• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1997년도 추계학술대회 논문집
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• pp.887-890
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• 1997

Recently micromachining using DPSSL(Diode Pumped Solid State Laser) with 3rd harmonic wavelength is actively studied in laser machining area. Micromachining using DPSSL have outstanding advantages as UV source comparing with excimer laser in various aspect such a maintenance cost, maskless machining, high repetition rate and so on. In this study micro-drilling of PCB type substrate which consists of Cu-PI-Cu layer was performed using DPSS Nd:YAG laser(355nm, wavelength) in vector scanning method. Experimental and numerical method(Matlab simulation, FEM) are used to optimize process parameter and control machining depth. The man mechanism of this process is laser ablation. It is known that there is large gap between energy threshold of copper and that of PI. Matlab simulation considering energy threshold of material is performed to effect of duplication of pulse and FEM thermal analysis is used to predict the ablation depth of copper. This study could be widely used in various laser micromachining including via hole microdrilling of PCB, and micromachining of semiconductor components, medical parts and printer nozzle and so on.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 1999년도 제16회 광학 및 양자전자 학술발표회Proceedings of 16th Optics and Quantum Electronics Conference, 1999
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• pp.76-77
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• 1999

• 광학세계
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• 통권100호
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• pp.26-29
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• 2005

레이저 가공기 세계시장은 2010년에 약 70억 달러 이상의 규모가 예상되고 고출력 CW 고체 레이저 시장은 2010년까지 매년 약 30%의 성장이, 펄스레이저 시스템 및 레이저마킹기 시장는 연간 10% 이상의 성장을 예상하고 있다. 반면, 세계 레이저 발진기의 시장에서 CO2 레이저의 경우 시장의 규모가 작아져서 2004년에 약 4억 달러의 규모가 2010년에는 약 2.3억 달러 수준으로 하향할 것으로 예상되고 있다. 고체 레이저에서 특기할 사항은 2010년에 Lamp Pumped CW Nd;YAG 레이저의 경우 약 74백만 달러로 규모가 축소됨에 비해 고출력 DPSSL(Diode Pumped Solid State laser) 시장규모는 약 17억 달러로 급성장하며 레이저 마킹 및 미세 정밀 가공용 저출력 DPSSL의 시장 규모가 약 13억 달러로 고속 성장할 것으로 예측이 된다.

• 기계와재료
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• 제22권1호
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• pp.14-21
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• 2010

초미세 레이저 가공기술은 미세화, 대면적화, 고속화의 방향으로 발전되고 있다. 이에 따라 이를 대응한 레이저의 사양도 파장의 단파장화 또는 펄스폭의 극초단화, 펄스 반복률의 고반복률화, 출력의 고출력화가 요구되고 있다. 극초단 펄스레이저는 사용자 편의성, 안정성 측면에서 산업체의 요구에 미흡하다. 이에 따라 산업용 초미세 레이저 가공을 위한 광원으로 고품질, 고출력의 단파장 자외선 레이저 활용에 집중하고 있다. 현재 고품질 자외선 레이지는 DPSSL 형태로 구성되어 출시되고 있고, 거의 대부분 수입에 의존하고 있다. 국내외 자외선 UV 현황을 간단히 기술하고, 광주과기원 고등광기술연구소에서 산업원천기술개발사업의 일환으로 개발중인 복합형 자외선 DPSSL에 대한 개발 계획 레이저 특성과 현재의 개발 진행 상황을 소개한다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.607-608
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• 2013

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.II
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• pp.897-897
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• 2005

We report QLA (Quenching-rate controlled Laser Annealing) system as new concept using pulsed DPSSL and CW lasers. This process can control temperature quenching-rate of poly-Si crystallization by additional CW laser and fabricate high quality poly-Si with faster scanning speed than conventional processes. In this paper, QLA system, the experimental results and theoretical discussion will be introduced.

