Fabrication of He-Ne ellipsometer and in-situ measurement of effective density variation of $TiO_2$ thin films
(보급형 He-Ne 타원해석기의 제작과 $TiO_2$ 박막 유효밀도 변화의 in-situ 측정)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.8 no.4A
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- pp.432-437
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- 1999