RF 마그네트론 스퍼터링에서 증착거리와 증착온도가 무기 액정 배향막의 물리적 성질에 미치는 영향에 대한 연구 (Influences of Target-to-Substrate Distance and Deposition Temperature on a-SiOx/Indium Doped Tin Oxide Substrate as a Liquid Crystal Alignment Layer)
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- 한국재료학회지
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- 제18권10호
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- pp.521-528
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- 2008