• 제목/요약/키워드: Copper/low k

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W-C-N 확산방지막의 전자거동(ElectroMigration) 특성과 표면 강도(Surface Hardness) 특성 연구 (Characteristics of Electomigration & Surface Hardness about Tungsten-Carbon-Nitrogen(W-C-N) Related Diffusion Barrier)

  • 김수인;김창성;이재윤;박준;노재규;안찬근;오찬우;함동식;황영주;유경환;이창우
    • 한국진공학회지
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    • 제18권3호
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    • pp.203-207
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    • 2009
  • 반도체 공정에서 기존 금속배선으로 사용되던 Al을 대체하여 사용되는 금속배선으로는 Cu가 그 대안으로 인식되고 있다. 이는 비저항값이 Al ($2.66{\mu}{\Omega}$-cm)보다 Cu ($1.67{\mu}{\Omega}$-cm)가 더 작아 RC 지연 시간 (RC delay time)을 극복하기 때문이다. 그러나 Cu의 녹는점은 $1085^{\circ}C$로 높지만 저온에서 쉽게 Si기판과 반응하는 특성을 가지고 있고, 또한 Si과의 접착력이 좋이 않는 것으로 알려져 있다. 이러한 이유로 Cu와 Si과의 반응을 방지하고 접착력을 높이기 위하여 확산방지막의 연구가 꾸준히 진행되고 있다. 본 연구그룹에서는 Cu의 확산을 방지하기 위하여 W-C-N의 확산방지막에 대하여 연구하여 왔다. 지금까지 보고된 연구 결과에 의하면 W-C-N (tungsten-carbon-nitrogen) 확산방지막은 고온에서도 Cu와 Si과의 확산을 효과적으로 방지하는 것으로 보고되었다. 이 논문에서는 W-C-N 확산방지막에 질소(N) 비율을 다르게 증착하여 지금까지 진행한 연구 결과를 기반으로 새로이 Cu의 전자거동현상(Electromigration)에 대하여 연구하였고, 고온 열처리 과정에서 박막의 표면강도 (Surface hardness)를 Nano-Indenter system을 이용하여 연구하였다. 이러한 연구를 통하여 박막내 질소가 포함된 W-C-N 확산방지막이 Cu의 전자거동에 더 안정적이며, 고온 열처리 과정에서도 표면 강도가 더 안정한 연구 결과를 획득하였다.

SSP MPO 알고리즘을 이용한 초음파 결정립 잡음 억제에 관한 연구 (A Study on Suppression of UT Grain Noise Using SSP MPO Algorithms)

  • 구길모;전계석
    • 한국음향학회지
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    • 제15권6호
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    • pp.81-89
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    • 1996
  • 원전의 1차 계통 건전성 확보를 위한 일환으로서 초음파 검사 방법은 매우 중요하다. 그러나, 초음파는 검사 대상제의 내부 구조 및 형상에 따라 검사의 제한을 받으므로 결정립이 큰 재질에서 후방 산란 잡음 즉 시 불변성(time invariant) 잡음이 발생한다. 이로 인하여 수신 신호는 낮은 신호 대 잡음비의 결과로 나타나게 된다. 주파수 대역 분할 방식(split spectrum processing:SSP) 기술은 이와 같은 잡음을 억제하는데 효율적이다. 그러나, 종래의 SSP 기술은 minization, PT 알고리즘중 한 알고리즘만 적용하였으나 본 논문에서는 이두 가지 알고리즘을 동시에 처리하는 MPO(minimization and polarity threshold)알고리즘을 적용하고, 주파수 대 대역폭비가 일정한 FIR 여파기로서 새로운 constant-Q SSP를 수행하여 신호처리 시간을 단축하였다. 현장 검사 요건과 동일하게 종파와 횡파에도 일부 적용하였다. 한편, 이러한 새로운 SSP 기술을 적용할 수 있도록 초음파 탐상기를 설계 제작하였고, 시험편들의 준비는 원전 모재 대비시험편, 모재와 동일한 재질의 스테인레스 스틸 및 구리 시험편들이며, 이들 시험편으로 부터 초음파 신호를 수집하여 본 신호 처리를 적용한 결고 신호 대 잡음비가 향상됨을 알 수 있었다.

