• 제목/요약/키워드: Electronic Scan

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마이크로칼럼에서 변형된 4중극 디플렉터와 8중극 디플렉터의 스캔 영역 비교 (Study on the Scan Field of Modified Octupole and Quadrupole Deflector in a Microcolumn)

  • 김영철;김호섭;안승준;오태식;김대욱
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제19권11호
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    • pp.1-7
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    • 2018
  • 마이크로칼럼에서는 전자빔을 스캔하기 위해 초소형화된 정전디플렉터를 사용하는 경우가 많다. 주로 두 개의 8중극 디플렉터(double octupole deflector)를 사용하는 경우가 많은데, 이는 스캔 영역을 넓게 하면서도 전자빔이 대물렌즈를 통과할 때에 광축 근처에 위치하도록 함으로써 수차를 작게 유지할 수 있는 장점이 있기 때문이다. 마이크로칼럼은 최종적으로는 멀티 칼럼 형태로 사용하여 전자빔 장비의 throughput을 높이고자 하는 목적으로 연구가 되고 있는데, 칼럼의 수가 많아지게 되면 각 부품에 연결되는 배선의 수도 함께 증가하게 된다. 이에 따라 정전렌즈, 디플렉터 등의 마이크로칼럼 부품 배선을 진공 챔버 밖에 있는 제어장비와 연결하는 과정에서 실질적인 문제에 봉착하게 된다. 이러한 문제를 완화하기 위하여 렌즈 수를 최소화할 수 있도록 대물렌즈를 제거한 마이크로칼럼 구조를 선택하여, 변형된 4중극 및 8중극 디플렉터의 동작을 전산모사 방법으로 연구하였다. 기본적으로 MEMS 공정을 적용하기 용이한 실리콘 디플렉터 구조에서 각 전극의 크기를 동일하게 하지 않고, 서로 다른 크기의 전극을 교대로 배치하도록 디자인하였다. 8중극과 4중극 디플렉터 각각에서 디플렉터 전압을 인가하는 구동전극의 크기에 변화를 주었을 때 스캔 영역과 디플렉터 중심점에서의 전기장의 변화를 조사하여 비교하였다. 스캔 영역은 디플렉터전압에 따라 선형적으로 비례하였다. 스캔영역과 중심점에서의 전기장 세기 모두 8중극 디플렉터에 비해 4중극 디플렉터에서 더 크게 나타났으며, 전극의 크기에 따라 약 1.3 ~ 2.0 배 큰 것으로 조사되었다.

Signal Integrity 연결선 테스트용 다중천이 패턴 생성방안 (An Effective Multiple Transition Pattern Generation Method for Signal Integrity Test on Interconnections)

  • 김용준;양명훈;박영규;이대열;윤현준;강성호
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제45권1호
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    • pp.14-19
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    • 2008
  • 현대 반도체의 소형화 및 고성능화로 인해 반도체 테스팅 분야는 다양한 문제점에 봉착하고 있다. 이중 연결선에 대한 signal integrity 문제는 SoC와 같은 고집적 회로에서 반드시 해결해야할 문제이다. 본 논문에서는 연결선의 signal integrity 테스트를 위한 효과적인 테스트 패턴 적용 방안을 제안한다. 제안하는 테스트 패턴은 경계 주사 구조를 통해 적용 가능하며, 상당히 짧은 테스트 시간으로 매우 효과적인 테스트를 수행할 수 있다.

선형 배열 안테나의 방사패턴 계산을 위한 Mirror Active Element Pattern 방법 (The Mirror Active Element Pattern Method for The Radiation Pattern Computation of Linear Array Antennas)

  • 김재현;윤영민;김부균
    • 전자공학회논문지
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    • 제50권8호
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    • pp.94-102
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    • 2013
  • 선형 배열 안테나의 구조가 배열 안테나의 중심을 기준으로 대칭 구조인 점을 이용하여 효율적으로 배열 안테나의 빔 주사각에 따른 방사패턴을 계산할 수 있는 mirror AEP (active element pattern) 방법을 제안한다. Mirror AEP 방법은 AEP 방법과 비교하여 배열 안테나의 방사패턴을 계산하기 위하여 필요한 full-wave 전산모의를 이용하여 구하는 소자의 AEP 수를 약반으로 줄일 수 있기 때문에 계산 시간을 약 반으로 줄일 수 있다. 배열 안테나를 구성하는 단위 안테나 소자의 방사패턴이 대칭인 경우에는 mirror AEP 방법으로 계산한 방사패턴과 full-wave 전산모의를 이용하여 구한 방사패턴과의 차이가 넓은 빔 주사각 범위에서 매우 작았다.

