Effect of Deposition Parameters on the Properties of Pyrolytic Carbon Deposited by Fluidized-Bed Chemical Vapor Deposition (유동층 화학증착법을 이용하여 증착한 열분해 탄소의 특성에 미치는 증착조건의 영향)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.18 no.8
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- pp.406-410
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- 2008