Transactions on Electrical and Electronic Materials
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v.13
no.1
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pp.31-34
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2012
The addition of nano/micro silica into unsaturated polyester resin (UPR) results in the improvement of the electrical properties of Silica-UPR composites. The surface, volume resistivity, dielectric strength, dissipation factor and dry arc resistivity of nano silica-UPR composites were found to improve significantly. The effects of the nano and micro fillers in UPR have been evaluated. They are presented in this paper. To evaluate the electrical properties of the nano & micro composites, all the measurements were done as per the prescribed methods in ASTM. It was observed that the addition of nano silica improves the electrical properties as compared to micro silica. The better dispersion of silica particles in unsaturated polyester resin enhances the electrical properties of silica-UPR composites.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2008.06a
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pp.62-62
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2008
As micro-system move toward higher speed and miniaturization, requirements for embedding the passive components into printed circuit boards (PCBs) grow consistently. They should be fabricated in smaller size with maintaining and even improving the overall performance. Miniaturization potential steps from the replacement of surface-mount components and the subsequent reduction of the required wiring-board real estate. Among the embedded passive components, capacitors are most widely studied because they are the major components in terms of size and number. Embedding of passive components such as capacitors into polymer-based PCB is becoming an important strategy for electronics miniaturization, device reliability, and manufacturing cost reduction Now days, the dielectric films deposited directly on the polymer substrate are also studied widely. The processing temperature below $200^{\circ}C$ is required for polymer substrates. For a low temperature deposition, bismuth-based pyrochlore materials are known as promising candidate for capacitor $B_2Mg_{2/3}Nb_{4/3}O_7$ ($B_2MN$) multi layers were deposited on Pt/$TiO_2/SiO_2$/Si substrates by radio frequency magnetron sputtering system at room temperature. The physical and structural properties of them are investigated by SEM, AFM, TEM, XPS. The dielectric properties of MIM structured capacitors were evaluated by impedance analyzer (Agilent HP4194A). The leakage current characteristics of MIM structured capacitor were measured by semiconductor parameter analysis (Agilent HP4145B). 200 nm-thick $B_2MN$ muti layer were deposited at room temperature had capacitance density about $1{\mu}F/cm^2$ at 100kHz, dissipation factor of < 1% and dielectric constant of > 100 at 100kHz.
In this study, ultra high-voltage (170kV AC), reliable 80pF mica capacitors for partial discharge system application were investigated. For capacitors design, Program was developed to sampling of series and parallel parameters. Mica was used as the dielectric of the capacitors. Using the conservative design rule, over 3 individual 50$\mu$m thick mica sheets with a size of 30mm$\times$35mm were used with lead foils to form a parallel capacitor element and 20 mica sheets were interleaved with lead foils to form a series stack of parallel capacitor element to meet the requirements of the capacitors. The dimension of the fabricated 80pF capacitor for 17kV AC were 90mm$\times$90mm. The high-frequency characteristics of the capacitance (C) and dissipation factor (D) of the developed capacitors were measured using a capacitance meter. The developed capacitor exhibited C of 79.5pF, had D of 0.001% over the frequency ranges of 150kHz to 50MHz, had a self-resonant frequency of 65MHz.
The chemical composition and electrical properties were investigated for epitaxially crystallized $(Ba_{0.5}Sr_{0.5})Tio_3$ (BST) films deposited on Pt and $YBa_Cu_3O_{7-x}$(YBCO) electrodes by laser ablation technique. The crystalline quality of the heteroepitaxial BST films deposited on Pt bottom electrode was found to be better than that of BST film on YBCO electrode by the RBS analysis. Films deposited at $600^{\circ}C$ on Pt electrode showed a dielectric constant of 320 and a dissipation factor of 0.023 at 100kHz. Leakage current density of BST films on Pt electrode was smaller than that on YBCO bottom electrode. Their leakage current density was about 0.8$\mu \; A/ \textrm{cm}^2$ at an applied electric field of 0.15MV/cm.
$(Ba_{0.5}Sr_{0.5)/TiO_3$(BST) thin films were prepared for the application of 256 Mb DRAM by RF magnetron sputtering. The crystallinity of BST thin films increased with increasing deposition tempera lure. The composition of thin films was $(Ba_{0.48}Sr_{0.48)/TiO_{2.93}$ Pt/Ti barrier layer suppressed the diffusion of Si into BST layer. The films showed a dielectric constant of 320 and a dissipation factor of 0.022 at 100 kHz. the change of capacitance of the films with applied voltage was small, showing paraelectric property. The charge storage density and leakage current density were 40fC/$\mu \textrm{m}^{2}$ and 0.8$\mu A/\textrm{cm}^2$, respectively at a field of 0.15 MV/cm. The BST films obtained by RF magnetron sputtering appeared to be potential thin film capacitors for 256 Mb DRAM application.
This paper focuses on the electrical properties and stability against DC accelerated aging stress of ZnO-V2O5-MnO2-Nb2O5-Bi2O3-Co3O4-Dy2O3 (ZVMNBCD) varistor ceramics sintered at 850 - 925 ℃. With the increase of sintering temperature, the average grain size increases from 4.4 to 11.8 mm, and the density of the sintered pellets decreases from 5.53 to 5.40 g/㎤ due to the volatility of V2O5, which has a low melting point. The breakdown field abruptly decreases from 8016 to 1,715 V/cm with the increase of the sintering temperature. The maximum non-ohmic coefficient (59) is obtained when the sample is sintered at 875 ℃. The samples sintered at below 900 ℃ exhibit a relatively low leakage current, less than 60 mA/㎠. The apparent dielectric constant increases due to the increase of the average grain size with the increase of the sintering temperature. The change tendency of dissipation factor at 1 kHz according to the sintering temperature coincides with the tendency of the leakage current. In terms of stability, the samples sintered at 900 ℃ exhibit both high non-ohmic coefficient (45) and excellent stability, 0.8% in 𝚫EB/EB and -0.7 % in 𝚫α/α after application of DC accelerated aging stress (0.85 EB/85 ℃/24 h).
