• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2013.08a
• /
• pp.284-284
• /
• 2013

중 에너지 이온 산란 분석법(Medium Energy Ion Scattering Spectrometer, MEIS)은 50~500 keV로 이온을 가속 후 시료에 입사시켜 시료의 원자와 핵간 충돌로 산란되는 일차이온의 에너지를 측정하여 시료를 분석하는 기법으로, 원자층의 깊이 분해능으로 초박막의 표면 계면의 조성과 구조를 분석 할수 있는 유용한 미세 분석기술이다. 본 실험에서 에너지 70~100 keV의 He+ 이온을 사용하여 Pulse Width 1 ns의 Pulsed ion beam을 만들어 Start 신호로 사용하고 Delay-line-detector에 검출된 신호를 End 신호를 이용한 TOF-MEIS System을 개발하였다. 활용 가능한 분석시편으로 Ultra thin film 시편으로 1, 1.5, 2, 2.5, 3, 4 nm의 HfO2, 1.8, 4nm의 SiO2 시편을 분석 하였으며 Ultra Shallow Junction 시편으로 As Doped Si, Cs Doped Si 시편 및 Composition, Core/shell 구조의 Q-dot 시편으로 CdSe, CdSe/ZnS등 다양한 분석 실험을 진행 하였다. Composition, Core/shell 구조의 Q-dot 시편은 Diamond Like Carbon(DLC)의 Substrate에 Mono-layer로 형성하여 분석하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2017.05a
• /
• pp.91-91
• /
• 2017

트라이볼로지란? 상대운동을 하면서 서로 영향을 미치는 두면 및 이와 관련된 문제로 마찰, 마모, 윤활에 대한 것을 말한다. 트라이볼로지는 1960대에 조사 연구되기 시작하면서 학문적으로 많은 정리가 이루어졌고, 현재 현대사회에서 문제가 되고 있는 에너지 및 환경 문제를 해결할 수 있는 핵심 요소로 떠오르고 있다. 특히 4차 산업혁명시대를 맞이하여 많은 부분에서는 인공지능, 클라우딩, 빅 데이터 및 로봇 등을 이야기하고 이에 대한 투자 및 개발을 이야기하고 있지만, 이 4차 산업을 뒷받침할, 강인한 제조업이 없으면 불가능한 혁명이라고 말 할 수 있다. 특히 트라이볼로지는 제조업의 무인 자동화 및 무인 로봇 등 이를 필요로 하는 산업 기기와 같은 전반적인 부품 및 소재의 마모를 감소시켜, 기계 장치의 신뢰성을 증가시킬 수 있다. 마찰은 두 물체 상호간의 열 발생을 억제 시키고, 마모는 물체의 표면 경도가 높으면 높을수록 마모량이 적어진다고 알려져있다. 따라서 트라이볼로지와 관련한 표면 처리의 경우, 고온 환경에서의 사용성 증대 및 고경도화 그리고 저마찰을 위한 방향으로 개발 발전되어져 왔다. 트라이볼로지 코팅 중 내마모 코팅의 경우, 티타늄 원소를 기본으로 알루미늄(Al) 및 실리콘(Si)를 합금화하면서, 고경도화 및 내열성을 증대시키는 방향으로 발전되어 왔다. 그에 따라 표면경도의 경우, 4000 Hv, 내열성 $1200^{\circ}C$에 도달였다. 하지만 여전히 철계와의 마찰계수는 0.3 이상으로 이를 낮추는 방법이 요구되고 있다. 최근 트라이볼로지 코팅 중 카본을 함유한 비정질 다이아몬드상 카본 막 (Diamond like Carbon Film : DLC) 이나, Diamond 막의 수요 증가는 마찰을 낮추어 융착마모를 줄이려는 노력으로 볼 수 있다. 특히 수소를 포함하지 않는 고경도 탄소막인 ta-C(tetrahedral amorphous-Carbon)의 수요는 증대되고 있으며, 이에 대한 후막화 및 양산화 기술의 개발의 현재 isssu로 대두되고 있다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
• /
• v.8 no.1
• /
• pp.36-42
• /
• 1999

