Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2004.05a
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pp.155-155
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2004
최근 집중 육성산업으로 분류되어 연구 및 투자가 되고 있는 반도체, 정보통신, 바이오산업, 디스플레이 등에서 초정밀화와 저비용, 대량생산을 하기 위해서 기존의 공정을 대체할 수 있는 새로운 나노공정기술의 요구가 급증하고 있다 최근에는 극초단파 특성으로 인하여 극미세 형상을 가공할 수 있는 펨토초 레이저(femto second laser)를 나노공정에 적용하는 다양한 연구가 진행되고 있다. 특히, 기존의 쾌속조형공정을 응용하여 다른 공정으로는 제작이 불가능한 나노 스케일에서 3차원 자유곡면을 가지는 구조물을 제작할 수 있는 공정개발에 대하여 다양한 연구가 진행되고 있다.(중략)
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2004.05a
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pp.136-136
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2004
허근 차세대 반도체, 정보통신, 및 디스플레이 산업 등에 응용하기 위하여 초정밀화와 저비용 대량생산을 하기 위해서 기존의 공정을 대체할 수 있는 새로운 나노 공정기술의 요구가 급증하고 있다. 최근 연구에서는 펨토초 레이저 (femto second laser)의 이광자흡수 고화현상을 이용한 나노공정 개발에 대하여 다양한 연구가 진행되고 있다. 특히, 기존의 패터닝과 에칭공정 중심의 소형화 기술(miniature technology)로 제작이 어려운 3차원 자유곡면을 가지는 구조물 제작에 관한 공정개발에 대하여 다양한 연구가 진행되고 있다.(중략)
Journal of Satellite, Information and Communications
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v.12
no.2
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pp.11-14
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2017
In this paper, we introduce a method of light focusing effect using prism structure to solve optical discontinuity of conventional external signage LED panels. The prims structures were patterned on a transparent polycarbonate substrate with MEMS and femto-second laser process. We have confirmed that the patterned prism structures on the substrate made artificial LED lights on empty space between the panels by light guide effect of the structure. The artificial light's lateral positions were controlled by thickness of polycarbonate substrate. This cost effective prim patterned transparent film can be utilized on digital signage LED panels to achieve good optical communication.
Asia-Pacific Journal of Business Venturing and Entrepreneurship
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v.8
no.1
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pp.1-11
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2013
The femto fusion technology refers to not only the technology for femtosecond($10^{-15}$ second) laser and but also the fusion technology of its application. This technology is comparable to the nano technology, the extreme technology on the space, and is of extreme time-domain technology. Now, we need to develop the hyperfine and high-precision femto fusion process technology which allows to miniaturize and highly integrate the products of mobile, semiconductor and display industries, the national main focusing growth industries. However, The femtosecond laser fabrication technology is essential in the development of fusion technology, but only a few of domestic researchers can handle the former. Under this condition, our government plans to develop the "femto fusion technology infrastructure project" as one of the ICT research infrastructure. So the purpose of this study is to analyze the feasibility of this project. We applied AHP(analytic hierarchy process) for this study. The final result shows that all the repondent's score is over 0.55 and the aggregated score is 0.846. And as a consequence, we can conclude that to do this project is feasible.
A vacuum pressure-difference technique for making a nano-precision replica is investigated for various applications. Master patterns for replication were fabricated using a nano-replication printing (nRP) process. In the nRP process, any picture and pattern can be replicated from a bitmap figure file in the range of several micrometers with resolution of 200nm. A liquid-state monomer is solidified by two-photon absorption (TPA) induced by a femto-second laser according to a voxel matrix scanning. After polymerization, the remaining monomers were removed simply by using ethanol droplets. And then, a gold metal layer of about 30nm thickness was deposited on the fabricated master patterns prior to polydimethylsiloxane molding for preventing bonding between the master and the polydimethylsiloxane mold. A few gold particles attached on the polydimethylsiloxane stamp during detaching process were removed by a gold selecting etchant. After fabricating the polydimethylsiloxane mold, a nano-precision polydimethylsiloxane replica was reproduced. More precise replica was produced by the vacuum pressure-difference technique that is proposed in this paper. Through this study, direct patterning on a glass plate, replicating a polydimethylsiloxane mold, and reproducing polydimethylsiloxane replica are demonstrated with a vacuum pressure-difference technique for various micro/nano-applications.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.27
no.11
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pp.17-23
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2010
Titanium alloy is one of the hard processing materials made by the traditional manufacturing method because of the excellent mechanical strength. Ablation of titanium alloy is investigated by using a femtosecond laser which is a regenerative amplified Ti:sapphire laser with 1kHz repetition rate, 184fs pulse duration time and 785nm wavelength. Experiments are carried out under various ablation conditions with different pulse overlap ratios for the rectangular shape and micro hole. Test results show that the ablation characteristic according to pulse overlap ratio of titanium alloy seems to be as non-linear type at the different zone of energy fluence. The optimal condition of rectangular shape processing is obtained at the laser peak power 1.3mW, pulse overlap ratio of 90%, beam gap of $1\;{\mu}m$. The micro hole has a good quality from the pulse overlap ratio of 99% at the same laser peak power. With the optimal processing condition, the fine rectangular shape and micro hole without burr and thermal damage are achieved.
To improve the strength of glass is being studied in order to contribute to weight saving of flat panel displays. Generally, the strength achieved of glass-ceramics is higher as is the fracture toughness by the formation of a heterogeneous phase inside glass. In this study, Ag-doped $45SiO_2-24CaO-24Na_2O-4P_2O_5\;and\;70SiO_2-10CaO-24Na_2O-10TiO_2$ glasses were irradiated to strengthen by crystallization using femto-second laser pulse. XRD, Nano-indenter and SEM etc., irradiation of laser pulse without heat-treated samples was analyzed. Samples irradiated by laser had higher value($4.4{\sim}4.56^*10-3Pa$) of elastic modulus which related with strength of glass than values heat-treated samples and these are $1.2{\sim}1.5$ times higher values than them of mother glass. This process can be applicable to the strengthening of thinner glass plate, and it has an advantage over traditional heat-treatment and ion-exchange method.
A Second Harmonic Generation Frequency Resolved Optical Gating(SHG FROG) system was developed. Its performance test shows that it is capable of accurately measuring the temporal evolution of the electric field, both amplitude and phase, of femtosecond light pulses. For the retrieval of the temporal evolution of light pulses from their spectrograms obtained by using the FROG system, Principal Components Generalized Projection(PCGP) algorithm is used and in addition we used additional constraints of second-harmonic spectrum, marginals in frequency and time-delay of the spectrogram. Such modification of the software brings about significant improvement in speed and stability of the pulse retrieval process.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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