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일반과 자색 건조 돼지감자의 식품 성분 및 항산화 활성 (Food Components and Antioxidant Activities of Dried Jerusalem Artichoke with White and Purple Colors)

  • 정복미;신태선
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제45권8호
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    • pp.1114-1121
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    • 2016
  • 본 연구는 일반과 자색 건조 돼지감자의 일반성분, 무기질 함량, 유리아미노산 함량, 색도, 항산화 활성을 측정하였다. 돼지감자의 일반성분은 품종과 관계없이 탄수화물, 조단백, 회분, 수분 함량 순으로 높았으며, 색의 차이는 나타나지 않았다. 돼지감자의 품종과 관계없이 가장 높은 무기질은 칼륨이었고, 다음으로 칼슘, 마그네슘, 나트륨, 철분 순으로 나타났다. 일반시료가 자색시료보다 높은 무기질은 칼슘, 마그네슘, 철분, 아연이었고 자색이 일반보다 높은 것은 칼륨, 나트륨, 구리, 망간으로 나타났으나 품종 간의 유의적인 차이는 없었다. 돼지감자에 가장 많이 함유된 아미노산은 품종과 관계없이 arginine이었고, 다음으로 asparagine, aspartic acid, ${\gamma}-amino-n-butyric$ acid 순으로 나타났다. 또한, 일반시료보다 자색시료에서 유의적으로(P<0.05) 높게 나타난 아미노산은 cystine, leucine, tyrosine이었고, 일반시료가 자색시료보다 유의적으로(P<0.05) 높게 나타난 아미노산은 phosphoethanolamine으로 나타났다. 색도의 경우 L, a, b 모두 일반시료보다 자색시료에서 높게 나타났으나 유의적 차이는 없었다. 항산화 활성에서는 방법론 중 ABTS assay를 제외하고는 모든 활성에서 자색시료가 일반시료에 비해 항산화 활성이 높게 나타났다. 일부 FRAP와 ORAC assay의 경우 추출물의 낮은 농도에서는 일반시료와 자색시료 간 차이가 없는 것으로 나타났으며, 자색시료의 경우 높은 농도에서 항산화 활성이 있는 것으로 나타났다.

단백질 분해 효소가 세척에 미치는 영향 -효소와 오염 기질의 특성을 중심으로- (Influences of Protease on the Removal of Protein Soils from Cotton Fabrics -Emphasis on the Characteristics of Enzyme and Soil Substrates-)

  • 이정숙;심윤정
    • 한국의류학회지
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    • 제17권3호
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    • pp.491-505
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    • 1993
  • The influences of protease on the removal of various protein soils from cotton fabrics were studied. The human epidermal stratum corneum, hemoglobin and casein were used as protein soils. The soiled fabrics were denatured by steaming for 30 min. before washing and laundered using Terg-O-Tometer under washing conditions. The removal efficiency was evaluated by analysis of protein on the fabrics before and after washing by means of copper-Folin method. The relations between the removal and the characteristics of protease were discussed. Also the degradation of protein were examined by microscopy. The seperation of human epidermal stratum corneum after hydrolysis was examined by SDS-PAGE. The results obtained were as follow : 1. The protein from the soiled cotton fabric was removed effectively by adding protease. The removal of protein was increased in proportion to increasing of the enzyme concentration up to a certain point, but it began to decrease above the point. The removal effect was high in the order of casein>human epidermal stratum corneum>hemoglobin. Especially the protein was more effectively removed in ADS solution(pH 9.5) containing enzyme. 2. When protease was used with ADS. the removal of protein was efficiently showed in relatively short time(5~15min.) compared to using ADS only. It is due to the properties of this enzyme that reacts with very short time. 3. Even at low temperature the removal efficiency of enzyme was relatively higher compared with the activity of enzyme. The removal of protein soil was increased up to a maximum near $50^{\circ}C$, and then decreased. 4. The removal of protein by protease was improved with the increase of alkalinity in the pH range from 9.5 to 11.0 but it began to decrease above pH 11.0. 5. According to the increase of mechanical agitation, the removal effect was increased. But the removal efficiency of protease was more effective compared with the agitation in detergency. 6. According to the SDS-PAGE separation and micrograph it was confirmed that the human epidermal corneum was effectively hydrolysed by the enzyme added. So the fragments of protein were removed more efficiently by means of the interfacial reaction of AOS.

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징악기의 RIM 깊이에 따른 음향 증폭 및 음향 지속 시간에 관한 연구 (A Study on the Sound Amplitude and Decaying Time of the Jing Depending on the Depth of Rim)

  • 손정호;배명진
    • 방송공학회논문지
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    • 제9권4호
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    • pp.424-433
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    • 2004
  • 징은 한국의 전통국악기 가운데 대중들에게 가장 친근한 사물놀이 악기중의 하나이다. 이 사물 악기 가운데 징 악기의 소리는 웅장하고 부드러우며 아름다운 긴 여운의 소리를 갖고 있어서, 사물놀이 연주 시 다른 사물악기들의 연주음을 감싸주는 역할을 한다. 징의 재질은 동과 주석을 78:22의 비율로 합금한 유기(놋쇠) 제품으로 만들 때는 방짜유기로 만든다. 구조는 직경 $39{\~}40cm$인 둥근 원판과 깊이가 $7.0{\~}7.5cm$로 된 림(Rim:전두리)으로 되어 있다. 징 악기를 연주 할 때 원판의 가운데를 치면 이를 지지하고 있는 RIM이 함께 공명을 일으켜서 만곡면의 원판 소리보다 낮은 주파수의 소리를 낸다. 그래서 징은 RIM의 두께와 깊이에 따라서 새로운 공명 주파수를 만들고 음의 지속시간도 변화 시키고 있다. 즉 본 실험 연구 결과, 온전한 Rim의 징소리의 주요 주파수 범위는 $118{\~}336[Hz]$로서 약 20초간 지속되며, Rim을 반으로 짜른후의 징소리의 주파수는$139.9{\~}387.5[Hz]$로 높아지고, 울림이 10초간 지속되며, Rim을 완전히 제거된 징소리의 주파수는 $990.5{\~}1,372[Hz]$로 점 점 높아지며 소리의 지속 시간은 5초로 줄어들었다. 본 논문에서는 만곡 면으로 된 원판을 지지하고 있는 징의 Rim 두께와 깊이의 따라 징소리의의 세기를 나타내는 진폭과 징소리 긴 여운의 지속 시간이 변동되는 관계를 알 수 있었다.

