Inductively Coupled Plasma 광원 시스템의 Ne:Xe 혼합가스의 전자온도 및 전자밀도 특성 (Electronic Temperature and Density of Mixed Gases in Inductively Coupled Plasma Lighting System (Ne:Xe))
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2006년도 추계학술대회 논문집 광주전남지부
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- pp.91-95
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- 2006