Ozone is useful oxidizing gas for the fabrication of oxide thin films. Accordingly researching on oxidizing gas is required. In order to obtain high quality oxide thin films, higher ozone concentration is necessary. In this paper oxidation property was evaluated relation between oxide gas pressure and inverse temperature(CuO reaction). The obtained condition was formulated by the fabrication of Cu metal thin film by co-deposition using the Ion Beam Sputtering method. Because the CuO phase peak appeared at the XRD evaluation of the CuO thin film using ozone gas, this study has succeeded in the fabrication of the CuO phase at $825^{\circ}C$.
증발 농축공정중 각종 운전 조건의 제어 및 데이터 수집을 자동으로 하기 위하여 제어 및 데이터 수집 부위에 각종 조절기와 센서를 부착하여 컴퓨터 프로그램에 의하여 공정이 진행되도록 하였다. 증발 농축 장치는 원심식 박막증발기인 Centri-Therm$(CT-1B,\;{\alpha}-Laval\;Co.,\;Sweden)$이 이용되었으며 제어 변수로는 증발기의 압력, 급액 속도, 증기의 온도 및 냉각수의 유량 등을 택했다. 그리고 데이타 수집 부위로는 급액 및 농축액의 온도와 농도, 냉각수의 입구 및 출구 온도, 증기의 온도, 증발 온도, 원료 및 농축액의 중량 변화, 응축수의 양 등을 택했다. 운전 프로그램은 PASCAL language를 이용해 작성하였으며 전 공정은 균일하게 콘트롤되었다. 냉각수는 밸브 콘트롤러에 의해 시간당 125kg의 유속으로 흐르도록 하였으며 급액 속도 125/h에서 최대 증발 속도는 41.7kg/h였다.
Stable PZT coating sol was prepared using chelating agent, ethylacetoacetate(EAcAc) by sol-gel processing under ambient atmosphere. Through FT-IR spectrum analysis on solution of each reaction step, formation of metal complex was confirmed and prepared PZT sol was stable over several months. Through TG-DTA, XRD, FT-IR spetrum analysis of PZT gel powder, it was understood that the addition of EAcAc could reduce the transition temperature to ferroelectric phase, due to the increased homogeneity by matching the hydrolysis and condensation rates by chelation. Single perovskite phase was obtained by the heat-treatment at 54$0^{\circ}C$ for 30 min. The film was coated on ITO-coated glass substrate by dip coating method. After heat-treatment, PZT thin film had thickness in the range of 20~130 nm. The maximum dielectric constant of its thin film at room temperature and 1 kHz was 128.
Sol-Gel derived ferroelectric PZT thin films were fabricated on ITO/Glass and Si/SiO2 substrates. In order to investigate the effect of catalysts on the densification and crystallization of PZT thin films, a nitric acid or ammonium hydroxide was added to the PZT stock solution at the state of partial hydrolysis reaction. The measured pH for a stable PZT sol was 5.2~9.3. In case of an acid-catalyzed PZT sol, a highly condensed particulate PZT sol was formed by accelerating the hydrolysis reaction. But weakly branched polymeric PZT sol was formed with a base-catalyzed condition. The difference in densification behavior was not found in the pH range of added catalyst, but the refractive index of PZT thin film was increased rapidly as the annealing temperature increased. The PZT thin film annealed at 54$0^{\circ}C$ for 10 min was fully densified and its refractive index was above 2.4. When the annealing temperature increased, the transition from the pyrochlore phase to perovskite appeared at 54$0^{\circ}C$. The base-catalyzed PZT thin film suppressed to form the pyrochlore phase and proceeded effectively to convert the perovskite phase. This was due to the formation of polymeric molecular structure by controlling the hydrolysis and condensation reaction through the additiion of the ammonium hydroxide.
Increasing of the demand for energy savings for buildings, thermal barrier films have more attracted. In particular, as heat loss through the windows have been pointed out to major problems in the construction and automobile industries, the research is consistently conducted for improving the thermal blocking performance for windows. The main theory of the technology is reflect the infrared rays to help the cut off the inflow of the solar energy in summer and outflow of the heat from indoors in winter to save the energy on cooling and heating. Furthermore, this is well known for prevent glare, reduces fading caused by harmful ultraviolet radiation and easy to apply on constructed buildings if it made as a film. In addition to these advantages, apply the transparent electrode to eliminate condensation by heating. Generally ITO is used as a transparent electrode, but is has a low stability in environmental factors. In this study, ITO and its alternative, ATO, is deposited by sputtering system and then the characteristic is evaluated each material based thermal barrier thin film. The optical property was measured on wide range of wavelength (200 nm 2500 nm) to know the transparency in visible wavelength and reflectivity in IR wavelength range. The electrical property was judged by sheet resistivity. Finally the changes of the temperature and current of the deposited film was observed while applying a DC power.
