Park, Mun-Gi;Seo, Gyeong-Han;Kim, Cheol-U;Yu, Yong-U;Im, Gyeong-Nam;Yu, Sang-Jeon
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2009.11a
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pp.92-92
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2009
In the present study, impurities doped GxZO thin films were prepared by dc-magnetron sputtering on glass substrate and effect of processing variables on the growth behavior was investigated.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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