• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.339.1-339.1
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• 2014

In this paper we studied the application of inter-poly dielectric as silicon dioxide-like film was deposited by the higher energy assisting deposition (HEAD) process the modified CCP process, which enables low temperature (LT) process and improving film density. In these experiments the relative hydrogen concentration of $SiO_2$-like films deposited on silicon substrate were analyzed by the secondary ion mass spectroscopy (SIMS) and it was shown that our lower hydrogenated oxide (LHO) film prepared by HEAD process with the precursor contained the siloxane species had lower hydrogen concentration, $8{\times}10{\cdot}^{22}cm{\cdot}^3$ than that of the commercial undoped silicon glass (USG) film ($1{\times}10{\cdot}^{21}cm{\cdot}^3$) prepared by the high density plasma-chemical vapor deposition (HDP-CVD). We consider that the LHO film deposited by HEAD process used as high performance material into Flash memory devices.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.34 no.1
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• pp.10-17
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• 2014

A 3D model based on the finite element method (FEM) was built to simulate the infrared thermography (IRT) inspection process. Thermal contrast is an important parameter in IRT and was proven to be a function of defect parameters. Parametric studies were conducted on internal defects with different depths, thicknesses, and orientations. Thermal contrast evolution profiles with respect to the time of the defect and host material were obtained through numerical simulation. The thermal contrast decreased with defect depth and slightly increased with defect thickness. Different orientations of thin defects were detected with IRT, but doing so for thick defects was difficult. These thermal contrast variations with the defect depth, thickness, and orientation can help in optimizing the experimental process and interpretation of data from IRT.

• International Journal of Automotive Technology
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• v.4 no.2
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• pp.95-100
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• 2003

Automobile industry has been developed rapidly as a key manufacturing industry in Korea. Meanwhile, air pollution is getting worse noticeably than ever. In the diesel emission, PM (Particulate Matter) and NOx (Nitrogen Oxides) have been exhausted with a great amount and the corresponding emission regulations are getting stringent. In order to develop low emission engines, it is necessary to research on better qualified fuels. Sulfur contained in fuel is transformed to sulfur compound by DOC (Diesel Oxidation Catalyst) and then it causes to the increase of sulfate-laden PM on the surface of catalyst. In this research, ULSD (Ultra Low Sulfur Diesel) is used as a fuel and some experimental results are investigated. ULSD can reduce not only PM but also gas materials because cetane value, flash point, distillation 90%, pour point and viscosity are improved in the process of desulfurization. However, excessively reduced sulfur may cause to decease lubricity of fuel and engine performance in fuel injection system. Therefore, it requires only modest adjusted amount of sulfur can improve engine performance and DOC, as well as decrease of emission.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2018.06a
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• pp.46-46
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• 2018