Field emission behaviors from diamond-like carbon films were investigated. The films were deposited on n-type Si wafer by ion beam sputtering method using 3 cm Kaufman type ion source. Regardless of the film thicknesses and atomic bond structure, the emission current was much enhanced by electrical breakdown between anode and the film surface. The effective work function was estimated to be about 0.1 eV. In order to identify the emission site, tungsten tip was scanned the damaged region damaged region but localized to a specific site. Analysis using Auger electron spectroscopy and SEM shows that SiC compound was not a sufficient condition for the electron emission. This result showed that the enhanced emission was mainly due to the changes in the chemical bond of the damaged region rather than the enhanced electric field caused by the morphological change.

• Journal of Korean Vacuum Science & Technology
• /
• v.6 no.2
• /
• pp.105-107
• /
• 2002

a-C:H films were coated on windows of mobile telephone by RF plasma chemical vapor deposition equipment made in our company. Thickness of the coatings is about 0.7 micrometers and they have high hardness, low friction coefficient, good adhesion, high optical transparency and chemical inertness. Knoop hardness of the diamond-like carbon films on glass substrate is 2328 kg/mm$^2$. The adherence between films and substrate is good and shows to be 69 N by scratching test. The optical performance is improved obviously owing to coat the film on it. The index of the coated windows is 2.5, transmission of visible light is larger than 90%, and transmission of ultraviolet light decreases by 30% and the ultraviolet light can be obstructed obviously. The coated glass also has self-clean effect and decontamination ability. The films have hydrophobic character and the soakage angle of water drop is larger than 90 degrees. The windows have fog-proof ability owing to eliminate the capillary phenomena in the inner surface. The physics and chemical properties of the coated windows are steady. Study indicates that the performance of a-C:H coated mobile phone windows are improved notably on wear-resistance, corrosion-proof and optical properties and it is excellent mobile windows protective coatings.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
• /
• 2016.11a
• /
• pp.180-180
• /
• 2016

보론이 도핑된 $3{\times}3cm$ 크기의 p 형 다결정 실리콘 기판의 표면을 경면연마한 후, 다이아몬드 입자의 seeding을 위해 슬러리 중 다이아몬드 분말의 입도를 5 nm로 고정하고 초음파 전처리 공정을 진행한 후, 다이아몬드 박막을 증착하였다. 다이아몬드 증착은 Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition 장비를 이용하였으며, 공정 조건은 초기 진공 $10{\times}10^{-3}Torr$, 공정 가스 비율 $Ar:CH_4=200:2$, 가스 유량 202 sccm, 공정압력 90 Torr, 마이크로웨이브 파워 600 W, 기판 온도 $600^{\circ}C$이었다. 기판에 DC bias 전압을 인가하는 것을 공정 변수로 하여 0, -50, -100, -150, -200 V로 변화시켜가며, 0.5, 1, 2, 4 h 동안 증착을 진행하였다. 주사전자현미경과 XRD, AFM, 접촉각 측정 장비를 이용하여 증착된 다이아몬드 입자와 막의 특성을 분석하였다. 각 bias 조건에서 초기에는 다이아몬드 입자가 형성되어 성장되었다가 시간이 증가될수록 연속적인 다이아몬드 막이 형성되었다. Table 1은 각 bias 조건에서 증착 시간을 4 h까지 변화시키면서 얻은 다이아몬드 입자 또는 박막의 높이(두께)를 나타낸 것이다. 2 h까지의 공정 초기에는 bias 조건의 영향을 파악하기 어려운데, 이는 bias에 의한 과도한 이온포격으로 입자가 박막으로의 성장에 저해를 받는 것으로 사료된다. 증착시간이 4 h가 경과하면서 -150 V 조건에서 가장 두꺼운 막이 성장되었다. 이는 기판 표면을 덮은 다이아몬드 박막 위에서 이차 핵생성이 bias에 의해 촉진되기 때문으로 해석된다. -200 V의 조건에서는 오히려 막의 성장이 더 느렸는데, 이는 Fig. 1에 보이듯이 과도한 이온포격으로 Si/diamond 계면에서 기공이 형성된 것과 연관이 있는 것으로 보인다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
• /
• v.11 no.2
• /
• pp.80-84
• /
• 2000

