The chemical mechanical planarization (CMP) is a process of physically and chemically polishing the semiconductor substrate. The planarization quality of a substrate can be evaluated by the within wafer non-uniformity (WIWNU). In order to improve WIWNU, it is important to manage the pad profile. In this study, a device capable of non-contact measurement of the pad thickness profile was developed. From the measured pad profile, the profile of the pad surface and the groove was extracted using the envelope function, and the pad thickness profile was derived using the difference between each profile. Thickness profiles of various CMP pads were measured using the developed PMS and envelope function. In the case of IC series pads, regardless of the pad wear amount, the envelopes closely follow the pad surface and grooves, making it easy to calculate the pad thickness profile. In the case of the H80 series pad, the pad thickness profile was easy to derive because the pad with a small wear amount did not reveal deep pores on the pad surface. However, the pad with a large wear amount make errors in the lower envelope profile, because there are pores deeper than the grooves. By removing these deep pores through filtering, the pad flatness could be clearly confirmed. Through the developed PMS and the pad thickness profile calculation method using the envelope function, the pad life, the amount of wear and the pad flatness can be easily derived and used for various pad analysis.
Objectives: The combination of Harm-Avoidance (HA) and Self-Directedness (SD) of Temperament and Character Inventory (TCI) has been reported pivotal for mental health; however its clinical usefulness in integrative medicine has not sufficiently reported. The purpose of this study was to illustrate multi-phasic mental health of subjective satisfaction with life, emotional well-being, and psychopathology, following the HA-SD profile groups. Methods: A total of 527 Korean university students reported HA and SD scores as to render their HA-SD profile, and multi-phasic mental health characteristics using Satisfaction with Life Scale (SWLS), Positive Affect and Negative Affect Schedule (PANAS), and Beck Depression Inventory (BDI) with composite well-being scales of SC (Sum of Self-Directedness and Cooperativeness score) and HI (Happiness Index, subtraction of Negative Affect (NA) score from Positive Affect (PA) score) as standardized. Pearson's correlation was used to report correlation coefficient, and the ANCOVA with age and sex as covariates, to show significant differences in mental health and well-being between the HA-SD profile groups. Results: The HA-SD profile groups showed distinctive multi-phasic mental health characteristics; health related scores of SWLS, PA, SC and HI decreased following the order of hS (low HA and high SD), HS (high HA and high SD), hs (low HA and low SD) and Hs (high HA and low SD) profile groups; however the non-health related scores of NA and BDI showed contrasting order. Conclusions: The HA-SD profile was found to be clinically useful for examining multi-phasic mental health and well-being status, and the TCI may be an imperative personality inventory for integrative medicine.
이 연구는 정보통신 기술의 발달과 함께 디지털 원주민을 대상으로 다양한 매체별 읽기 성과를 파악하는데 있다. 이를 위해 초등학교 6학년을 대상으로 매체 유형에 따른 읽기 자료의 완독 시간과 내용 이해도를 묻는 수업을 실시하였다. 이 연구는 동일한 기사 내용을 3개 모둠으로 나누어 각각 매체 유형을 달리해 읽는 시간을 측정하고 평가 문항을 통해 매체에 따른 내용 이해도를 확인하였다. 측정 결과, 웹 페이지의 평균 완독 시간은 3분 28초이며, 평균 평가 문항 정답 개수는 3.99문제였으며, pdf 파일의 평균 완독 시간은 5분 23초이며, 평균 평가 문항 정답 개수는 4.35문제였다. 또한 인쇄자료의 평균 완독시간은 7분 14초이며 평균 평가 문항 정답 개수는 6.26문제로 나타났다. 실험에 참여한 학생 수는 144명으로 연구자의 실험 결과만으로 매체 유형에 따른 읽기 방식을 일반화하기에는 한계가 있다.
