A Study on the chemical-mechanical polishing process of Sapphire Wafers for GaN thin film growth. (사파이어웨이퍼의 기계-화학적인 연마 가공특성에 관한 연구)
-
- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
- /
- 한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 기술교육전문연구회
- /
- pp.31-34
- /
- 2003