• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 한국신재생에너지학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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• pp.349-349
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• 2009

High quality ZnO:Al films were prepared on glass substrates by in-line RF magnetron sputtering and their surface morphologies were modified by wet-etching process in dilute acid solution to improve optical properties for application to silicon thin film solar cells as front electrode. The as-deposited films show a strong preferred orientation in [001] direction under our experimental conditions. A low resistivity below $5{\times}10^{-4}{\Omega}{\cdot}cm$ and high optical transmittance above 80% in a visible range are achieved in the films deposited at optimized conditions. After wet-etching, the surface morphologies of the films are changed dramatically depending on the deposition conditions, especially working pressure. The optical properties such as total/diffuse transmittance, haze and angular resolved distribution of light are varied significantly with the surface morphology feature, whereas the electrical properties are seldom changed. The cell performances of silicon thin film solar cells fabricated on the textured films are also evaluated in detail with comparison of commercial $SnO_2$:F films.

• Journal of Magnetics
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• 제6권3호
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• pp.90-93
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• 2001

Co/$Al_O_3$/NiFe and CO/$Al_O_3$/Co tunnel junctions were fabricated by a radio frequency magnetron sputtering at room temperature with hard mask on glass and $4^{\circ}$ tilt cut Si (111) substrates. The barrier layer was formed through two steps. After the Al layer was deposited, it was oxidized in the chamber of a reactive ion etching system (RIE) with $O_2$plasma at various conditions. The dependence of the TMR value and junction resistance on the thickness of Al layer (before oxidation) and oxidation parameters were investigated. Magnetoresistance value of 7% at room temperature was obtained by optimizing the Al layer thickness and oxidation conditions. Circular shape junctions on $4^{\circ}$tilt cut Si (111) substrate showed 4% magnetoresistance. Photovoltaic energy conversion effect was observed with the cross-strip geometry junctions on Si substrate.

• 대한치과교정학회지
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• 제27권2호
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• pp.327-334
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• 1997

광중합형 글래스 아이오노머 시멘트(Fuji Ortho $LS^{(R)}$)와 화학중합형 레진 시멘트(Mono $Lok2^{(R)}$)을 선택하여 사람의 소구치를 대상으로 법랑질을 퍼미스 및 10% 폴리아크릴산, 38%인산으로 표면처리한 후 금속 및 프라스틱 브라켓을 부착하고 섭씨 $37^{\circ}C$의 생리 식염수에 24시간, 48시간 경과 시키고 만능강도시험기를 이용하여 전단결합강도를 측정하고 비교함으로써 교정용 접착제로서 광중합형 글래스 아이오노머 시멘트가 임상적 적용 가능성이 있는지 여부를 규명하고자 시행하여 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. 퍼미스로 법랑질을 표면처리한 광중합형 글래스 아이오노머 시멘트군의 전단결합강도는 화학중합형 레진군의 결합 강도보다 유의성 있게 낮았다(P<0.01). 2. 10% 폴리아크릴산으로 법랑질을 표면처리한 광중합형 글래스 아이오노머 시멘트군의 전단 결합강도는 화학중합형 레진군보다 유의성이 낮았다(PC0.01). 3. 10% 폴리아크릴산으로 법랑질을 표면처리한 광중합형 글래스 아이오노머 시멘트군의 전단결합강도는 피미스로 법랑질을 표면처리한 광중합형 글래스 아이오노머 시멘트군보다 약간 높았으나 통계적으로 유의성이 없었다(P<0.05). 4. 메탈과 플라스틱군의 법랑질 표면처리에 관계없이 통계적으로 유의성이 없었다(P<0.05). 이상의 결과를 종합해볼 때 비록 광중합형 글래스 아이오노머 시멘트가 화학중합형 레진 시멘트보다 결합강도는 낮지만 이의 임상적 적용은 가능할 것으로 사료된다.