• 대한용접접합학회:학술대회논문집
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• 대한용접접합학회 2004년도 춘계 학술발표대회 개요집
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• pp.95-96
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• 2004

그동안 고출력 레이저에는 CO2 Laser, LPSSL, DPSSL 등이 주로 사용되어 왔다. 최근에는 Fiber Laser가 좋은 빔특성을 가지면서 10㎾이상의 고출력이 가능해 큰 주목을 받고 있다. 고출력 레이저는 매질의 냉각문제가 가장 큰 관건인데, Fiber Laser는 수백 $\mu\textrm{m}$의 지름을 가진 수십m 길이의 공진기 형태를 띠어 부피 대비 냉각면적이 가장 크다고 할 수 있다. EDFA 등 광통신을 위해 개발되었던 다이오드 레이저들이 Fiber Laser쪽으로 전용되고, Side Cladding pumping 방법의 실용화, 다이오드 페이저 펌핑 광과 광섬유사이의 커플링 방법이 개발되면서 고출력 Fiber Laser 개발이 급속히 이루어졌다. (중략)

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.616-619
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• 2003

Photochemical and photothermal effects have correlation with each other and depend on laser wavelength. Multi-scanning laser ablation process of polymer with DPSS(Diode Pumped Solid State) 3rd harmonic Nd:YVO$_4$ laser with wavelength of 355nm is applied to fabricate three-dimensional micro shape. The DPSSL photomachining system can rapidly and cheaply fabricate 2D pattern or 3D shape with high efficiency because we only use CAD/CAM software and precision stages instead of complex projection mask. Photomachinability of polymer is highly influenced by laser wavelength and its own chemical structure. So the optical characteristics of polymers for 355nm laser source is investigated by experimentally and theoretically.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2000년도 제11회 정기총회 및 00년 동계학술발표회 논문집
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• pp.46-47
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• 2000

고출력, 고효율, 그리고 고품질의 빔특성을 갖는 DPSSL을 개발하기 위해서는 출력빔을 저하시키는 원인인 비균일한 여기빔 분포에 의한 레이저 결정내의 열렌즈, stress 복굴절 등의 효과를 최소화하여야 한다. 지금까지 열효과를 줄여, 고출력이나 TE $M_{00}$ 모드의 레이저 빔을 얻기위한 방법으로 zigzag 슬랩 디자인$^{1)}$ , VPS 여기 시스템$^{2)}$ , Cusp 형 반사체$^{(3)}$ , 광섬유 결합$^{(4)}$ 등의 방법이 연구되어 왔다. 본 연구에서는 고출력, 고효율, 그리고 고품질의 레이저 빔특성을 동시에 만족하는 레이저를 개발할 목적으로 산란된 여기빔을 이용하는 여기구조를 고안하고 열효과가 감소된 Nd:YAG 레이저 시스템을 최적설계하였다. (중략)략)

• 광산업정보
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• 통권2호
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• pp.30-31
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• 2001

20여년 동안 지속해 온 레이저 개발 및 레이저분공기술 분야에 대한 연구를 지속적으로 추진하고 있는 이종민 한국광학회 회장. 이 회장은 최근 주된 관심사는 고출력 DPSSL (Diode-laser Pumped Sclid-state Laser)레이저, 원적외선 자유전자레이저, 그리고 레이저의 원자력 응용에 관한 연구들이라 말한다. 특히 이 분야들은 이미 5년 전부터 착수된 연구들로서 특히 레이저의 고출력화 및 전고체화 (all-solid-state)에 집중적인 노력을 아끼지 않는다고 또한 그는 인터넷 홈페이지를 통해서 산업 현장의 어려운 목소리를 듣고 직접 해당 전문가의 자문을 받을 수 있는 창구를 개설할 계획이다. 이를 통해 광기술관련 자료의 데이터베이스를 정립하고 지식정보 교환의 장을 구축하여 기초 학문의 실용화를 앞당기며, 기술인력의 정보교환도 자연스럽게 이루워지도록 할 것이며 이러한 사업이 성공적으로 이루어지면 학회와 산업계 모두에게 보람있는 일이 될 것이라고 밝혔다.