• 제목/요약/키워드: Handling stability

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300 mm 웨이퍼의 전영역 TTV 측정 정밀도 향상을 위한 모듈 설계 (Design for Enhanced Precision in 300 mm Wafer Full-Field TTV Measurement)

  • 정안목;이학준
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제30권3호
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    • pp.88-93
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    • 2023
  • 고대역폭 메모리(HBM)에 대한 수요가 증가하고 직경이 더 큰 웨이퍼의 핸들링 기술이 발전함에 따라 본딩 웨이퍼의 두께 균일성에 대해 신뢰성을 확보할 수 있는 측정 방법이 요구되고 있다. 본 연구에서는 300mm 웨이퍼를 대상으로 웨이퍼의 전 영역에 대해 TTV를 측정할 수 있는 모듈을 설계 제직하고, 측정 모듈의 설계를 바탕으로 발생할 수 있는 측정 오차를 분석하였으며, 웨이퍼의 처짐과 척의 기구적 오차를 고려한 모델 해석을 통해 예측된 기울기 값에 따른 측정 오차를 추정하였다. TTV 측정 모듈은 웨이퍼 지지를 위한 센터 척과 리프트 핀을 활용하여 웨이퍼의 전체 영역에 대해 측정이 가능하도록 하였다. 모달 해석을 통해 모듈의 구조적 안정성을 예측하였으며, 구동부와 측정부 모두 100Hz 이상의 강성을 갖는 것을 확인하였다. 설계된 모듈의 측정 오차를 예측한 결과 두께 1,500um의 본딩 웨이퍼를 측정할 경우 예측된 측정 오차는 1.34nm로 나타났다.

Design of BOG re-liquefaction system of 20,000 m3 liquid hydrogen carrier

  • Byeongchang Byeon;Hwalong You;Dongmin Kim;Keun Tae Lee;Mo Se Kim;Gi Dock Kim;Jung Hun Kim;Sang Yoon Lee;Deuk Yong Koh
    • 한국초전도ㆍ저온공학회논문지
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    • 제25권3호
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    • pp.49-55
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    • 2023
  • This paper presents the design of a re-liquefaction system as a BOG (boil-off gas) handling process in liquid hydrogen transport vessels. The total capacity of the re-liquefaction system was assumed to be 3 ton/day, with a BOR (boil-off rate) of 0.2 %/day inside the cargo. The re-liquefaction cycle was devised using the He-Brayton Cycle, incorporating considerations of BOG capacity and operational stability. The primary components of the system, such as compressors, expanders, and heat exchangers, were selected to meet domestically available specifications. Case studies were conducted based on the specifications of the components to determine the optimal design parameters for the re-liquefaction system. This encompassed variables such as helium mass flow rate, the number of compressors, compressor inlet pressure and compression ratio, as well as the quantity and composition of expanders. Additionally, an analysis of exergy destruction and exergy efficiency was carried out for the components within the system. Remarkably, while previous design studies of BOG re-liquefaction systems for liquid hydrogen vessels were confined to theoretical and analytical realms, this research distinguishes itself by accounting for practical implementation through equipment and system design.

가상치유농장시스템 설계를 위한 전문가 인식 조사 (Surveying Expert Perceptions for Designing an Agro-Healing Virtual Reality Therapy System)

  • 배승종;김수진;구희동;김대식
    • 농촌계획
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    • 제29권4호
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    • pp.211-219
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    • 2023
  • In this study, the importance of each design element was analyzed by surveying experts in the development of Agro-Healing Virtual Reality Therapy System. It was found that the results of experts content importance were consistent with the results of consumer preferences in previous studies, such as psychological and emotional stability as the main effect the importance of sight and hearing, a relatively short time of 30 minutes or less, a low price of 5,000 won or less, technical factors that can satisfy the five senses, and various contents. When the spatial elements of the Agro-Healing Virtual Reality Therapy System were categorized into three major categories: elements and equipment, lines and paths, and sites and spaces, 'flowers', 'playgrounds', 'paths', 'sidewalks', 'rest areas' and 'gardens' were found to be highly important. Among the components of Agro-Healing Virtual Reality Therapy System, the usability was divided into eight major categories, including searchability, attractiveness, cognition, error handling, control, consistency, convenience, and feedback, and the importance was analyzed for each component. The significance of this study is that it suggests the design direction of virtual healing farm systems and provides effective information that can be used in the development of related systems in the future.