메모리 소자의 수요가 데스크톱 컴퓨터의 정체와 모바일 기기의 폭발적인 증가로 NAND flash 메모리의 고집적화로 이어져서 3차원 집적 기술의 고도화가 중요한 요소가 되고 있다. 1 mm 정도의 얇은 웨이퍼 상에 만들어지는 메모리 소자는 실제 두께는 몇 마이크로미터 되지 않는다. 수직방향으로 여러 장의 웨이퍼를 연결하면 폭 방향으로 이미 거의 한계에 도달해있는 크기 축소(shrinking) 기술에 의지 하지 않고서도 메모리 소자의 용량을 증대 시킬 수 있다. CPU, AP등의 논리 연산 소자의 경우에는 발열 문제로 3D stacking 기술의 구현이 쉽지 않지만 메모리 소자의 경우에는 저 전력화를 통해서 실용화가 시작되었다. 스마트폰, 휴대용 보조 저장 매체(USB memory, SSD)등에 수 십 GB의 용량이 보편적인 현재, FEOL, BEOL 기술을 모두 가지고 있는 국내의 반도체 소자 업체들은 자연스럽게 TSV 기술과 이에 필요한 장비의 개발에 관심을 가지게 되었다. 특히 이 중 TSV용 스퍼터링 장치는 transistor의 main contact 공정에 전 세계 시장의 90% 이상을 점유하고 있는 글로벌 업체의 경우에도 완전히 만족스러운 장비를 공급하지는 못하고 있는 상태여서 연구 개발의 적절한 시기이다. 기본 개념은 일반적인 마그네트론 스퍼터링이 중성 입자를 타겟 표면에서 발생시키는데 이를 다시 추가적인 전력 공급으로 전자 - 중성 충돌로 인한 이온화 과정을 추가하고 여기서 발생된 타겟 이온들을 웨이퍼의 표면에 최대한 수직 방향으로 입사시키려는 노력이 핵심이다. 본 발표에서는 고전력 이온화 스퍼터링 시스템의 자기장 해석, 냉각 효율 해석, 멀티 모듈 회전 자석 음극에 대한 동역학적 분석 결과를 발표한다. 그림1에는 이중 회전 모듈에 대한 다물체 동역학 해석을 Adams s/w package로 해석하기 위하여 작성한 모델이고 그림2는 180도 회전한 서브 모듈의 위상이 음극 냉각에 미치는 효과를 CFD-ACE+로 유동 해석한 결과를 나타내고 있다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2001.07a
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• pp.431-433
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• 2001

현재 우리 나라는 대용량 전력공급의 필요에 의해 765kV 초고압 송전망과 변전설비를 증설하고 있다. 앞으로 765kV 변전소는 우리 나라 전력계통의 중추적 역할을 담당하게 될 것이다. 하지만, 아직까지도 이에 대한 교육은 미진한 상태이다. 따라서 이러한 765kV 변전설비에 대한 전반적인 내용을 교육하기 위하여, 플래시와 자바를 이용한 교육용 OJT 문서를 인터넷상에서 상세하고 보다 편리하게 학습할 수 있도록 개발 하고자 한다. 웹 기반의 765kV 변전설비에 대한 교육용 OJT는 학습자가 능동적으로 대처할 수 있도록 구성되어 진다. 또한 앞으로 점차 증가하게 될 765kV 변전소에 관한 내용을 다루어 봄으로써, 765kV 변전설비에 대한 개괄적인 내용도 알 수 있고, 앞으로의 변전설비 추이에 관한 내용을 짐작할 수 있도록 한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2005.07a
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• pp.123-124
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• 2005

We investigated the effect of a Ta/TaN Cu diffusion barrier existence on the reliability and the electrical performance of Cu dual-damascene interconnects. A high EM performance in Cu dual-damascene structure was observed the BCV(barrier contact via) interconnect structure to remain Ta/TaN barrier layer. Via resistance was decreased DCV interconnect structure by bottomless process. This structure considers that DCV interconnect structure has lower activation energy and higher current density than BCV interconnect structure. The EM failures by BCV via structure were formed at via hole, but DCV via structure was formed EM fail at the D2 line. In order to improve the EM characteristic of DCV interconnect structure by bottomless process, after Ta/TaN diffusion barrier layer in via bottom is removed by Ar+ resputtering process, it is desirable that Ta thickness is thickly made by Ta flash process.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2019.05a
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• pp.180-180
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• 2019

