• 제목/요약/키워드: Deposition during growth

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ZnO2 박막 제조 시간의 증가에 따라 박막 입자 성장면과 입자 성장 방향에 관한 연구 (As ZnO2 Thin Film Manufacturing Time Increases, the Thin Film Particle Growth Plane and a Study on the Direction of Particle Growth)

  • 정진
    • 통합자연과학논문집
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    • 제14권1호
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    • pp.1-5
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    • 2021
  • 라디오 진동수 스퍼터를 이용하여 실리콘(110) 기판위에 증착시간을 60분, 120분 그리고 180을 변화시켜서 산화아연 박막을 만들었다. ZnO2 박막의 입자 성장면을 X선 회절 장치를 써서 분석한 결과 박막의 주 성장면(002)면과 (103)면의 방향이 증착 시간의 영향을 많이 받았다. 전자 주사 현미경을 통하여 ZnO2박막의 입자 성장을 관찰 한 결과 ZnO2박막이 증착 초기에는 성장이 정체되는 인큐베이션 시간이 필요하다가 일정 시간이 지나면 다시 입자 성장이 일어나는 현상이 관찰 되었다. ZnO2박막의 화학 분석을 한 결과는 증착 시간의 증가가 ZnO2박막내의 산소의 양과는 변화가 없었지만 Zn의 성분에 변화가 관찰 되어서 박막의 증착 시간이 박막내의 Zn성분에는 영향을 미침을 알 수 있었다.

Hydrogen concentration and critical epitaxial thicknesses in low-temperature Si(001) layers grown by UHV ion-beam sputter deposition.

  • Lee, Nae-Eung
    • Journal of Korean Vacuum Science & Technology
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    • 제3권2호
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    • pp.139-144
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    • 1999
  • Hydrogen concentration depth profiles in homoepitaxial Si(001) films grown from hyper-thermal Si beams generated by ultrahigh vacuum (UHV) ion-beam sputtering have been measured by nuclear reaction analyses as a function of film growth temperature and deposition rate. Bulk H concentrations CH in the crystalline Si layers were found tio be below detection limits, 1${\times}$1019cm-3, with no indication of significant H surface segregation at the crystalline/amorphous interface region. This is quite different than the case for growth by molecular-beam epitaxy (MBE) where strong surface segregation was observed for similar deposition conditions with average CH values of 1${\times}$1020cm-3 in the amorphous overlayer. The markedly decreased H concentrations in the present experiments are due primarily to hydrogen desorption by incident hyperthermal Si atoms. Reduced H surface coverages during growth combined with collisionally-induced filling of interisland trenches and enhanced interlayer mass transport provide an increase in critical epitaxial thicknesses by up to an order of magnitude over previous MBE results.

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Layer by Layer 법으로 제작한 박막의 에피택셜 성장 (Epitaxy Growth of the Thin Films Fabricated by Layer by Layer Method)

  • 김태곤;천민우;양승호;박용필;박노봉;이희갑
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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    • pp.529-530
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    • 2006
  • $Bi_2Sr_2CuO_x$ thin films have been fabricated by atomic layer-by-layer deposition using the ion beam sputtering method. During the deposition, 10 and 90 wt%-ozone/oxygen mixture gas of typical pressure of $1{\sim}9{\times}10^{-5}\;Torr$ are supplied with ultraviolet light irradiation for oxidation. XRD and RHEED investigations reveal out that a buffer layer with some different compositions is formed at the early deposition stage of less than 10 units cell and then Bi-2201 oriented along the c-axis is grown.

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저압 화학 기상 증착법으로 제작한 다결정 실리콘의 표면 형태 및 결정 성장 (Surface Morphology and Grain Growth of LPCVD Polycrystalline Silicon)

  • 이은구;박진성;이재갑
    • 한국재료학회지
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    • 제5권2호
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    • pp.197-202
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    • 1995
  • 저압 화학 기상증착법으로 제작한 비정질 실리콘의 표면 형태 및 결정 성장 과정을 증착조건과 열처리 조건의 변화에 따라 조사하였다. 비정질에서 결정으로 변화하는 전이온도인 570~$590^{\circ}C$에서 증착한 시편은 (311)조직의 거친 표면으로 성장하였다. 같은 증착 온도에서 두께가 두꺼울수록 다결정에서 비정질로 변화하였다. 증착하는 과정에서의 결정화는 기판에서부터 시작되지만, 진공상태를 그대로 유지하고 비정질 실리콘을 전이온도에서 열처리하면 표면 실리콘 원자가 이동하여 결정화하였다.