고사리 산업화를 위한 인공종자 개발 및 생산 (Synthetic Seed Development and Production for Industrialization of Eastern Bracken)

  • 장보국;조주성;이철희
    • 한국자원식물학회:학술대회논문집
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    • 한국자원식물학회 2021년도 춘계학술대회
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    • pp.11-11
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    • 2021
  • Ferns have been consumed as food in many countries for centuries. As rich sources of protein, fiber, minerals, vitamins, essential amino acids, and fatty acids, ferns provide important nutrients to humans. Eastern bracken (Pteridium aquilinum var. latiusculum (Desv.) Underw. ex A. Heller) is the most popular edible fern in South Korea where, additionally, it has long been used as an edible wild leaf vegetable. Recently, the production of eastern brackens in South Korea (2018) has reached 14,032 tons, for an annual revenue of 83.5 billion won, and even more eastern brackens are marketed if imports are taken into account as well. Most of the common ferns can be propagated using spores. However, fern farmers cultivate seedlings through traditional propagation methods, such as root pruning or rhizome division. These propagation methods exhibit limitations in forming roots and growing-points and are labor intensive. Quality seedlings of eastern bracken can be obtained through spore propagation, but the spores are fine and difficult to handle in the field. In addition, it would require appropriate environmental control. The production of synthetic seeds using encapsulation technology is easy to establish and it can be used to achieve high productivity at low cost. Synthetic seeds contain explants embedded into a seed foam, and they overcome the limitations of micropropagation and offer the possibility of using plug seedlings. Synthetic seed matrix, such as sodium alginate, has the advantages of low cost, low toxicity, and gel stability. The present study aimed to develop and produce synthetic seeds for the commercial exploitation of eastern bracken. Furthermore, we verified spore germination and the extent of gametophyte and sporophyte development achieved with our new synthetic seeds, whose production was intended to solve current problems with the handling, storage, and transportation of eastern bracken.

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시계열 분석을 이용한 흙막이 벽체 변형 예측 (Time Series Analysis for Predicting Deformation of Earth Retaining Walls)

  • 서승환;정문경
    • 한국지반공학회논문집
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    • 제40권2호
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    • pp.65-79
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    • 2024
  • 본 연구는 전통적인 통계기반 ARIMA(Auto-Regressive Integrated Moving Average) 모델과 딥러닝 기반 LSTM(Long Short-Term Memory) 모델을 활용하여 굴착 현장의 지중경사계 데이터를 통한 흙막이 벽체 변형을 예측하고, 두 모델의 예측 성능을 비교 분석하였다. ARIMA 모델은 시간의 흐름에 따른 시계열 데이터의 선형적 패턴을 분석하는 데 강점을 보이는 반면, LSTM은 데이터의 복잡한 비선형 패턴과 장기 의존성을 포착하는 데 우수한 능력을 보여주었다. 본 연구는 흙막이 벽체 변형 예측을 위해 지중경사계 계측 데이터에 대한 전처리, 다양한 시계열 데이터 길이 및 입력변수 조건 등에 따른 성능 평가를 포함하였으며, LSTM 모델이 ARIMA 모델에 비해 통계적으로 유의미한 예측 성능 향상을 확인하였다. 본 연구의 결과는 굴착 현장에서의 지중경사계 데이터를 활용한 흙막이 벽체의 안정성 평가에 LSTM 모델을 효과적으로 적용할 수 있음을 보여준다. 또한 이를 바탕으로 향후 굴착 현장 전체에 대한 안전모니터링 시스템 구축과 시계열 예측 모델 발전에 기여할 것으로 기대된다.

