전자빔 공정 시 발생하는 온도 분포 해석 기초연구 (Study on the temperature distribution induced by the electron beam process)

• 김지수;박형욱
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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  • pp.777-778
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  • 2013
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대면적 전자빔 공정시 가공 변수에 따른 온도 분포 연구 (Study on the temperature distribution with varying polishing condition for the large electron beam process)

• 김지수;기형선;박형욱
• • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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  • 한국정밀공학회 2012년도 추계학술대회 논문집
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  • pp.153-154
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  • 2012
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