Background/Aims: The predictive factors of functional dyspepsia (FD) remain controversial. Therefore, we sought to investigate symptom responses in FD patients after Helicobacter pylori (H. pylori) eradication and used predictive factor analysis to identify significant factors of FD resolution at one-year after commencing eradication therapy. Methods: This prospective, multi-center clinical trial was performed on 65 FD patients that met Rome III criteria and had H. pylori infection. Symptom responses and factors that predicted poor response were determined by analysis one year after commencing H. pylori eradication therapy. Results: A total of 63 patients completed the one-year follow-up. When an eradication success group (n=60) and an eradication failure group (n=3) were compared with respect to FD response rate at one year, results were as follows; complete response 73.3% and 0.0%, satisfactory response 1.7% and 0.0%, partial response 10.0% and 33.3%, and refractory response 15.0% and 66.7%, respectively (p=0.013). Univariate analysis showed persistent H. pylori infection (p=0.021), female gender (p=0.025), and medication for FD during the study period (p=0.013) were associated with poor FD response at one year. However, age, smoking, alcohol consumption, and underlying disease were not found to affect response. Finally, multivariate analysis showed that female gender (OR, 4.70; 95% CI, 1.17-18.88) was the sole independent risk factor of poor FD response at one year after commencing H. pylori eradication therapy. Conclusions: Female gender was found to predict poor response in FD patients despite H. pylori eradication. Furthermore, successful H. pylori eradication appears to be associated with FD improvement, but the number of non-eradicated patients was too small to conclude.
본 연구는 2020년 3월 18일부터 20일까지 영동지역에 강풍이 발생했던 사례(남고북저형, 대류권계면 접힘에 의해 급격하게 발달하는 저기압)의 종관 및 열역학적/운동학적특성을 조사하기 위해 AWS 관측 자료, 종관 일기도, ECMWF 재분석 자료, 레윈존데, 윈드프로파일러 자료를 이용하였다. 분석결과, 사례 기간 영동지역 5개소에서 관측된 최대 순간 풍속은 20 m s-1 이상으로 나타났으며 대관령(27.7 m s-1)에서 가장 강하게 나타났다. 종관분석에서는 남고북저형의 기압배치와 함께 영동지역으로 등압선의 모양이 사인(sin)파 형태를 보이며 강한 기압경도력에 의해 강풍이 발달하다가 3월 19일부터는 한반도 북부지역에서 하루 내에 19 hPa 이상의 기압 하강과 함께 발달하는 저기압에 의해 지속적인 강풍이 발달했다. 북강릉 단열선도에서 역전층의 고도는 하층 강풍대와 함께 산 정상의 약 1-3 km 고도에 위치하였고, 레윈존데 및 수직 측풍 장비(윈드프로파일러)의 연직 바람장 분석 결과와 일치함을 확인할 수 있었다. 특히 열역학적 및 운동학적 연직 분석에서, 하층에서 온위의 연직 경도에 의한 강한 바람과 대류권계면 접힘에 의한 위치 소용돌이도의 발달이 영동지역 강풍 발생에 큰 역할을 한 것으로 사료된다.
본 연구에서는 하수슬러지를 효율적으로 건조시킬 수 있는 방법을 연구하고자 하였다. 슬러지 건조를 위해서는 슬러지 내 대부분의 함수율을 차지하고 있는 세포 내 함유수분을 제거시키는 것이 필요한데, 이에 대한 제거 장치로서 타격기류 건조장치를 적용하였으며, 직접 하수처리장에 파일롯 플랜트를 설치하여 실증실험을 실시하여, 이에 대한 운전특성과 적용가능성을 확인하고자 하였다. 주요 운전제어 변수는 슬러지 투입속도, 체인 회전속도, 공정온도 및 투입슬러지 함수율 변화 등이다. 체인의 회전속도가 증가할수록 생성슬러지 생성수율 증가 등 장치성능이 향상되었고, 공정온도가 상승함에 따라 건조효율이 증가하는 경향을 나타내었다. 투입슬러지 함수율은 60%일 때 생성슬러지 생성수율이 최대이고 함수율도 10% 내외를 나타내어 최적 조건임을 알 수 있었다. 슬러지 투입속도는 적정 투입속도 이상으로 투입 시, 생성슬러지 생산량은 증가하지 않는 반면, 오히려 잔류량만 증가하는 현상을 초래하였다. 위와 같은 실험결과로부터 장치의 최적 운전조건은 체인 회전수 1600rpm(최대속도), 최종 배출온도 $80^{\circ}C$, 투입슬러지 함수율 60%, 슬러지 투입속도 60kg/h이며, 이때 장치성능은 생성슬러지 생성수율 85.5%, 함수율 11.0%, 건조효율 81.7%으로 양호한 결과를 나타내었다.