$TiO_2$ films prepared by RF magnetron sputtering, electron beam evaporation, ion assisted deposition (IAD) and sol-gel method are prepared on c-Si substrate and vitreous silica substrate respectively. From the transmission spectra of $TiO_2$ films on vitreous silica substrate in the spectral region from 190 nm to 900 nm, k($\lambda$) of $TiO_2$ is obtained. Using k($\lambda$) in the interband transition region the coefficients of the quantum mechanical dispersion relation of an amorphous $TiO_2$ and hence n($\lambda$) including the optically opaque region of above fundamental transition energy are obtained. The spectroscopic ellipsometry spectra of $TiO_2$ films in the spectral region of 1.5-5.0eV are model analyzed to get the film packing density variation versus i) substrate material, ii) film thickness and iii) film growth technique. The complex refractive index change of these $TiO_2$ films versus water condensation is also studied. Film micro-structures by SE modelling results are compared with those by atomic force microscopy images and X-ray diffraction data.
InP quantum dots capped by myristic acid (InP-MA QDs) were synthesized by a typical hot injection method using MA as stablizing agent. The current density across the InP-MA QDs thin film which was fabricated by spin-coating method is about $10^{-4}A/cm^2$ at the electric field of 0.1 MV/cm from I-V measurement on a metal-insulator-metal (MIM) device. The low conductivity of the InP-MA QDs thin film is interpreted as due to the long interdistances among the dots governed by the MA molecules. Therefore, replacing the MA with thioacetic acid (TAA) by biphasic ligand exchange was conducted in order to obtain TAA capped InP QDs (InP-TAA). InP-TAA QDs were designed due to: 1) the TAA is very short molecule; 2) the thiolate groups on the surface of the InP-TAA QDs are expected to undergo condensation reaction upon thermal annealing which connects the QDs within the QD thin film through a very short linker -S-; and 3) TAA provides better passivation to the QDs both in the solution and thin film states which minimizing the effect of surface trapping states.
In this paper, we describe a study on the relationship between neutral emulsion manufacture and hardening test of films. The hardeners were prepared by condensation of equimolar amounts of trichlorotriazine with benzene- or naphthalene-based amino or oxy acids at 0 to $5^{\circ}C$ and at pH 7, and used as hardening agents for gelatin. The hardening test of neutral emulsion layers was studied at pH 7.0. For example I(R=ONa) had strong hardening properties, I substituted with an aminobenzosulfonate moiety $(R=NHC_6H_4-p-SO_3Me$ where Me = K, Na) was a much weaker gelatin hardener, and when substituted with amino- or oxynaphthalene derivative (II, III) did not harden gelatin at all. Compound with 2 dichlorotriazine groups as IV exhibited hardening properties. The hardener can be used in neutral emulsion layer of film and showed good hardening effect.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제5권4호
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pp.161-165
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2004
In order to get oxidizing power enough for growth of a superconductive thin film with oxide gas, concentrated ozone was used. As a method for concentrating ozone, a method for concentrating ozone by adsorbing ozone selectively into silica-gel beads is adopted, and this concentration is analyzed by the ultraviolet absorption method, the thermal decomposition method and the Q-mass analyzing method. Thermal decomposition method is most effective for measurement of a high concentration of ozone. Ozone as concentrated by the adsorption method got to have a concentration of 97 mol % at the maximum, and it was identified that the concentration of the ozone gas was stable for the time while a thin film was formed.
In this paper, we describe a study on the relationship between alkaline magenta emulsion manufacture and hardening test of films. The hardeners were prepared by condensation of equimolar amounts of trichlorotriazine with benzene-or naphthalene-based amino or oxy acids at 0 to $5^{\circ}C$ and at pH 7, and used as hardening agents for gelatin. The hardening test of alkaline magenta emulsion was studied at pH 8.5. For example I(R=ONa) had strong hardening properties, I substituted with an aminobenzosulfonate moiety (R=NHC6H4-p-SO3Me where Me = K, Na) was a much weaker gelatin hardener, and when substituted with amino- or oxynaphthalene derivative (II, III) did not harden gelatin at all. Compound with 2 dichlorotriazine groups as IV exhibited hardening properties. The hardener can be used in alkaline magenta emulsion layer of film and showed good hardening effect.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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