• 한국결정성장학회지
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• 제14권5호
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• pp.220-225
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• 2004

Four different Fluorine-based gases ($SF_6/,NF_3, PF_5,\; and \; BF_3$) were examined for high rate Inductively Coupled Plasma etching of Si. Etch rates up to ~8$\mu\textrm{m}$/min were achieved with pure $SF_6$ discharges at high source power (1500 W) and pressure (35 mTorr). A direct comparison of the four feedstock gases under the same plasma conditions showed the Si etch rate to increase in the order $BF_3$ < $NF_3$< $PF_5$ < $SF_6$. This is in good correlation with the average bond energies of the gases, except for $NF_3$, which is the least strongly bound. Optical emission spectroscopy showed that the ICP source efficiently dissociated $NF_3$, but the etched Si surface morphologies were significantly worse with this gas than with the other 3 gases.

• 멤브레인
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• 제23권3호
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• pp.189-203
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• 2013

과불화질소, 육불화황, 삼불화질소와 같은 불소를 포함한 불화가스는 이산화탄소 온실가스에 비교해 배출량은 적지만 지구온난화지수가 매우 높아 지구온난화에 미치는 영향이 크다. 이러한 불화가스의 주요배출원이 국가 중추산업인 반도체/LCD 산업이나 중전기 산업 등에 집중되어 있어 더욱 심각하다. 따라서 본 논문에서는 불화가스 저감 기술 중 분리막 기반 불화가스 회수 분리 공정을 중심으로 불화가스 저감 기술 개발 현황을 살펴보고자 하였다.

• 공업화학
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• 제28권6호
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• pp.638-644
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• 2017

전기이중층 커패시터(electric double layer capacitor, EDLC) 전극용 핏치계 활성탄소섬유의 고출력 특성을 향상시키기 위하여 불소와 산소 혼합가스의 다양한 불소분압에 따라 함산소불소화 표면처리를 수행하였다. 함산소불소화 처리된 핏치계 활성탄소섬유는 불소 부분압이 증가함에 따라 선형적인 불소관능기의 증가를 보였고, 산소관능기는 증가하였으나 부분압에 따라 차이가 없었다. 또한 함산소불소화를 통하여 활성탄소섬유 표면의 식각 반응으로 인하여 비표면적 및 기공부피는 감소하였으나 중간기공 부피는 약 4.5배 증가하였다. 50%의 불소가스 분압으로 처리한 활성탄소섬유의 경우 5와 50 mV/s의 전압주입속도에서 비정전용량이 약 29%와 61%로 증가함을 확인하였다. 이러한 비정전용량의 향상은 함산소불소화 처리를 통한 활성탄소섬유 표면의 산소 및 불소 관능기의 도입과 중간기공의 증가에 의한 효과로 사료된다.

• 천문학회보
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• 제35권1호
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• pp.25-25
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• 2010

The spectroscopy over a region from 3 to 17 ${\mu}m$ based on the tuneable diode lasers (TDLAS) is the most powerful technique for in situ studies of the diagnostics of small molecules. The increasing interest in small molecules especially containing carbon, oxygen, hydrogen, and fluorine containing ones can be fulfilled by TDLAS at 0.0001 cm-1 resolution, because most of these compounds are infrared active. TDLAS provides a means of determining the absolute concentrations of the ground states of stable and transient molecular species, which can be employed for the time dependent studies in sub micro second scale. Information about gas temperature and population densities can also be derived from TDLAS measurements. Collisional energy transfer between the small molecules can be studied with TDLAS. Also, a variety of free radicals and molecular ions have been detected by TDLAS. Since plasmas with molecular feed gases are used in many applications, there are new applications in industrial field. Recently, the development of quantum cascade lasers (QCLs) offers an attractive new option for TDLAS.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제8권3호
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• pp.63-67
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• 2001

최근가지 Pt박막의 식각은 Cl 계열의 가스에 의한 물리적인 스퍼터링 기구에 초점을 맞추어 연구가 진행되어왔으며 F 계열의 가스에 의한 식각 특성은 상당히 미진하였다. 본 연구에서는 ECR(electron cyclotron resonance) 플라즈마 식각 장비를 이용하여 $Cl_2$/Ar 가스와 $SF_{6}$/Ar 가스를 사용하여 Pt 박막의 식각 특성을 연구하였고, $SF_{6}$/Ar 가스의 경우 Pt 박막과 반응하여 휘발성의 식각 부산물을 형성시킬 수 있음을 확인하였다. 그리고 휘발성있는 platinum fluoride 화합물의 형성에 의해 식각률, 식각 측면형상과 표면 거칠기 특성개선도 얻을 수 있었다.

• Journal of the Korean Physical Society
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• 제73권10호
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• pp.1437-1443
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• 2018

In this work, $SnO_2$ modified with reduced graphene oxide (rGO) and carbon nanotubes (CNTs) separately and combined sensitized by using the co-precipitation method and their sensing behavior toward ethanol vapor at room temperature were investigated. An interdigitated electrode (IDE) gold substrate is very expensive compared to a fluorine doped tin oxide (FTO) substrate; hence, we used the latter to reduce the fabrication cost. The structure and the morphology of the studied materials were characterized by using differential thermal analyses (DTA) and thermogravimetric analysis (TGA), transmission electron microscope (TEM), X-ray diffraction (XRD), Fourier transform infrared (FTIR) spectroscopy, Brunauer-Emmett-Teller surface area and Barrett-Joyner-Halenda (BJH) pore size measurements. The studied composites were subjected to ethanol in its gas phase at concentrations from 10 to 200 ppm. The present composites showed high-performance sensitivity for many reasons: the incorporation of $SnO_2$ and CNTs which prevents the agglomeration of rGO sheets, the formation of a 3D mesopourus structure and an increase in the surface area. The decoration with rGO and CNTs led to more active sites, such as vacancies, which increased the adsorption of ethanol gas. In addition, the mesopore structure and the nano size of the $SnO_2$ particles allowed an efficient diffusion of gases to the active sites. Based on these results, the present composites should be considered as efficient and low-cost sensors for alcohol.