Parabolic almninium mlITOr of m.5('||'&'||'cent; 50 nun) was fabncated by a diamond tummg machine. Computer generated hologram (CGH) for the test of parabolic mirror was encoded by binary phase hologram Approximation of curved fringe to line was made by staircase encoding. After fringe data 1ransformed mto a Post Scnpt file. magnified master CGH was printed by a laser printer, and then it reduced to the photographIc film. Parabolic mirror was tested by Twyman-Green interferometer with CGH at VIewing arm. Its experimental result was compared with those of surface profile and auto-collimatIon test, and then the errors were analyzed.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2011.02a
• /
• pp.496-496
• /
• 2011

A very simple and cost-effective method for fabrication of SiOx-incorporated diamond-like carbon (DLC) thin films at a preparation temperature of less than $200^{\circ}C$ was developed. Since DLC coating can be prepared not under vacuum but atmospheric conditions without any carrier gas flow, not only wafers but also powderic substrates can be used for DLC coating. Formation of DLC coating could result in appearance of superhydrophobic behaviors, which was sustained in a wide range of pH (1~14). DLC-coated surfaces selectively interacted with toluene in a toluene/water mixture. These results imply that our preparation method of the DLC coating can be useful in many application fields such as creating self-cleaning surfaces, and water and air purification filters.

• Journal of Surface Science and Engineering
• /
• v.36 no.2
• /
• pp.148-154
• /
• 2003

Short ($\tau$=40 $mutextrm{s}$) and high-voltage ($U_{sub}$=2~8 kV) negative substrate bias pulses were used to assist pulsed magnetron sputtering DLC films deposition. Space- and time-resolved probe measurements of the plasma characteristics have been performed. It was shown that in case of high-voltage substrate bias spatial non-uniformity of the magnetron discharge plasma density greatly affected DLC deposition process. By Raman spectroscopy it was found that maximum percentage of s $p^3$-bonded carbon atoms (40 ~ 50%) in the coating was attained at energy $E_{c}$ ~700 eV per deposited carbon atom. Despite rather low diamond-like phase content these coatings are characterized by good adhesion due to ion mixing promoted by high acceleration voltage. Short duration of the bias pulses is also important to prevent electric breakdowns of insulating DLC film during its growth.wth.

• Journal of the Korean Vacuum Society
• /
• v.8 no.2
• /
• pp.165-171
• /
• 1999

Diamond-like carbon(DLC) films were synthesized using the rf-plasma CVD technique with the addition of small amounts of nitrogen and oxygen to a gas mixture of $CH_4$ and $H_2$. The gas flow ratio of $CH_4$ to $H_2$ was 2.4:1, and 3% , 13.6% of nitrogen were added to the gas mixture of $CH_4$ and $H_2$ for the deposition of DLC films. The film stress tended to decrease as the nitrogen concentration increased from 3% to 13.6%, probably due to the decrease of the number of the interlink between carbon atoms. The residual stress tended to slightly decrease when 3% of oxygen was added. Scratch tests were performed to investigate the adhesion between the DLC films and the Ti intelayer after pretreating the TiN surface with direct hydrogen plasma. The adhesion was enhanced by adding nitrogen and oxygen to the $CH_4$ and $H_2$ gas mixture. The adhesion for the 3% nitrogen addition was better than that for the 13.6% nitrogen addition. The Vicker's hardness of the DLC films was measured to be 1100Hv.

• Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
• /
• v.11 no.7
• /
• pp.508-516
• /
• 1998

Mo-tip field emitter arrays(FEAs) were fabricated by conventional Spindt process and their life time characteristics and failure mode were evaluated. The fabricated Mo-tip FEA could generate at least $0.35\{mu} A/tip$ emission current for about 320 persistently under a constant gate bias of 140 V and was finally destroyed through self-healing mode. Thin diamond-like carbon films were coated on the M-tip by plasma-enhanced CVD and the dependence of emission properties upon the DLC thickness was investigated. By DLC coating, the turn-on voltage and emission current were appeared to be improved whereas the current fluctuation was increased in the DLC thickness range of $0~1,000\{AA}$.