$Si_3N_4$ /HfAlO 터널 절연막을 이용한 나노 부유 커패시터의 전기적 특성 연구
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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- pp.279-279
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- 2011