• 한국재료학회지
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• 제19권5호
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• pp.245-252
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• 2009

Changes in the surface morphology and light scattering of textured Al doped ZnO thin films on glass substrates prepared by rf magnetron sputtering were investigated. As-deposited ZnO:Al films show a high transmittance of above 80% in the visible range and a low electrical resistivity of $4.5{\times}10^{-4}{\Omega}{\cdot}cm$. The surface morphology of textured ZnO:Al films are closely dependent on the deposition parameters of heater temperature, working pressure, and etching time in the etching process. The optimized surface morphology with a crater shape is obtained at a heater temperature of $350^{\circ}C$, working pressure of 0.5 mtorr, and etching time of 45 seconds. The optical properties of light transmittance, haze, and angular distribution function (ADF) are significantly affected by the resulting surface morphologies of textured films. The film surfaces, having uniformly size-distributed craters, represent good light scattering properties of high haze and ADF values. Compared with commercial Asahi U ($SnO_2$:F) substrates, the suitability of textured ZnO:Al films as front electrode material for amorphous silicon thin film solar cells is also estimated with respect to electrical and optical properties.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제22권3호
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• pp.130-135
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• 2023

Plasma-resistant ceramic (PRC) is a material used to prevent internal damage in plasma processing equipment for semiconductors and displays. The challenge is to suppress particles falling off from damaged surfaces and increase retention time in order to improve productivity and introduce the latest miniaturization process. Here, we confirmed the effect of suppressing plasma deterioration and reducing the etch rate through surface treatment of existing PRC with an initial illumination level of 200 nm. In particular, quartz glass showed a decrease in etch rate of up to 10%. Furthermore, it is believed that micro-scale secondary particles formed on the microstructure of each material grow as crystals during the fluoridation process. This is a factor that can act as a killer defect when dropped, and is an essential consideration when analyzing plasma resistance. The plasma etching suppression effect of the initial illumination is thought to be due to partial over etching at the dihedral angle of the material due to the sputtering of re-emission of Ar+-based cations. This means that plasma damage due to densification can also be interpreted in existing PRC studies. The research results are significant in that they present surface treatment conditions that can be directly applied to existing PRC for mass production and a new perspective to analyze plasma resistance in addition to simple etching rates.

• 한국항공우주학회지
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• 제30권6호
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• pp.1-6
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• 2002

마이크로 연소실을 장착한 MAV 추진 장치용 단기통 MEMS 엔진을 제작하였다. 본연구에서는 MEMS 크기의 왕복운동 내연기관의 타당성을 검증하고 실용화를 위한 설계 및 가공데이터를 축적하고자 하였다. 엔진 블록은 가공의 정밀도와 내열성등을 고려하여 감광유리 웨이퍼를 사용하였으며, 점화 전극은 베이스 플레이트 위에 니켈 도금으로 제작하였다. 감광유리판은 등방성 에칭의 특성이 탁월하여 마이크로 엔진의 실린더와 피스톤과 같이 비교적 깊은 식각이 가능함을 확인하였다. 전체 엔진은 세 개의 별도 가공된 레이어를 접착하여 조립한다. 본연구의 엔진 연소실은 깊이는 1mn, 폭 2mn이며, 피스턴은 수소-공기 예 혼합 가스의 연소압력에 의하여 구동된다. 가공된 엔진의 연소실험을 통하여, 점화, 화염전파 및 피스턴 구동을 확인하였으며, 실용화를 위한 연구가 요구되고 있다.

• 대한소아치과학회지
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• 제32권2호
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• pp.191-199
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• 2005

본 연구는 매복된 치아를 교정력을 이용하여 견인할 때 견인의 대상이 되는 치아를 개창술로 노출시켜 브라켓을 부착하는 과정에서 혈액 오염이 일어날 수 있는 상황을 실험실 환경에서 재현한 다음, 이와 같은 오염의 유무와 접착제의 종류가 브라켓의 전단강도에 미치는 영향을 평가하기 위해 시행하였다. 본 연구의 결과 글래스 아이오노머의 전단 강도는 레진에 비해 모든 조건에서 낮은 수치를 보였으나 혈액 오염이 없거나 광조사 직전 오염된 경우 임상적으로 교정적 정출술에 적절한 전단 강도를 나타내었다. 두 재료 모두 접착제 적용 전에 치면이 혈액에 오염되었을 경우 다른 조건에 비해 현저하게 낮은 전단 강도를 보였으나 광조사 직전에 혈액에 오염되었을 경우에는 오염되지 않은 대조군과 유의한 차이가 없었다. 이상의 연구 결과, 개창술을 통해 브라켓을 부착할 경우 접착제 적용 직전 혈액 오염을 주의한다면 산부식 과정 이 생략되어 술식이 비교적 간단하고 접착 파절 후 치면에 접착제가 남아 있지 않은 장점을 지닌 글래스 아이오노머 접착제의 사용을 추천할 수 있을 것으로 사료된다.

