• Title/Summary/Keyword: H-빔

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스퍼터링으로 제조된 비정질 카본박막의 특성

  • 박형국;정재인;손영호;박노길
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.131-131
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    • 1999

  • 비정질 카본 박막은 다이아몬드와 유사한 높은 경도, 내마모성, 윤활성, 전기절연성, 화학적 안정성, 그리고 광학적 특성을 가진 재료로서 플라즈마 CVD를 이용한 합성방법으로 제조된 박막이 주로 연구되고 있다. 본 연구에서는 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 다양한 조건의 카본 박막을 제조하였다. 카본 박막의 제조는 이온빔이 장착된 고진공 증착 장치를 이용하였고 시편의 청정시 사용된 이온빔의 조건은 빔 전압이 500V, 빔 전류는 0.1mA/cm2로 기판 청정을 거친 후 DC 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 흑연을 증발시켜 박막을 제조하였다. 기판과 타겟의 거리는 13cm로 고정시킨 후 타겟 전류는 1A로 유지하면서 30분간 증착하였다. 기판은 Si-wafer와 glass를 주로 사용하였으며 기판 인가전압, 아세틸렌 유량, 기판 온도등을 변화시켜가면서 각각 카본 박막을 제조하였다. 비정질 카본박막의 막은 평균 두께는 0.4~1.2$\mu\textrm{m}$이며 SEM을 이용하여 단면의 성장구조를 관찰하였다. 라만 분광분석과 FTIR 분광분석을 통하여 비정질 카본 박막의 결합특성을 조사하였고 scratch tester를 이용하여 박막의 밀찰력을 관찰하였다. 제조된 박막의 두께는 아세틸렌 가스 이용시 1$\mu\textrm{m}$ 이상의 박막의 제조가 가능하였으며 카본 박막의 라만 분광특성은 고체 탄소 물질의 S와 G-peak으로 구성되어 있으며 기판 인가전압, 아세틸렌 가스 유량 변화에 따른 peak의 위치 이동 및 FWHM의 변화를 관찰하였다. RFIR 결과는 아세틸렌 가스의 유량이 증가에 따라 C-H 결합 분포가 증가며 기판 인가 전압이 증가할수록 C-H 결합분포가 감소하는 경향이 나타냈다. 이는 이온 충돌 효과에 따라 결합력이 약한 C-H 결합이 우선적으로 파괴되는 현상으로 생각되어 진다. Scartch tester 측정 결과 박막의 밀착력은 실험조건에 따른 경샹성은 보이고 있지 않으나 10N 정도이며 60N 이상의 강한 밀착력을 가진 박막도 제조되었다.

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The Design of Electronically Beam Steeling Array Antenna Using 4 Parasitic Elements (4개의 기생 소자를 이용한 전자적인 빔 조향 배열 안테나 설계)

  • Kim, Young-Goo;Choi, Ik-Guen;Kim, Tae-Hong;You, Jong-Jun;Kang, Sang-Gee
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.20 no.2
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    • pp.167-173
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    • 2009

  • This paper proposes an electronically beam steering array antenna, consisting of single fed active element and 4 parasitic elements, operating in 5.8 GHz ISM band. Beam steering can be achieved by controlling the reactance of the variable reactance control circuit connected to the load of the parasitic elements without using the high cost phase shifters. The proposed antenna realizes ${\pm}30^{\circ}$ beam scanning of E-plane and H-plane with the below -10 dB return loss in ISM band. The gain of the $6.18{\sim}7.53\;dBi$ in E-plane and $7.022{\sim}7.779\;dBi$ in H-plane is shown in the scanning range.

  • https://doi.org/10.5515/KJKIEES.2009.20.2.167 인용 PDF KSCI

Alignment and lattice quality of hexagonal rings of hexagonal BN films synthesized by ion beam assisted deposition (이온빔보조증착법으로 합성한 hexagonal BN막의 hexagonal ring의 배열과 결정성)

  • 박영준;한준희;이정용;백영준
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.8 no.1
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    • pp.43-50
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    • 1999

  • We have studied the alignment and the lattice quality of hexagonal rings of h-BN films synthesized by ion beam assisted deposition (IBAD) method. Boron was e-beam evaporated at 1.5 $\AA$/sec and nitrogen gas was ionized using end-hall type ion gun at 60, 80, and 100 eV, respectively. Substrate was either not heated or heated at 200, 400, 500, and $800^{\circ}C$, respectively. As nitrogen ion energy increases, c-axes of hexagonal rings tend to align parallel to the substrate, which is explained by larger compressive stress at higher ion energies. Alignment of c-axis increases with temperature and shows maximum around $400^{\circ}C$. The lattice quality of hexagonal rings improves with temperature. Such behaviors can be understood from two counter trends of increasing the atomic mobility and decreasing compressive stress with temperature. Hardness of h-BN films shows the same trend with the alignment of c-axis. Ion beam assisted deposition method seems to be effective for aligning hexagonal rings and optimizing h-BN properties.

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Robust Positioning Control of a Flexible beam using $H_2/H_{\infty}$ and $\mu$-theory ($H_2$/H$\infty$와 $\mu$이론을 이용한 유연 빔의 위치제어)

  • 최연욱
    • Journal of the Institute of Convergence Signal Processing
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    • v.2 no.1
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    • pp.101-107
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    • 2001

  • The objective of this paper is to present a method for designing robust positioning control systems of a flexible arm using mixed $H_2/H_{\infty}$ and $\mu$ theory. We begin with a description of the flexible arm based on the model identification method and discuss the derivation of the model uncertainty. The validity of the obtained model is confirmed experimentally. Next, a robust controller is designed based on the mixed $H_2/H_{\infty}$ and $\mu$ theory by which we can improve robustness of the entire system. On this occasion, we also propose a general plant formation suitable to mixed $H_2/H_{\infty}$ control and $\mu$-theory. Finally, the effectiveness of the proposed design method is verified through experimentation.

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The Trends of Digital Beamforming Antenna Technology (Digital Beamforming(DBF) 안테나 기술 동향)

  • Bae, C.H.
    • Electronics and Telecommunications Trends
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    • v.21 no.2 s.98
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    • pp.200-209
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    • 2006

  • 가입자의 수가 놀라운 비율로 증가하고 고품질. 광대역 데이터 통신에 대한 요구가 증가하면서 이동 통신에 사용되는 주파수원이 부족하게 될 것으로 예상된다. 주파수의 재사용률을 향상시키기 위하여 공간적인 방향성을 가지는 안테나를 이용하는 것과 송신하는 전력을 줄이는 것은 주파수원의 효율적인 사용을 할 수 있게 할 것이다. 가까운 미래에는 도달하는 신호를 빨리 추적하는 높은 이득을 가지는 안테나가 많이 요구될것이고 빠르게 성장할 것으로 기대된다. 그런 다양한 기능을 가지는 안테나를 실현하기 위하여 디지털 빔 형성 안테나가 미래의 지능 안테나로 제안되었다[1], [2]. 따라서 본 논문에서는 디지털 빔 형성(digital beam forming, 이하 DBF라 한다.) 안테나의 빔형성 방법, 원리, 특징에 대하여 살펴볼 것이다.

  • https://doi.org/10.22648/ETRI.2006.J.210219 인용 PDF