mm(1) in aortic site; and Blmm(1) in tricuspid site. Preoperative NYHA functional classes were II(14), III(73) and IV(21), and which were improved into I(89) and II(16) postoperatively. Early postoperative complications occurred in 15 cases(13.9%) in which LOS was the most common one(5 cases; 4.6%). fatly hospital death occurred in 3 cases(2.8%) due to LOS(1) and sudden cardiac arrest(2) he cummulative total follow-up period was 437.6 pl-yr with a mean of 4.1$\pm$2.9 years. There were 5 events of valve related'complications (2 TE, 1 paravalvular leak, 1 TE+paravalvular leak, 1 PVE) with the occurrence rate as 1.14%/pt-yr. Reoperation was performed in 2 cases and there were 2 cases of valve related death due to one PVE and one paravalvlllar leak. The complication free rate was 91.4$\pm$ ).4% at 10 years. Actuarial survival rate was 93.6 $\pm$ 3.1 % at 10 years.
This paper reports on an LTCC-based packaging method using Au/Sn eutectic bonding process for RF MEMS applications. The proposed packaging structure was realized by a micromachining technology. An LTCC substrate consists of metal filled vertical via feedthroughs for electrical interconnection and Au/Sn sealing rim for eutectic bonding. The LTCC capping substrate and the glass bottom substrate were aligned and bonded together by a flip-chip bonding technology. From now on, shear strength and He leak rate will be measured then the fabricated package will be compared with the LTCC package using BCB adhesive bonding method which has been researched in our previous work.
A closed-loop cryogenic cooling system for high field magnets is presented. This design is motivated by our recent development of cooling system for 21 tesla Fourier Transform ion Cyclotron Resonance (FT-ICR) superconducting magnets without any replenishment of cryogen. The low temperature superconducting magnets are immersed in a subcooled 1.8 K bath, which is connected hydraulically to the 4.2 K reservoir through a narrow channel. Saturated liquid helium is cooled by Joule-Thomson heat exchanger and flows through the JT valve, isenthalpically dropping its pressure to approximately 1 6 kPa, corresponding saturation temperature of 1.8 K. Helium gas exhausted from pump is now recondensed by two-stage cryocooler located after vapor purify system. The amount of cryogenic Heat loads and required mass flow rate through closed-loop are estimated by a relevant heat transfer analysis, from which dimensions of JT heat exchanger and He II heat exchanger are determined. The detailed design of cryocooler heat exchanger for helium recondensing is performed. The effect of cryogenic loads, especially superfluid heat leak through the gap of weight load relief valve, on the dimensions of cryogenic system is also investigated.
Sun, Jing He;Joh, Chul W;Ahn, Young Hwan;Park, Chan Hee;Shim, Chull;Park, Kyung Bae;Cho, Kyung Gi
Journal of Korean Neurosurgical Society
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v.29
no.10
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pp.1309-1315
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2000
Objectives : We performed an in vivo experiment to investigate the effect of $^{166}Holmium$ and $^{166}Holmium$-chitosan complex($^{166}Ho$-CHICO) on the normal brain of rats and to determine the sublethal dose of $^{166}Ho$-CHICO. Materials and Methods : $^{166}Ho$ is a beta and gamma ray emitter. $^{166}Ho$-CHICO is a novel radio-pharmaceutical complex with chitosan to facilitate the transport of $^{166}Ho$ obtained from Korea Atomic Energy Research Center(Taejon, Korea). It is in acidic form and becomes gel state at alkaline pH. One hundred and seventy consecutive rats were divided into four groups : $^{166}Ho$ treated(n=50), $^{166}Ho$-CHICO treated(n=57), saline treated(n=5) and chitosan treated(n=5) groups. $^{166}Ho$ and $^{166}Ho$-CHICO were injected into the rat brain stereotactically with various doses of 0.1mCi/$20{\mu}l$, 0.2mCi/$20{\mu}l$, 0.3mCi/$20{\mu}l$, and 0.4mCi/$20{\mu}l$ using an automated microinjector. Nuclear imaging, histopathological and hematological studies were performed in 10 rats in each group at 1 day, 3days, 7 days, 1 month and 3 months after the injections. Results : An infiltration of inflammatory cells and necrotic changes were noted in $^{166}Ho$ treated group at 1 week after the injection. A wedge-shaped tissue defect due to necrosis, lined with infiltrated glial cells in $^{166}Ho$ treated group and a cystic defect lined with reactive astroglial cells in $^{166}Holmium$-CHICO treated group at 3 months after the injection were observed. $^{166}Ho$ alone without chitosan leaked out and caused necrotic lesion on the cerebral surface but $^{166}Holmium$-CHICO treated group did not show this feature. As the dose of $^{166}Ho$ increased, the mortality rates were also increased. The mortality rate of the $^{166}Holmium$-CHICO group was higher than the $^{166}Ho$ treated group at a dose of 0.4mCi/$20{\mu}l$/300g. There was no detectable radioactivity due to the leakage or extravasation from the injected site of the brain on the scintigraphy performed at 1 hour, 24 hours and 48 hours after the injection. There was also no detectable activity of $^{166}Holmium$-CHICO in other organs including spleen, liver and kidney. Conclusions : $^{166}Ho$-CHICO did not leak out to the critical cortical surface of the brain from the injection site and induced radiation changes of the parenchyma around the injection site without cortical damage. The sublethal dose of $^{166}Ho$-CHICO for the normal brain in rats was determined to be 0.2mCi/$20{\mu}l$/300g.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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