본 연구의 목적은 고온 산화성 분위기하에서 기계적물성이 우수한 탄화규소섬유(SiC Fiber)를 파일롯-규모로의 생산 제조공정을 개발하는 것이다. 프리세라믹 전구체로서 폴리카보실란(PCS)을 사용하여 탄화규소섬유를 제조하였다. 연속성의 PCS 섬유는 $300{\sim}350^{\circ}C$에서 PCS를 용융한 후에 용융방사로부터 얻었다. 열처리 전에 섬유의 불융화를 위하여 공기 분위기하에서 경화를하였다. 경화 전, 후에 측정한 FT-IR 스펙트라 피크로 부터 경화도를 계산하였다. 탄화규소섬유의 물성은 경화도에 따라 크게 영향을 받았다. 본 개발에서 열처리 중 섬유의 장력 조절로 우수한 물성을 갖는 탄화규소섬유를 얻었다. 탄화규소섬유의 화학조성과 기계적물성은 안정화섬유의 열처리시의 이송속도에 영향을 받았다. 탄화규소섬유를 공기분위기하 $1000^{\circ}C$에서 1분부터 50시간까지 노출한 후에 인장시험을 수행하였다. 그 결과 인장강도는 약 60%까지 감소함을 보여주었다. 장시간 노출시험시 낮은 인장 강도값을 나타내는 섬유는 화학성분 분석시 섬유의 표면에 많은 탄소량을 함유하고 있었다.
최근 고령화 시대에 접하여 독거노인들이 많이 늘고 있다. 독거노인들은 행동이 불편하므로 간호사가 주기적으로 방문하여 건강의 이상 유무를 확인하여야 한다. 그러나 적은 수의 간호사가 많은 노인들을 보살피기에는 많은 어려움이 따른다. 이러한 문제는 원격지에서 노인의 건강정보 데이터 혹은 집안 환경의 데이터를 수집하여 호스트 컴퓨터에 보내는 시스템으로 해결할 수 있다. Ethernet을 이용한 데이터 통신은 원격지에 있는 자료를 원하는 곳에서 쉽게 전송할 수 있는 장점을 갖고 있다. 원격지의 데이터 저장장치는 측정한 데이터를 저장하고. 저장된 데이터를 일정기간 지난 후 Ethernet 통신을 통하여 호스트 DB로 전송한다. 이러한 장치의 소형화를 위해서는 OS-less Embedded Ethernet Server시스템이 되어야 한다. 이 시스템은 단지 H/W만으로 파일을 관리하는 시스템이다. 저장장치는 주로 SD카드를 사용한다. SD카드는 소형이며 저 전력으로 동작한다. 512MB SD 메모리를 사용하였을 때, 매초마다 한 번씩, 약 10바이트의 크기의 온도 값을 저장할 경우 5~6년간의 데이터를 저장할 수 있다. 본 논문에서 W3100A, Atmega128 MCU 이용하여 Embedded Ethernet Server를 구현하였고, SD카드를 이용하여 데이터 저장시스템을 구현하였다. 이 시스템은 저장장치를 제어하는 O/S-less Embedded Ethernet Server로 동작한다. File System과 Storage, Ethernet 구현에 대하여 설명하고, MCU인 Atmega128과 LAN LSI인 W3100A간의 Interface, W3100A와 Phyceiver인 RTL8201간의 Interface, 그리고 MCU와 SD-Card간의 Data I/O 및 File System에 대해 설명하였다. 그리고 실험 장치와 모니터링 결과를 그림으로 보였다.