부착방지를 위한 새로운 표면 개질 물질 (A New Organic Modifiers for Anti-Stiction)

  • 김봉환;전국진;이윤식
    • 센서학회지
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    • 제11권2호
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    • pp.102-110
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    • 2002
  • 본 논문에서는 부착현상에서 자유로운 다결정실리콘의 표면을 만들기 위하여 새롭게 표면개질 물질로 사용한 dichlorodimethysilane (DDMS, $(CH_3)_2SiCl_2$)에 대하여 화학적, 기계적 특성에 대해 조사하였다. 주된 전략은 기존의 octadecyltrichlorosilane (ODTS)이나 1H,1H,2H,2H-perfluorodecyltrichlorosilane (FDTS) 같은 monoalkyltrichlorosilane (MTS, $RSiCl_3$) 계열의 물질을 dialkyldichlorosilane (DDS, $R_SiCl_2$)와 같은 두 개의 짧은 고리를 가진 물질로 대체하는 것이다. DDMS는 짧은 두 개의 고리를 가지고 있어서 다결정실리콘 표면에 빨리 코팅된다. 3 mm까지의 긴 외팔보에 코팅을 한 경우, 희생층 제거시 부착현상 뿐만 아니라 사용중 부착현상도 방지할 수 있었다. DDMS 코팅된 다결정실리콘의 표면은 ODTS 나 FDTS 코팅된 표면보다 더 만족스러운 소수성과 지속적인 안정성과 열적 안정성을 가지고 있었다. 또한 DDMS 코팅은 더 쉽게 사용할 수 있고 장기간 용기에 저장할 수 있으며 온도의 의존성이 낮으며, 가격도 상대적으로 낮은 특징을 가지고 있다. 이 새로운 표면개질 물질을 사용하면 기존에 비해 구조물을 아이소옥탄으로 세척 후 곧바로 건조하는 간단한 공정을 가지고 있어서 공정시간을 줄일 수 있다.

용액에 따른 자동분주기의 분주능력 평가와 분주력 향상 실험 (Pipetting Stability and Improvement Test of the Robotic Liquid Handling System Depending on Types of Liquid)

