RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 태양전지용 GZO/ITO 투명전도성 박막의 물성에 미치는 ITO층의 영향 (Effect of ITO Layer on Electrical and Optical Properties of GZO/ITO Double-layered TCO Films Deposited by RF Magnetron Sputtering for Application to Solar Cells)
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- 한국표면공학회지
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- 제44권6호
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- pp.260-263
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- 2011