• Restorative Dentistry and Endodontics
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• 제25권3호
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• pp.313-320
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• 2000

The purpose of this study was to evaluate on the interfacial morphology between dentin and restorative materials. In this in vitro study, the cavity wall restorated with 3 different kinds of tooth colored restorative materials [resin-modified Glass Ionomer cement (Fuji II LC), composite resin (Z-100), compomer (Dyract)]. The thirty extracted human molar teeth without caries and/or restorations are used. The experimental teeth were randomly divided into three groups of ten teeth each. In each group, Wedge shaped cavities (width: 3mm, length: 2mm, depth: 1.5mm) were prepared at the cementoenamel junction on buccal and lingual surfaces. The adhesive of composite resin were mixed with rhodamine B. Primer of composite resin, Prime & Bond 2.1 of Dyract and liquid of Fuji II LC were mixed with fluorescein. In group 1, the cavity wall was treatment with dentin conditioner, and then restorated with Fuji II LC. In group 2, the cavity wall was treatment with Prime & Bond 2.1 and then restorated with Dyract. In group 3, the cavity wall was etching with 10% maleic acid, applied with primer and bonding agent and then restorated with Z-100. The interface between dentin and restorative materials was observed by fluoresence imaging with a confocal laser scanning microscope. The results were as follows : 1. In Glass ionomer group, adaptation of resin modified Glass-ionomer restoration against cavity wall is tight, but the crack formed inside of restoration were observed. 2. In Dyract group, the penetration of resin tag is shorter and the width of hybrid layer is narrower than composite resin group. 3. In Z-100 group, primer penetrated deeply through dentinal tubule. Also bonding agent was penetrated along the primer, but the penetration length is shorter than primer part, and in 3-D image, the resin tag is conical shape and lateral branch is observed.

• 대한치과교정학회지
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• 제28권5호
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• pp.689-698
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• 1998

법랑질의 표면처리에 따른 광중합형 글래스아이오노머 시멘트의 전단결합강도를 알아보고자 사람 소구치 80개를 선택하여 8개군으로 나누어 전단 결합 강도를 측정하고, 접착 파절의 양상을 평가하여 다음과 같은 결과를 얻었다. $1.37\%$ 인산용액으로 부식한 후 건조상태에서 글래스아이오노머 시멘트, 광중합형 레진, 화학중합형 레진으로 각각 부착한 실험군에서 글래스아이오노머 시멘트 실험군의 전단결합강도는 두 군과 유의한 차가 없었으나 화학중합형 레진군의 그것은 광중합형 레진군에 비해 유의성있게 낮았다 (p<0.05). $2.37\%$ 인산 실험군, $10\%$ 폴리 아크릴산 실험군, $1.23\%$ APF 실험군, 산처리하지 않은 실험군의 습한 상태에서 부착한 글래스아이오노머 시멘트의 전단결합강도에서 산처리하지않은 실험군의 그것이 유의성 있게 낮았으며, 그 외 군간에는 유의성 있는 차이가 없었다 (p<0.05). 3. 글래스아이오노머 실험군에서 습기의 존재가 전단결합강도에 유의성 있는 영향을 미치지 않았다 (p<0.05). 4. 산부식처리를 하지않은 군의 접착제 잔류지수가 가장 낮았으며 $37\%$인산용액으로 처리한 군의 접착제 잔류지수가 가장 높았다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 D
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• pp.1849-1851
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• 1999

The PDP(Plasma Display Panel) barrier rib was fabricated by focused $Ar^+$ laser ($\lambda$=514nm) and Nd:YAG($\lambda$=532, 266 nm) laser irradiation. The depth of the etched groove increases with increasing a laser fluence. and decreasing a scan speed. Using the second harmonic of the Nd:YAG laser, the threshold laser fluence was $6.5mJ/cm^2$ for the sample of PDP barrier rib dried at $120^{\circ}C$. The thickness of $150{\mu}m$ of the sample on the glass was etched without any damage on the glass substrate by fluence of $19.5J/cm^2$. The barrier rib sample on hot plate was etched by Nd:YAG laser(532 nm) as increasing a temperature of the sample. In this case, the etch rate was $95{\mu}m/s$, $190{\mu}m/s$ at room temperature, $175^{\circ}C$ respectively.