Optical Properties of Inductively Coupled Plasma with Ar Gas Pressure and RF Power (13.56MHz) (Ar 가스압력과 RF 전력변화 (13.56MHz)에 따른 유도결합형 플라즈마의 광학적 특성)
-
- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
- /
- 한국전기전자재료학회 2003년도 춘계학술대회 논문집 유기절연재료 방전 플라즈마연구회
- /
- pp.92-95
- /
- 2003