  • 백향미;김영산;윤선희;허의성;김호신;류형기;이귀원
    • 핵의학기술
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    • 제20권2호
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    • pp.62-68
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    • 2016
  • 1. 목적 자동분주기를 이용하여 검사한 Cyclosporine검사에서 표준액들이 curve를 벗어나고, 결과값의 재현성이 크게 떨어지는 것이 발견되었다. Cyclosporine검사는 다른 검사와 차이점이 methanol과 전혈을 혼합 후 원심분리 하여 methanol 추출액을 사용하여 검사를 한다는 것이다. 검사 결과 이상의 원인이 methanol 사용에 의한 것으로 파악되어 본 실험을 시작하였다. 본원에서 사용하는 분주기는 Perkin Elmer 사의 Multiprobe II plus 로, 분주하는 액체의 점도, 샘플링 tip의 size, 사용하는 모터의 속도에 따라 여러 설정값을 조정하라고 안내되어 있을 뿐 정확한 지침은 없었다. 이에 사용하는 액체별 분주성능을 측정하고 최적의 분주성능을 위한 설정값을 찾기 위해 연구하였다. 2. 대상 및 방법 분주력 측정을 위해 4가지 용액(water, serum, methanol, PEG 6000(25%))와 $TSH^{125}I$ tracer (515 kBq)을 사용 하였고, 실제 결과 값을 비교하기 위해 2016년 1월에 본원에 검사 의뢰된 Cyclosporine검체 29개를 측정하였다. 4가지의 용액을 multi pipette을 이용하여 각각 $400{\mu}l$ 분주하고 tracer $100{\mu}l$씩을 섞어 용액별로 8개의 검체를 준비하였다. 준비된 sample을 분주기로 $100{\mu}l$씩 분주하여 CPM을 측정하고, 용액별로 CV(%)를 계산하였다. 그리고 분주기의 air gap, 분주속도와 지연시간을 변경한 후 다시 분주하여 측정한 CPM을 CV(%)로 계산하여 설정 값 변경에 따른 CV(%)값의 변화를 측정하여 최적의 설정 값을 찾는다. Cyclosporine검체 29개를 (1)manual검사 (2)기존 설정 값으로 검사 (3)수정한 설정값으로 검사 했을 때의 결과를 비교하였다. 용액별 분주력 평가는 CV(%)를 이용하여 계산하였고, 실제 검사 결과 값의 비교는 manual검사 결과를 기준으로 기존 설정 값으로 검사 했을 때, 수정한 설정 값으로 검사 했을 때의 결과 값을 Difference(%)와 상대오차(%Relative error : %RE)로 비교해 보았다. 3. 결과 4가지 용액과 tracer를 섞어 분주한 CPM의 CV(%)는 water 0.88, serum 0.95, methanol 10.22, PEG는 0.68로 methanol을 제외한 용액들은 1% 이내였으나, methanol은 CPM 차이가 두드러졌다. methanol 분주를 기존 설정 값인 Transport air gap 0에서 2와 5로 변경하여 검사 시 CV(%)는 각각 20.16, 12.54, System air gap 0에서 2와 5로 변경 시 8.94, 1.36으로 나타났다. System air gap 2, Transport air gap 2로 변경 시 CV(%)는 12.96, System air gap 5, Transport air gap 5로 변경 시 1.33 이었고, Dispense speed를 300에서 100으로 변경 시 CV(%)는 13.32, Dispense delay를 200에서 100으로 변경 시는 13.55인 것으로 나타났다. 분주기를 이용하여 기존설정 값으로 검사 시에는 manual검사 결과 값에 비해 평균 99.44%증가 하였고, 상대오차는 93.59%로 나타났다. 수정된 설정 값(System air gap 0에서 5로 변경, 다른 설정은 기존과 동일)으로 검사 했을 때는 manual검사 결과 값에 비해 결과가 평균 6.75% 증가 하였고, 상대오차는 5.10%로 상대오차의 허용기준치 10%에 비하여 양호한 결과가 나왔다. 4. 결론 Transport air gap, Dispense speed, Delay time을 조정하였을 때는 CV(%)가 증가하였고, System air gap을 조정 하였을 때 CV(%)가 현저하게 감소하였다. 실제 검사결과에서도 이를 확인 할 수 있었다. methanol을 이용한 Cyclosporine검사 kit는 올해 2월에 단종이 되었지만, 분주기를 사용함에 있어 용액에 따른 분주성능에 차이가 있을 수 있음을 염두해 두어야 하고 새로운 용액을 분주해야 할때는 미량저울로 분주량을 측정하거나 CPM으로 분주성능을 측정하여 해당 용액이 분주기를 사용함에 적절한지 검증 후 사용하여야 할 것으로 사료되어 본 실험결과를 보고하고자 한다.

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실내공기질 공정시험법 중 VOCs 측정방법의 문제점 고찰 및 개선방안에 관한 연구 (Critical Evaluation of and Suggestions for the VOCs Measurement Method Established as the Korean Indoor Air Quality Standard Method)

  • 예진;정동희;백성옥
    • 한국대기환경학회지
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    • 제30권6호
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    • pp.586-599
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    • 2014
  • During the last two decades, indoor air quality and volatile organic compounds (VOCs) have been of concern in Korean society due to their nature of potential health impacts. In order to investigate the pollution levels of VOCss in indoor environments, establishment of a solid test method for monitoring the airborne VOCss is essential. In Korea, a method based on adsorbent sampling and GC analysis coupled with thermal desorption was proclaimed as the Korea Standard Method for Indoor Air Quality Test. This study was carried out to examine some inherent problems of the VOCs measurement method. The VOCs method does not describe in detail preparing the standard samples. The standard samples may be prepared by impregnation of either liquid standard solutions or a mixture of standard gases. In this study, we investigated the optimal temperature condition for transferring the liquid standards onto a standard adsorbent tube. As a result, keeping the impregnation temperature at $250^{\circ}C$ will be recommended in regard of the boiling points of multiple target analytes and the thermal stability of the adsorbent. We also demonstrated some problems associated with handling of a syringe used for transferring the standard solutions onto the adsorbent tubes, and a best way to get rid of the syringe problems was suggested. Finally, a number of field works were conducted to evaluate the performance of adsorbent sampling methods. Comparison of different adsorbent tubes, i.e. tube packed with single sorbent (Tenax) and double sorbents (Tenax with Carbotrap), revealed that 30 to 40% differences between the two groups, implying that sampling efficiency is depending on the volatility and the strength of adsorbents. However, duplicate precisions for VOCs sampling with a same type of adsorbent and at same flow rates appeared to be satisfactory to be all within 20%, which is a quality control guideline. Distributed volume precisions were also found to be within a guideline value, 25%, although the precision was in general inferior to the duplicate precision. The Korea indoor VOCs test method should be more refined and improved in many aspects, particularly procedure and instrumentation for preparing the standard samples and specification of quality control assessment.

