Effect of crystal and crucible rotations on the mass transfer in magnetohydrodynamic Czochralski crystal growth of silicon (자기장이 가하여진 초크랄스키 실리콘 단결정 성장에서 질량전달에 미치는 성장결정과 도가니의 회전효과)
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- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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- v.7 no.4
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- pp.536-547
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- 1997