프로그램은 실행파일 내의 각 명령어를 수행함으로써 전력을 소비한다. 소비 전력은 복잡도와 비례하기 때문에 프로그램의 복잡도를 측정함으로써 예측될 수 있다. 일반적으로 소프트웨어의 복잡도는 마이크로프로세서 시뮬레이터를 사용하여 측정한다. 그러나 시뮬레이터를 사용한 복잡도 측정방법은 하드웨어를 트랜지스터 레벨과 같은 낮은 레벨에서 모델링하기 때문에 수행시간이 오래 걸리고, 단순히 정량적 측정치만을 제공한다. 본 논문에서는 소프트웨어의 최상위 레벨인 프로그램의 소스코드를 분석하고, 복잡도 매트릭을 생성하여 프로그램 전체에 대한 복잡도를 수식화하여 표현하는 방법을 제안한다. 또한 복잡도 매트릭을 함수 단위로 생성함으로써 연산이 집중되는 모듈에 대한 세분화된 정보를 제공할 수 있다. 제안한 알고리즘의 성능분석은 게이트 레벨 마이크로프로세서 시뮬레이터인 SimpleScalar와의 비교를 통해서 수행하였다. 분석을 위해 사용된 소프트웨어는 최신 비디오코덱인 H.264/AVC에서 사용되는 $4{\times}4$ 정수변환, 화면 내 예측, 화면 간 예측 모듈이다. 각각의 소프트웨어에 대하여 정량적으로 측정된 성능 분석을 위하여 입력된 각 모듈에 대한 실행 명령어의 수를 비교하였으며, 정확도는 SimpleScalar를 통하여 측정된 시뮬레이션 결과 대비 약 11.6%, 9.6%, 3.5%의 오차를 보였다.
분말활성탄과 제올라이트가 담지된 폴리우레탄 담체를 충진한 파일롯 규모의 바이오필터를 이용하여 암모니아와 황화수소의 처리 성능을 평가하였다. 약 10개월간 하수처리장 슬러지 농축조에서 발생하는 악취를 대상으로 바이오필터 유입 암모니아 농도는 0.1~1.5 $ppm_v$, 황화수소 농도는 2~20 $ppm_v$ 범위에서 운전되었다. 바이오필터의 공탑체류시간 3.6~5초 범위에서 초기 순응기간을 제외하고는 거의 모든 경우 100%에 가까운 악취 제거율을 보여주었다. 바이오필터에서의 기체흐름에 의한 압력손실도 매우 낮아 10개월 동안 최대 31 mm $H_2O$ 정도의 차압이 발생하였다. 이것은 본 연구에 이용된 바이오필터의 막힘이나 담체의 압착 현상이 거의 일어나지 않아 장기간의 운전에도 안정성을 확인할 수 있었다. 담체에 부착하여 서식하는 미생물군집은 바이오필터의 처리 성능에 중요한 영향을 미치는데 특히 암모니아나 황화수소를 제거하기 위한 암모니아 산화균과 황산화균의 분포가 중요하다. FISH (Fluorescence in Situ Hybridization) 방법으로 확인한 결과 질산화를 주관하는 암모니아 산화균인 Nitrosomonas sp.와 황산화균인 Thiobacillus ferroxidans가 검출되었다. 또한 바이오필터의 운전기간이 길어질수록, 그리고 악취의 유입부분이 유출부분에 비해 미생물 분포량이 더 많음을 확인하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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