본 연구의 목표는 돌발홍수 예 경보시스템(Flash Flood Warning System, FFWS)의 효용성 극대화를 위한 레이더 자료의 품질향상 기법을 개발하는 것이다. 지금까지 사용되어온 레이더 자료의 품질향상 기법들은 모두 자료의 평균값에 맞추어져 개발되었다. 그러나 돌발홍수 예 경보시스템에서 사용되는 강우강도 임계값은 평균값과 큰 차이가 난다. 따라서 레이더 자료를 이용하여 추정하는 큰 강우강도의 신뢰도는 떨어지게 된다. 이에 본 연구에서는 돌발홍수 예 경보시스템에 사용되는 목표 강우량에 대한 강우추정 관계식의 매개변수 추정 기법을 개발하고자 한다. 이를 위해 비슬산 레이더 반사도 자료와 비슬산 레이더 관측반경 내 위치한 AWS 지점의 강우자료를 이용하였다. 먼저, 강수입자분포(Drop Size Distribution, DSD)를 지수분포로 가정하여 유도한 레이더 강우추정 관계식을 재검토하였다. 다음으로 관측된 비슬산 레이더 반사도 자료를 10dBZ 단위로 구분하여 레이더 반사도 구간별로 레이더 반사도 자료와 강우자료 쌍에 대한 DSD 매개변수를 산정하였다. DSD 매개변수를 산정하기 위해 비슬산 레이더 반사도 자료와 AWS 지점의 강우자료를 지수분포로 가정하여 유도한 강우추정 관계식에 적용하였다. 다음으로 목표 강우량에 대한 강우추정 관계식의 매개변수 추정을 위해 레이더 반사도 구간별로 DSD 매개변수의 대푯값을 결정하였다. 마지막으로 지수분포로 가정하여 유도한 레이더 강우추정 관계식에 레이더 반사도 구간별 DSD 매개변수의 대푯값을 적용함으로써 목표 강우량에 대한 강우추정 관계식의 매개변수를 추정하였다.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.22 no.6
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• pp.664-671
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• 2011

The vacuum residue of petroleum refinery, i.e. asphalt, was modified through a non-catalytic air blowing process to prepare the semi-blown asphalt. Changes in composition, chemical structure, and physical properties of asphalt were examined. The result from the thin layer chromatography showed that the asphaltene content in asphalt was increased by the air blowing on account of the aromatization of aliphatic hydrocarbon and condensation. These changes in molecular structure were also confirmed by $^1H-NMR$, differential scanning calorimetry, and thermogravimetry. Because of the molecular structure changes, the penetration of asphalt was decreased and the softening point and the flash point of asphalt were increased.

• Korean Journal of Radiology
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• v.1 no.2
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• pp.91-97
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• 2000

Objective: To determine whether the time-intensity curves acquired by test and main dose contrast injections for MR angiography are similar. Materials and Methods: In 11 patients, repeated contrast-enhanced 2D-turbo-FLASH scans with 1-sec interval were obtained. Both test and main dose timeintensity curves were acquired from the abdominal aorta, and the parameters of time-intensity curves for the test and main boluses were compared. The parameters used were arterial and venous enhancement times, arterial peak enhancement time, arteriovenous circulation time, enhancement duration and enhancement expansion ratio. Results: Between the main and test boluses, arterial and venous enhancement times and arteriovenous circulation time showed statistically significant correlation (p < 0.01), with correlation coefficients of 0.95, 0.92 and 0.98 respectively. Although the enhancement duration was definitely greater than infusion time, reasonable measurement of the end enhancement point in the main bolus was impossible. Conclusion: Only arterial and venous enhancement times and arteriovenous circulation time of the main bolus could be predicted from the test-bolus results. The use of these reliable parameters would lead to improvements in the scan timing method for MR angiography.

• Journal of the Korean Applied Science and Technology
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• v.30 no.1
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• pp.35-48
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• 2013

Biodiesel is an alternative diesel fuel which can be obtained from the transesterification of vegetable oils, animal fats and waste cooking oil. The objective of this study is to evaluate the properties of biodiesel obtained from different feedstocks (soybean, waste cooking, rapeseed, cottonseed and palm oils). The biodiesel derived from different feedstocks was analyzed for FAME (fatty acid methyl esther) content, kinematic viscosity, flash point, CFPP (cold filter plugging point) and glycerin content. The quality of biodiesel was tested according to the Korean and European standard (EN14214, requirements and test method for biodiesel fuel). The biodiesels derived from soybean, waste cooking, rapeseed and cottonseed oils contain high amount of unsaturated fatty acid, while palm biodiesel is dominated by saturated fatty acid. The fuel properties of biodiesel, such as low temperature performance, kinematic viscosity and oxidation stability are correlated with the FAME composition components in biodiesel.