(Ba$_{1-x}$ , Sr$_{x}$)TiO/$_3$thin films on Pt/Ti/SiO$_2$/Si substrates were prepared by LP MOCVD(Low Pressure Metal-Organic Chemical Vapor Deposition). The crystalinity of BST deposit had a (100) preferred orientation with increasing deposition temperature due to surface diffusion. BST films deposited at 90$0^{\circ}C$ showed a dielectric constant of 365 and a dissipation factor of 0.052 at a frequency of 100kHz. The chance of capacitance of the films with applied voltage was small, showing paraelectric properties. BST film deposited at 90$0^{\circ}C$ had a charge storage density of 60 fc/${\mu}{\textrm}{m}$$^2$at a field of 0.2MV/cm and the leakage current density of 20 nA/$\textrm{cm}^2$ at a field of 0.15 MV/cm.cm.
Park, Yong-Jun;Paik, Jong-Hoo;Lee, Young-Jin;Jeong, Young-Hun;Nahm, Sahn
Korean Journal of Materials Research
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v.18
no.4
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pp.169-174
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2008
The structural and electrical properties of amorphous $BaSm_2Ti_4O_{12}$ (BSmT) films on a $TiN/SiO_2/Si$ substrate deposited using a RF magnetron sputtering method were investigated. The deposition of BSmT films was carried out at $300^{\circ}C$ in a mixed oxygen and argon ($O_2$ : Ar = 1 : 4) atmosphere with a total pressure of 8.0 mTorr. In particular, a 45 nm-thick amorphous BSmT film exhibited a high capacitance density and low dissipation factor of $7.60\;fF/{\mu}m2$ and 1.3%, respectively, with a dielectric constant of 38 at 100 kHz. Its capacitance showed very little change, even in GHz ranges from 1.0 GHz to 6.0 GHz. The quality factor of the BSmT film was as high as 67 at 6 GHz. The leakage current density of the BSmT film was also very low, at approximately $5.11\;nA/cm^2$ at 2 V; its conduction mechanism was explained by the the Poole-Frenkel emission. The quadratic voltage coefficient of capacitance of the BSmT film was approximately $698\;ppm/V^2$, which is higher than the required value (<$100\;ppm/V^2$) for RF application. This could be reduced by improving the process condition. The temperature coefficient of capacitance of the film was low at nearly $296\;ppm/^{\circ}C$ at 100 kHz. Therefore, amorphous BSmT grown on a TiN substrate is a viable candidate material for a metal-insulator-metal capacitor.
Bi-layered SrBi2Ta2O9(SBT) films were deposited on Pt/Ti/SiO2/Si sibstrates by rf magnetron sputt-ering at room temperature and then were annealed at 75$0^{\circ}C$, 80$0^{\circ}C$ and 85$0^{\circ}C$ for 1 hour in oxygen at-mosphere. The film composition of SrBi2Ta2O9 was obtained after depositing at room temperature and annealing at 80$0^{\circ}C$. Excess 20mole% Bi2O3 and 30 mole% SrCO3 were added to the target to compensate for the lack of Bi and Sr in SBT film. 200 nm thick SBT film exhibited and dense microstructure, adielectric constant of 210, and a dissipation factor of 0.05 at 1 MHz frequency. The films exhibited Curie temperature of 32$0^{\circ}C$ and a dielectric constant of 314 at that temperature under 100 kHz frequency. The remanent polarization(2Pr) and the coercive field(2Ec) of the SBT films were 9.1 $\mu$C/$\textrm{cm}^2$ and 85 kV/cm at an applied voltage of 3V, resspectively and the SBT film showed a fatigue-free characteristics up to 1010 cy-cles under 5V bipolar pulse. The leakage current density of the SBT film was about 7$\times$10-7A/$\textrm{cm}^2$ at 150 kV/cm. Fatigue-free SBT films prepared by rf magnetron sputtering can be suitable for application to non-volatile memory device.
Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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v.40
no.9
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pp.631-637
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2003
We have evaluated structural and electric, ferroelectric properties of PZT(30/70) thick film prepared by using 1,3-propanediol based sol-gel method on Pt/Ti/SiO$_2$/Si substrates. Rapid thermal annealing (RTA) is used to reduce the thermal stress and final furnace annealing is processed at $650^{\circ}C$. As the results of SEM analysis, we find that we get 350 nm in thickness for one coating and 1 $\mu$m for three times of coating. In the results of C-D analysis at 1 kHz, dielectric constant ($\varepsilon$$_{r}$) and dissipation factor were 886 and 0.03, respectively. C-V curve is shaped as a symmetrical butterfly. Leakage current density at 200 kV/cm is 1.23${\times}$10$^{-5}$ A/cm$^2$ and in the results of hysteresis loops measured at 150 kV/cm, the remnant polarization (P$_{r}$) and the coercive field (E$_{c}$) are 33.8 $\mu$C/cm$^2$ and 56.9 kV/cm, respectively. PZT(30/70) thick film exhibits relatively good ferroelectric, electric properties.s..
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[게시일 2004년 10월 1일]
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