• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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• 2002.12a
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• pp.222-223
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• 2002

자기헤드에서 사용되는 연자성 박막에서 요구되는 특성 중 가장 중요한 것은 우수한 연자기 특성의 화보와 헤드제조공정에서 필수적인 유리접합공정(MIG 헤드의 경우 약 500~600 $^{\circ}C$의 열처리) 이후에도 연자기 특성이 유지되는 내열성이다. 이러한 관점에서 우수한 연자기 특성과 내열성을 동시에 보유하는 연자성 박막재료에 대한 연구가 활발히 진행되어 Fe-TM(Hf, Zr. Ta 등)-(B. C, N) 계 등이 보고되었다[1-4]. (중략)

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2003.03a
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• pp.139-139
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• 2003

기록매체의 고밀도 대용량화를 위하여 자기헤드의 고성능화가 필요하다. 현재 고성능 자기헤드로는 bulk 형 페라이트 헤드, 헤드 갭(Gap)부의 연자성 특성이 우수한 MIG(Metal-in-Gap) 헤드, core부 자성금속을 적층시킨 적층 자기박막헤드 등이 있다. 이들 중 최근 MIG 헤드가 타 자기헤드에 비하여 연자성 특성이 우수하며, 박막의 조직특성에 따라 헤드의 성능이 크게 좌우되는 것으로 보고되고 있어, 이에 따라 특성 및 조직제어에 관한 연구가 진행되고 있다. 고포화 자속밀도의 자기헤드 갭은 자기모멘트가 큰 Fe원소를 기지원소로, 미량의 첨가원소에 기인하는 포화 자속밀도의 조절과 이에 따른 미세구조의 제어에 있는 것으로 연구되고 있다 즉 고포화 자속밀도를 가지는 연자성 박막의 미세구조를 제어함으로서 결정자기이방성이 최소화된 재료에 관한 박막화로 있다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2007.04a
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• pp.45-46
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• 2007

역전파 신경망은 반도체 공정 모델링에 효과적으로 응용되고 있으며, 모델의 예측정확도를 향상시키기 위하여 Random Generator를 개발하였다. Random Generator의 효과가 기존이 모델에 비해 예측정확도의 향상에 영향을 주었음을 알 수 있었다. 모델링에 이용한 실험데이터는 다중 유도결합형 플라즈마 장비를 이용하여 수집하였다.

• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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• 2002.12a
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• pp.214-215
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• 2002

High saturation magnetization (B$\_$s/) and excellent high frequency characteristics of magnetic thin films has been recognized as the most important requirement for further miniaturization and higher frequency operation in magnetic devices, such as magnetic heads and magnetic sensors. Up to now, Fe-X-N (X =Ti, Hf, and Al etc.) films with B$\_$s/ of 15 ∼ 19 kG and coercivity (H$\_$c/) of 0.5 ∼ 5.0 Oe have been successfully fabricated and proven to satisfy various requirements as a potential candidate for thin film head materials. (omitted)