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PLD 법에 의한 c-사파이어 기판위의 MnS 박막성장 (Growth of MnS Thin Film on c-Sapphire by Pulsed Laser Deposition)

  • 송정환
    • 한국재료학회지
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    • 제17권9호
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    • pp.475-479
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    • 2007
  • Pulsed laser deposition was utilized to grow MnS thin films on c-sapphire substrate using a KrF excimer laser at growth temperatures that ranged from room temperature to $700^{\circ}C$. The results of X-ray diffraction (XRD) and UV-visible spectroscopy were employed to investigate the structural and optical properties of the MnS films. While the growth rate decreased as $T_s$ increased, the overall quality of the film improved. The highest quality MnS film was obtained at $700^{\circ}C$. Variations in the $T_s$ resulted in the MnS films exhibiting different growth mechanisms. The oriented (200) rocksalt MnS film was grown at room temperature. In the case of higher $T_s,\;200{\sim}500^{\circ}C$, the films consisted of mixed phases of rocksalt and wurtzite. The main structure of the films was altered to (111) rocksalt when the temperature was increased to in excess of $600^{\circ}C$. This behavior may very well be the result of elements such as surface energy and atomic arrangement during the growth process. The optical band gap of the obtained ${\alpha}-MnS$ film was estimated to be 3.32 eV.

성장기 돼지의 단백질대사에 사료단백질의 질이 미치는 영향 -수치모델을 사용하여- (Effects of Feed Protein Quality on the Protein Metabolism of Growing Pigs - Using a Simulation Model -)

  • 이옥희
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.704-713
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    • 1997
  • Simulation의 결과와 PAF식으로 계산된 성장기의 단백질 축적량과의 상대적 차이는 8.8%를 보여 본 연구의 타당성이 확인되었다. 성장률을 나타내는 총 체단백질량에 대한 단백질 축적량은 양질의 단백질을 섭취 할 경우 성장함에 따라 parabolic 형태를 띄나, 사료단백질의 질이 낮아짐에 따라 150일 simulation 기간내에 이러한 형태는 사라졌다. 성장하는 동안 단백질 회전의 두요소가 항상 병행하여 증가하였다 단백질 합성량과 분해량은 서로 병행하여 단백질 질에 따라 차이를 보였는데, 질이 높은 단백질을 섭취하였을 때 단백질 축적의 증가는 높은 단백질 합성량과 분해량에 의해 일어남 을 보여 주었다. 이는 근육단백질의 대사형태(5)를 반영하며, 그리하여 돼지의 총 단백질대사는 근육단백질에 의해 결정됨을 확인해 주었다. 그리고 단백질 질이 낮을 경우 매일의 단백질 대사율과 성장률이 저하할 뿐 아니라 성장지연도 일어남을 보여 주었다 본 연구에서 추정된 필수아미노산의 총 필요량은 28.1g이며, 일반적으로 돼지 사료의 제1 제한 아미노산인 lysine의 필요량은 4.2g이다. 이러한 아미노산 필요량은 NRC에서 권장하는 균형잡힌 아미노산 조성과 유사하다. 이와 같이 본 연구는 동위원소를 사용한 실험을 시행할 필요없이 simulation을 통해 다양한 질의 사료단백질에 따른 단백질 축적량에 대한 자료만으로 성장기의 단백질 회전률과 단백질대사의 동적행위를 나타내어 식이의 단백질 질의 변화에 적응하는 기전을 나타낼 수 있음을 보여주었다.

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마이크로웨이브 플리즈마 화학기상증착에 의한 다이아몬드 박막의 성장 관찰을 위한 분광 Ellipsometry의 이용 (The use of spectroscopic Ellipsometey for the observation of diamond thin film growth by microwave plasma chemical vapor deposition)

