연속 ECR-CVD 조업하에 RF-magnetron-sputter의 싸이클조업을 통해 PET위에 올려진 구리박막의 특성 (Characteristic of Copper Films on PET Substrate Deposited by Cyclic Operation of RF-magnetron-sputtering Coupled with Continuous Operation of ECR-CVD)
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- 한국재료학회지
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- 제15권7호
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- pp.465-472
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- 2005