Fabrication of silicon nano-ribbon and nano-FETs by using AFM anodic oxidation

  • 황민영;최창용;정지철;안정준;구상모
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.54-54
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    • 2009
  • AFM anodic oxidation has the capability of patterning complex nano-patterns under relatively high speeds and low voltage. We report the fabrication using a atomic force microscopy (AFM) of silicon nano-ribbon and nano-field effect transistors (FETs). The fabricated nano-patterns have great potential characteristics in various fields due to their interesting electronic, optical and other profiles. The results shows that oxide width and the separation between the oxide patterns can be optimally controlled. The subsequently fabricated silicon nano-ribbon and nano-FET working devices were controled by various tip-sample bias-voltages and scan speed of AFM anodic oxidation. The results may be applied for highly integration circuits and sensitive optical sensor applications.

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Novel Hierarchical Test Architecture for SOC Test Methodology Using IEEE Test Standards

  • Han, Dong-Kwan;Lee, Yong;Kang, Sung-Ho
    • JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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    • 제12권3호
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    • pp.293-296
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    • 2012
  • SOC test methodology in ultra deep submicron (UDSM) technology with reasonable test time and cost has begun to satisfy high quality and reliability of the product. A novel hierarchical test architecture using IEEE standard 1149.1, 1149.7 and 1500 compliant facilities is proposed for the purpose of supporting flexible test environment to ensure SOC test methodology. Each embedded core in a system-on- a-chip (SOC) is controlled by test access ports (TAP) and TAP controller of IEEE standard 1149.1 as well as tested using IEEE standard 1500. An SOC device including TAPed cores is hierarchically organized by IEEE standard 1149.7 in wafer and chip level. As a result, it is possible to select/deselect all cores embedded in an SOC flexibly and reduce test cost dramatically using star scan topology.

레이저 주사 장치의 곡률 보정에 관한 연구 (A Study on the Curvature Correction in Laser Scanner)

  • 윤남일;김남;박한규
    • 한국통신학회:학술대회논문집
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    • 한국통신학회 1986년도 추계학술발표회 논문집
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    • pp.194-197
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    • 1986
  • In this paper, for the curvature correction on the scanning plane in laser scanning system, aberration correction method using holographic optical element is suggested. Holoens is selected as a type of holographic zone plate which has aberration correction property. And hologram recording condition is analyzed to find fo property. This hololens is implemented by computer-generated hologram technique. Laser scanning system is organized using desinged hololens and scanning properties of this system are investigated. Using this method optical system structure in laser scanning system can be simplified satisfying both scan linearity and field flatness.

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병렬 처리 구조의 GPU를 이용한 의료 초음파 영상용 에코 신호 처리기 (An Echo Processor for Medical Ultrasound Imaging Using a GPU with Massively Parallel Processing Architecture)

  • 서신혁;손학렬;송태경
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
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    • 대한전자공학회 2008년도 하계종합학술대회
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    • pp.871-872
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    • 2008
  • The method and results of the software implementation of a echo processor for medical ultrasound imaging using a GPU (NVIDIA G80) is presented. The echo signal processing functions are modified in a SIMD manner suitable for the GPU's massively parallel processing architecture so that the GPU's 128 ALUs are utilized nearly 100%. The preliminary result for a frame of image composed of 128 scan lines, each having 10240 16-bit samples, shows that the echo processor can be inplemented at a high rate of 30 frames per second when implemented in C, which is close to the optimized assembly codes running on the TI's TMS320C6416 DSP.

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영상압축을 위한 SPIHT 알고리즘의 효율적인 하드웨어 설계 (Efficient Hardware Design of SPIHT Algorithm for Image Compression)

  • 유몽;송문빈;정연모
    • 한국정보처리학회:학술대회논문집
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    • 한국정보처리학회 2004년도 추계학술발표논문집(상)
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    • pp.187-190
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    • 2004
  • This paper proposes an efficient hardware implementation of SPIHT(Set Partitoning In Hierarchical Tree) algorithm for image compression with the discrete wavelet transform. An efficient technique to scan the coefficients which are located in partitioned spatial orientation trees by DWT is considered in terms of counter fields for sorting pass and refinement pass. The proposed image compression method using SPIHT has been modeled in VHDL and has been implemented by use of both TMS320C6000 as a DSP and Virtex2 as a Xilinx FPGA.