  • 홍병유
    • 한국결정성장학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.240-248
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    • 1998
  • 화학기상증착 방법에 의한 다결정 다이아몬드 박막성장을 위한 공정가운데 가장 많이 사용되는 기법중의 하나가 바로 플라즈마에 의한 방법이다. 특히 플라즈마 화학기상증착(Plasma-Enhanced CVD)기술에 의한 다이아몬드 박막응용은 그 공정에 대한 세부 조정을 통하여 더욱 향상시킬 수 있다. 다이아몬드 박막증착의 경우 중요 변수들은 다이아몬드 필름이 증착되는 기판(substrate)의 온도, $CH_4/H_2$가스비율, 전체가스 압력 및 가스 excitation에너지 등이다. 분광 ellipsometry는 다이아몬드 필름 증착과 관련된 극단적인 환경에서도 물리적인 접촉이나 만들어지는 샘플의 손상없이도 필름자체의 여러 성질뿐만 아니라 기초 샘플의 온도까지도 결정할 수 있는 좋은 방법이다. 이러한 장점들을 이용하여 양질의 다이아몬드 박막을 성장시키기 위한 조건과 그에 따른 박막 특성을 얻기 위하여 분광 ellipsomerry의 사용과 해석이 소개된다. 그리고, 분광 ellipsometry를 이용, 플라즈마 화학기상증착 기술에 의하여 성장되는 다이아몬드 박막으로부터 나타나는 중요 변수들이 결정될 것이며 이러한 변수들은 필름의 두께, 필름에 포함되는 void 및 비다이아몬드의 체적비와, 그들의 시간에 따른 변화등을 포함한다. 그리고 샘플이 원하는 두께까지 성장된 후에 라만 분광기로 측정되어 다이아몬드 성분을 확인한다.

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Effects of age and diet forms on growth-development patterns, serum metabolism indicators, and parameters of body fat deposition in Cherry Valley ducks

  • Lv, Gang;Zeng, Qiufeng;Ding, Xuemei;Bai, Shiping;Zhang, Keying
    • Animal Bioscience
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    • 제35권2호
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    • pp.247-259
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    • 2022
  • Objective: This study was conducted to investigate the effects of age and diet forms on growth-development patterns, serum metabolism indicators, and parameters of body fat deposition in Cherry Valley ducks. Methods: According to the hatching age and initial weight, a total of 150 1-day-old male SM3 Cherry Valley ducks were randomly assigned to two diet forms (pellet vs powder form). Each treatment had with 5 replicates per treatment and 15 meat ducks per replicate. The study lasted 42 d, which was divided into two periods (1 to 21 vs 22 to 42 d). Results: Our results showed that compared with powder group, ducks in pellet group had greater growth performance during different period (p<0.05). The inflection point was 24 d and was not numerically affected by diet forms. Increasing age (42 vs 21 d) significantly increased the weight of body fat and hepatic fat metabolism related enzyme activities in ducks (p<0.05), meanwhile, increasing age (42 vs 21 d) improved serum metabolism indicators and decreased mRNA expression levels of fat metabolism-related genes in liver (p<0.05). Ducks fed different diets (pellet vs powder form) increased growth performance as well as the weight of body fat and improved serum metabolism indicators (p<0.05). In addition, interactions were found between age and diet forms on the levels of serum metabolism indicators in ducks (p<0.05). Conclusion: In conclusion, powder feed reduced growth performance of ducks, and the day of inflection point was 24 days old. Ducks with higher age or fed with pellet diet showed higher fat deposition. The effect of age and feed forms on body fat deposition might result from changes in the contents of serum metabolism indicators, key enzyme activity of lipid production, and hepatic gene expressions.

Antimony Surfactant Effect on p-GaN growth by Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD)

  • 이영곤;;백광선;김봉준;김학준;이준기
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2010년도 춘계학술발표대회
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    • pp.56.2-56.2
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    • 2010
  • An improvement in the optical and structural properties of p-GaN was obtained by using antimony (Sb) as a surfactant during p-GaN growth. Two different growth temperatures of p-GaN such as $1030^{\circ}C$ and $900^{\circ}C$ were considered. Keeping the growth conditions for p-GaN constant, Sb was introduced during p-GaN growth while varying the [Sb]/([Ga]+[Mg]) flow ratio. [Sb]/([Ga]+[Mg]) flow ratio will be denoted as SGM ratio for convenience. SGM ratio of 0, 0.015 and 0.03% were considered for high temperature p-GaN growth. SGM ratio of 0, 0.005, 0.01 and 0.02% were considered for low temperature p-GaN growth. The analysis results suggest that using the optimum SGM ratio during p-GaN growth greatly improves the optical and structural properties of the p-GaN.

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금속 덩어리 증착 및 금속 나노와이어에 관한 원자단위 이론 연구 (Atomistic Study of Metal Cluster Deposition and Nanowires)

  • 강정원;이강환;황호정
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
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    • 대한전자공학회 2001년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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    • pp.21-24
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    • 2001
  • We studied aluminum cluster deposition using molecular dynamics simulation. We investigated the variations of the cluster momentum and the impulse force during collisions, and found that the close-packed cluster impact has some of properties of the single particle collision and the linear chain collisions. We also simulated the series of energetic cluster deposition with energy Per atom. When energy Per atom in cluster has some eV rather than very low, the intermixing occurred easily in growth film and we can obtain a good film without subsequent annealing process.

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