나노 정밀도 스캐닝 용 공기베어링과 보이스 코일 모터의 초정밀 이중 스테이지 설계 및 제어 (Design and Control of Ultra-precision Dual Stage with Air bearings and Voice coil motor for nm scanning system)

  • 김기현;최영만;김정재;이문구;이석원;권대갑
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.1883-1886
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    • 2005
  • In this paper, a decoupled dual servo (DDS) stage for ultra-precision scanning system with large working range is introduced. In general, dual servo systems consist of a fine stage for short range and a coarse stage for long range. The proposed DDS also consists of a $XY\theta$ fine stage for handling and carrying workpieces and one axis coarse stage. Its coarse stage consists of air bearing guide system and a coreless linear motor with force ripple. The fine has four voice coil motors(VCM) as its actuator. According to a VCM's nature, there are no mechanical connections between coils and magnetic circuits. Moreover, VCM doesn't have force ripples due to imperfections of commutation components of linear motor systems - currents and flux densities. However, due to the VCM's mechanical constraints the working range of the fine is about $25mm^2$. To break that hurdle, the coarse stage with linear motors is used to move the fine about 500mm. Because of the above reasons, the proposed DDS can achieve higher precision scanning than other stages with only one servo. With MATLAB's Sequential Quadratic Programming (SQP), the VCMs are optimally designed for the highest force under conditions and constraints such as thermal dissipations due to its coil, its size, and so on. And for their movements without any frictions, guide systems of the DDS are composed of air bearings. To get precisely their positions, a linear scale with 5nm resolution are used for the coarse stage's motion and three plane mirror laser interferometers with 5nm for the fine's $XY\theta$ motions. With them, on scanning the two stages have same trajectories. The control algorithm is named Parallel method. The embodied ultra-precision scanning system has sub 100nm following error and in-positioning stability.

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DEA-AR을 활용한 철도 컨테이너 화물역 효율성 분석 (An Analysis of the Efficiency of Korean railroad container freight station with Data Envelopment Analysis-Assurance Region (DEA-AR))

  • 안치원;하헌구
    • 대한교통학회지
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    • 제27권3호
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    • pp.7-16
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    • 2009
  • 우리나라의 교통정책은 도로에 편중되어 있어 상대적으로 철도의 물류기능은 현저히 약화되어 있다. 최근 유가상승 및 환경문제로 인해 철도가 부각되기 시작 했으며 정부 또한 철도에 투자를 많이 하고 있다. 철도는 2005년 철도공사화를 기점으로 철도역사에 큰 획을 그었으며 경영개선을 위해 다각도로 노력하고 있다. 이에 본 연구는 공사화 전, 후의 효율성 추세를 알아보기 위해 우리나라 26개 철도 컨테이너 취급 화물역에 대해 2002년부터 2007년까지 역별 효율성과 효율성의 추세 및 안정성을 분석하였다. 효율성의 추정기법으로서 효율성 분석에 널리 사용되고 있는 DEA-AR(Data Envelopment Analysis-Assurance), DEA-Window 기법을 이용하였다. 효율성 분석결과에 의하면 윈도우2(2003-2005)은 윈도우1(2002-2004)에 비해 약간 효율성이 높아졌다가 이 후 윈도우3(2004-2006)까지 지속적으로 감소하였으며, 윈도우4(2005-2007)에 다시 상승하는 추세를 보여주었다. 전체적으로 효율성이 0.677로 낮은 수준을 보였으나 공사화 이후 경영개선 노력이 반영되는 일정 기간이 지난 후 부터는 효율성이 상승하는 추세를 보였다.