• 제목/요약/키워드: Cr-underlayer

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MAGNETISM OF NANOCOMPOSITE CoSm-BASED FILMS

  • Shan, Z.S.;Liu, Y.;Jeong, S.Y.;Zhang, Y.B.;Al-Omari, I.A.;Sellmyer, D.J.
    • 한국자기학회지
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    • 제5권5호
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    • pp.702-709
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    • 1995
  • In this paper we review recent work in our laboratory on nanocomposite CoSm-based films including CoSm with Cr underlayer (CoSm//Cr), exchange-coupled magnetic films consisting of CoSm and FeCo layers (CoSm/FeCo), and CoSm multilayers with nonmagnetic spacing layers of SmO (CoSm/SmO). The emphasis is on detailed investigations of microstructure and magnetic properties for CoSm//Cr films, exchange-spring effects for CoSm/FeCo films, and interlayer effects for (CoSm/ SmO) multilayers.

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분석전자현미경용 다층박막 디스크의 시편준비법 (TEM sample preparation of thin film multilayer disks for analytical electron microscopy)

  • 김명룡
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제8권4호
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    • pp.464-471
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    • 1995
  • 메그네트론 스퍼터링으로 제작한 고밀도 다층박막($Co_75{{Pt_12}{Cr_13}}$합금) 디스크를 투과전자현미경을 이용해 단면 및 평면의 미세조직의 조사 혹은 미소부위 성분분석을 할 경우, 선행되어야하는 시편준비 경로와 각 단계별 구체적방법 및 그 효과를 연구하였다. Ion밀링시간이 증가함에 따라 시료가 얇게 되는과정에서 스퍼터링된 물질이 관찰될 시편부위의 다른 표면에 증착되므로써 미세조직의 선명도를 해칠 수 있고, 이로인한 해석상의 오류가능성이 시사되었다. 또한, 자기박막 디스크와 같이 다층으로 구성된 단면분석용 시료에서는 서로 맞붙인 실리콘 단결정 접착면을 따라 밀링속도가 선택적으로 커서 우선축이 생김으로써 양질의 시편을 얻기 어려운 문제점이 제기되었다. 이같은 문제를 포함한 전자현미경 시료준비과정에서 생길 수 있는 문제를 해결할 수 있는 실마리와 이를 이용해 수행한 전자현미경 분석결과 및 효과적인 시편준비방법이 본 논문에서 언급되었다.

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Thermal Evaporation법으로 제조한 NiCr 박막의 증착 특성 (Deposition Properties of NiCr Thin Films Prepared by Thermal Evaporation)

  • 권용;박용주;최승평;정진;최광표;류현욱;박진성
    • 한국세라믹학회지
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    • 제41권6호
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    • pp.450-455
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    • 2004
  • NiCr 합금을 열증발원으로 사용한 thermal evaporation법으로 NiCr박막을 $Al_2$O$_3$/Si 기판 위에 증착시켰다. 이 때 동일한 량의 NiCr 합금을 1회에 모두 증착하는 방법과, l/2씩 2회 증착하는 방법으로 NiCr 박막을 각각 증착시켜, 박막의 미세구조에 따른 막의 특성변화를 고찰하였으며, 열처리 온도에 따른 NiCr 박막의 상 변화, 조성변화 및 미세구조 변화를 XRD, AES 및 FE-SEM으로 각각 분석하였다. 열처리 과정에서 박막내부에 존재하는 Cr 성분이 표면 쪽으로 확산하여 산화됨으로써 Cr산화층/Ni 층/Cr 산화층의 전형적인 다층구조를 형성함을 알 수 있었으며, 특히, $700^{\circ}C$ 이상에서는 Ni 층이 Cr산화층을 통하여 표면 쪽으로 확산됨으로써 표면에 원주형 결정립을 가지는 NiO 층을 형성하였다. 특히 Ni 층이 확산 전의 구조를 유지한 채 표면에 추가적인 NiO층이 형성되는데, 이는 형성된 Cr산화층의 확산이 상대적으로 Ni 층에 비하여 어려운데 기인한다.

Fe-Hf-C계 연자성 박막합금의 자기적 성질 (The Magnetic Properties of Fe-Hf-C Soft Magnetic Thin Films)

  • 최정옥;이정중;한석희;김희중;강일구
    • 한국자기학회지
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    • 제3권1호
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    • pp.23-28
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    • 1993
  • 복합타게트 방식의 고주파 2극 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 Fe-Hf-C계 극미세 결정 연자성 박막을 제조하여 박막조성, 열처리 조건 및 기판과 그 하지층이 자기적 성질에 미치는 영향을 조사하였다. Fe-Hf-C계 초미세 결정 연자성 박막은 Hf 8-10at.%, C 14-18at.%의 조성범위에 서 비정질과 결정질의 경계에 가까운 조성일수록 연자성이 향상되었으며 포화자속밀도 16 kG, 1 MHz 에서의 실효투자율 4000 이상의 연자성을 나타내고 $600^{\circ}C$ 까지도 투자율 3000정도의 열적안정 성을 나타내었다. 기판 및 하지층에 따른 연자성 특성은 미세구조의 변화 보다는 기판/자성막 및 하지층/자성막간의 상호확산에 의해 주로 영향을 받는 것으로 나타났다.

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CoSm/Cr 박막의 자성층 두께에 따른 자기역전부피 (Magnetic Layer Thickness Dependence on Magnetic Switching volume of CoSm/Cr Thin Films)

  • 정순영;김현수
    • 한국자기학회지
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    • 제11권6호
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    • pp.262-266
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    • 2001
  • 본 연구에서는 dc 마그네트론 스터링법으로 CoSm 박막을 제작하여 자기적 성질의 자성층 두께 의존성을 조사하였다. 고밀도 자기기록 매체의 여러 가지 성질 중 자기역전부피는 자기기록 매체에 저장된 정보의 열적 안정성, 자화반전기구 및 잡음을 이해하는 데 매우 중요한 자료가 된다. 따라서 자기화 감쇄의 시간 의존성과 직류 demagnetization remanence 곡선 측정결과로부터 각각 점성계수와 비가역 자화율을 구한 다음 최대 점성계수 및 비가역 자화율을 이용하여 최대 자기역전부피의 두께 의존성을 조사하였다. 자기역전부피와 보자력은 CoSm의 두께가 48 nm와 24 nm에서 각각 최대를 보이다가 오히려 감소하였으나 자기이방성은 계속 증가하는 경향을 보였다. 이와 같은 현상은 자성층의 두께가 증가함에 따라 결정립 또는 nanocrystallites 사이의 자기적 교환 상호작용이 증가하기 때문인 것으로 해석된다.

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