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EIS 기반 전압신호 분석을 통한 당뇨병 진단 가능성 평가 (Diagnosis of Diabetes Using Voltage Analysis Based on EIS (Electro Interstitial Scan))

  • 배장한;김수찬;카니티카 케오칸네트;전민호;김재욱
    • 전자공학회논문지
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    • 제53권11호
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    • pp.114-122
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    • 2016
  • EIS (Electro interstitial scan, 전기체간스캔법)는 전극을 이용해 미세전류를 인체에 인가하고 그에 따른 전기적 반응을 분석하여 생리적인 정보를 얻는 방법으로, 비침습적이고 간단한 검사가 가능하다는 장점이 있다. 특히 당뇨병 진단을 위한 스크린용으로 적합하다는 연구들이 진행되어 왔으나 대부분 진단 원리에 대한 구체적인 논의가 이루어지지 않았다. 본 연구에서는 EIS 방법이 당뇨병 스크리닝 및 임상에 유용하게 활용될 수 있을지 분석해 보기위해 당뇨병 환자와 정상인을 대상으로 EIS 장비의 원 신호인 전압 변동 데이터를 특정경로에서 측정하였다. 전압 신호의 특징점을 추출하고 두 그룹 사이의 AUC (Area under the curve)를 계산한 결과 7개의 변수들이 60% 이상의 분류 정확도를 보였다. 또한 이 변수들을 k-NN 분류기로 학습한 결과, 왼쪽 손에서의 전압 변동 크기를 기준으로 분석했을 때 분류 정확도를 76.2%까지 높일 수 있었다. EIS 기반의 전압신호 분석법으로 비침습적인 당뇨병 스크리닝의 가능성을 보였다.

응급센터에 내원한 외상환자에서 간과된 골절의 요인 분석 (A Cause Analysis of Missed Fractures in an Emergency Medical Center)

  • 박득현;이성실;김동언;조현영;이영근;김준수;전진;김영식;하영록;신태용
    • Journal of Trauma and Injury
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    • 제22권1호
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    • pp.37-43
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    • 2009
  • Purpose: A missed fracture is a very common occurrence in the Emergency Department (ED) and can have serious results because of delays in treatment, resulting in long-term disability. It is also one of the most common causes leading to medical legal issues. We analyzed the causes of missed fractures by using a bone scan which is known to be an effective tool for diagnosing bony lesions. Methods: We reviewed the medical records of trauma patients who underwent a bone scan after being discharged the ED from September 2006 to March 2008. Cases of missed fractures were identified by using electronic medical records to review each diagnosis. Definition of missed fracture was read after bone scan by radiologist. We decided that there was no fracture if we read 'trauma-related lesion' or 'cannot rule out fracture' on a bone scan read by a radiologist. Enrolled patients were analyzed by age, sex, time until bone scan and Injury Severity Score (ISS). Patients were divided into two groups, alert mentality and not-alert mentality, so there were split between a diagnosis group and a missed fracture group. ISS was also used in determining the severity of the patient's injury upon discharge from the ED. Results: A total of 532 patients were enrolled in this study. Of those, 487 patients were in the diagnosis group, and 45 patients (8.4%) were discovered to have had a fracture. Of the 45 missed fracture patients, 34 patients (6.4%) had one-site fractures, 8 patients (1.5%) had two-site fractures, and 3 patients (0.6%) had three-site fractures. The most commonly missed fracture was multiple rib fractures (18 patients, 30.5%), followed by lumbosacral (LS) spine fractures (10 patients, 16.9%), thoracic spine fractures (8 patients, 13.6%), and clavicle fractures (6 patients, 10.2%). Mean age was $50.12{\pm}18.54$ years in the diagnosis group and $57.38{\pm}16.88$ years in the missed fracture group. For the diagnosis group, the mean ISS was $9.03{\pm}8.26$, but in the missed fracture group it was $17.53{\pm}9.69$. Missed fractures were much more frequent in the not-alert mentality (p<0.01) and in the high (ISS$ ISS{\geq}16$) group (p<0.01). Conclusion: Missed fractures occur most frequent in patients of old age, not-alert mentality, and high ISS. Multiple rib and spine fractures were found to be the most frequent missed fractures, regardless of trauma severity. This study also shows a high possibility of clavicle and scapula fractures in patients with severe trauma.