Experimental Investigation for Ablation Characteristics of Polyimide Layer and Cu-metal Layer using High Power Nd:YAG UV Laser (고출력 Nd:YAG UV레이저를 이용한 polyimide층과 Cu-metal층의 가공상태에 대한 실험적 고찰)
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- Journal of the Semiconductor & Display Technology
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- v.8 no.4
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- pp.31-36
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- 2009