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RF Power변화에 의한 CdTe 박막에 관한 연구 (A Study on CdTe Thin Film by RF Power Change)

  • 박정철
    • 한국정보전자통신기술학회논문지
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    • 제16권4호
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    • pp.187-192
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    • 2023
  • 본 논문은 스퍼터링 장비를 이용하여 ITO 유리 기판에 CdTe 박막을 RF Power로 변화주면서 CdTe 박막을 증착하였다. 박막의 두께를 측정한 결과, 100W 일 때 1481Å, 150W는 2985Å, 200W는 4684Å로 측정되었다. 그리고 이동도는 100W일 때 8.43cm2/Vs, 150W는 7.91cm2/Vs, 200W는 6.57cm2/Vs로 측정되었다. 시편의 두께와 이동도는 반비례한 한다는 것을 알 수가 있었다. 투과율을 확인한 결과, 100W 일 때 905nm에서 투과율은 84%, 150W는 825nm에서 투과율이 71%, 200W는 874nm에서 77%로 측정되었다. 이것은 시편의 두께가 100W일 때 시편의 두께가 얇았으므로 투과율이 높게 측정되었다. 즉 투과율과 두께의 상관관계를 알 수가 있는 부분이다. RF Power를 변화주어 반치폭과 입자의 크기를 측정한 결과, 반치폭은 100W일 때 0.18, 150W는 0.19, 200W는 0.73으로 계산되었다. 입자의 크기는 100W에서는 8.47Å, 150W에서는 7.98Å, 200W일 때 가장 큰 8.7Å으로 형성된 것으로 확인되었다. 결론적으로 반치폭과 입자 크기는 반비례하는 것을 알 수 있었다.

액체 레이저의 매질 개발을 목적으로 한 $Nd^{3+}$ 착물의 광학적 특성 (Optical properties of $Nd^{3+}$ complexes for liquid laser material)

  • 김정호
    • 한국광학회지
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    • 제10권4호
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    • pp.318-322
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    • 1999
  • 액체 레이저의 매질 개발을 목적으로 $Nd^{3+}$ 주위에 저진동 모드의 결합으로 배위자를 형성하는 $Nd(HFA-D)_3$ 착물에 있어서의 $Nd^{3+}$ 이온의 발광특성은 유기용매의 종류에 의존하며, 강한 배위능력을 지니고 있는 용매일수록 발광특성이 우수한 결과로부터 액체 레이저 매질의 개발 시 유기용매로서는 $DMSO-d_6$가 유력한 후보임을 제시하였다. $DMSO-d_6$ 용매로 사용한 $Nd(HFA-D)_3$ 착물의 경우, 파장 585nm($^4F_{3/2}$)에 있어서의 흡수단면적은 $0.92{\times}10^{-20}\textrm{cm}^2$, 발광강도는 1.0$\mu\textrm{m}$대($^4F_{3/2}\Rightarrow ^4I_{11/2}$, Peak파장 : 1062nm)에서 가장 강하였으며, 발광스펙트럼의 반치폭 (FHWM)은 31nm, 발광수명은 약 12.0mus, 유도방출 단면적은 $3.89{\times}10_{-20}\textrm{cm}^2$ 였다.

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골반 방사선 치료에서 산란이 kV-Conebeam CT 영상 기반의 선량계산에 미치는 영향에 대한 연구 (Study of Scatter Influence of kV-Conebeam CT Based Calculation for Pelvic Radiotherapy)

  • 윤경준;곽정원;조병철;김영석;이상욱;안승도;남상희
    • 한국의학물리학회지:의학물리
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    • 제25권1호
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    • pp.37-45
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    • 2014
  • ConeBeam Computed Tomography (CBCT) 영상을 기반으로 한 선량계산에서는 Fanbeam Computed Tomography (FBCT)와 비교하여 산란에 의한 영향이 크고 그 양상이 다양하게 나타나 오차의 주요한 요인으로 작용하는 것으로 알려져 있다. 본 논문에서는 골반 방사선 치료에서 산란이 CBCT 기반으로 한 선량계산에 미치는 영향을 평가하여 오차를 최소화 할 수 있는 조건에 대하여 연구하였다. 다양한 산란조건에서의 CBCT 영상 취득을 위하여 전자밀도 교정용 팬텀에 크기가 각기 다른 산란물질을 추가하여 "산란부족", "산란과다", 그리고 "산란충분"의 3가지 조건을 정하였다. 산란조건에서 취득된 CBCT 영상에서 팬텀 중심부와 주변부의 위치에 따른 CT number값의 차이와 분포를 분석하여 균질도를 평가하였으며 FBCT 영상 기반의 선량 분포를 기준으로 하여 다양한 산란조건에서의 전자밀도 교정관계를 적용하였을 때 팬텀 및 전립선암 환자 5명의 CBCT 영상에서 계산된 선량분포의 감마합격률 및 상대적 오차를 구하였다. 팬텀 CBCT 영상에 대한 CT number들의 히스토그램에서의 분포에서 물 등가 물질에 해당하는 피크의 폭(FWHM)은 산란부족(685 HU)이나 산란과다(264 HU)보다 산란충분(146 HU)의 조건에서 가장 작게 나타나 균질도가 제일 좋은 것으로 평가되었고 팬텀의 중심부와 주변부에서 동일 성분에 대한 CT number의 차이 역시 같은 결과를 나타내었다. 또한 팬텀의 CBCT 영상을 취득할 때와 동일한 산란조건에서의 교정조건을 적용한 경우 선량계산이 가장 정확하였으며 산란충분의 교정곡선 조건을 적용하였을 때 5명의 전립선암환자(평균 등가지름 27.2 cm)의 CBCT 영상 기반의 선량분포는 FBCT의 경우와 대비하여 1%/3 mm의 감마지표에서 감마합격률 98% 이상을 나타내었다. 이때 FBCT 선량에 대한 CBCT 선량오차는 처방선량 대비 2% 이하(평균 0.2%, -1.3%~1.6%)로 평가되었다. CBCT 골반 촬영을 할 때 일반적인 성인 골반의 원통 등가지름(ECD, Equivalent Cylindrical Diameter)의 산란조건에서 동일 성분에 대한 HU 값이 가장 균질하게 나타나 골반 촬영모드가 최적화되었음을 확인하였으며 일반적인 골반부위와 ECD가 유사한 산란조건, 즉 산란충분조건에서 취득된 전자밀도 교정관계를 적용하여 골반 CBCT 기반에서 선량을 계산하였을 때 최적의 선량 정확성을 확보할 수 있었다.