TOF법을 이용한 $SiH_4$ 프라즈마중의 전자군파라미터특성
(Electron Swarm Parameter Characteristic in $SiH_4$ Plasma by TOF Method)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1997년도 하계학술대회 논문집 E
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- pp.1830-1833
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- 1997