$N_2O$ 분위기에서 열산화법으로 성장시킨 $SiO_2$ 초박막의 전기적 특성
(Electrical Characterization of Ultrathin $SiO_2$ Films Grown by Thermal Oxidation in $N_2O$ Ambient)
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- 한국재료학회지
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- 제4권1호
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- pp.63-74
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- 1994