전해 도금법을 이용한 공정 납-주석 플립 칩 솔더 범프와 UBM(Under Bump Metallurgy) 계면반응에 관한 연구 (Studies on the Interfacial Reaction between electroplated Eutectic Pb/Sn Flip-Chip Solder Bump and UBM(Under Bump Metallurgy))

  • 장세영;백경옥
    • 한국재료학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.288-294
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    • 1999
  • 솔더 범프를 사용하는 플립 칩 접속기술에서 범프와 칩 사이에 위치하는 금속 충들의 조합을 UBM(Under Bump Metallurgy)라고 부르며 이 UBM을 어떤 조합으로 사용하는 가에 따라 접속의 안정성이 크게 좌우된다. 본 연구에서는 UBM중에서 솔더 접착 층으로 사용되는 구리 층의 두께를 $1\mu\textrm{m}와 5\mu\textrm{m}$로 하는 한편 barrier 층으로 사용되는 금속 층을 Ti, Ni, Pd으로 변화시키면서 이들 UBM과 공정 납-주석 사이의 계면반응을 살펴보았다. 이를 위해 $100\mu\textrm{m}$ 크기의 솔더 범프를 전해도금법을 사용하여 제작하고 리플로 횟수와 시효시간에 따른 각 UBM에서의 금속간 화합물의 성장을 관찰하였다. $Cu_6Sn_5 \eta'$-상 금속간 화합물이 모든 조건에서 형성되었고 Cu층의 두께가 $5\mu\textrm{m}$로 두꺼운 경우에는 $Cu_3Sn \varepsilon$-상도 관찰되었다. Pd을 사용한 UBM 구조에서는 시효 처리시에 $Cu_6Sn_5$ 상 아래쪽에 $PdSn_4$상이 형성되었다. 또한 이들 계면에서의 금속간 화합물의 성장은 솔더 범프의 접속강도 값과 밀접한 관계를 가진다.

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비파괴 분석을 활용한 조선시대 유리구슬의 특성 분석 (An Analysis of the Characteristics of Glass Beads from the Joseon Dynasty Using Non-destructive Analysis)

  • 이수진;김규호
    • 박물관보존과학
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    • 제30권
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    • pp.71-88
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    • 2023
  • 조선시대 유리구슬의 가시적 특성과 화학 조성을 알아보고 그에 따른 연관성을 알아보았다. 또한 권역에 따른 특성에 대하여 고찰하였다. 연구 대상은 경기, 충청, 경상권역 25개소에서 출토된 1,819점으로 이 중에서 화학 조성 분석은 537점을 실시하였다. 조선시대 유리구슬은 크게 둥근형, 코일형, 꽃잎형, 연주형, 납작형, 대추형과 표주박형 구슬 등의 형태가 나타난다. 색상은 크게 갈색계(갈색, 담황색), 청색계(청록색, 벽색, 감청색), 백색계(무색, 백색), 녹색계(녹색, 녹청색, 녹갈색) 등이 나타난다. 갈색이 가장 많은 수량을 차지하고 다음으로 청록색과 벽색이 주로 확인된다. 조선시대 유리구슬 제작기법은 대표적으로 말은 기법이 확인된다. 유리구슬의 융제는 주로 K2O가 사용되었고, 포타쉬유리군, 알칼리혼합유리군 등이 가장 많은 수량을 차지한다. 안정제는 융제의 종류에 따라 다르긴 하나 주로 CaO와 Al2O3가 사용되었다. 포타쉬유리군과 포타쉬납유리군은 HCLA계, 알칼리혼합유리군은 HCA계. 이와 반대로 납유리군은 LCA계에 속한다. 색상과 형태의 연관성으로 갈색계와 청색계는 둥근형이 가장 많으며 청색계는 코일형이 두드러지게 나타난다. 녹색계와 무색계도 코일의 비중이 높고 백색은 꽃잎형의 비중이 높다. 형태와 화학 조성에 대한 연관성으로 둥근형, 꽃잎형, 연주형은 포타쉬유리군이, 코일형과 납작형은 알칼리혼합유리군의 수량이 많다. 색상과 화학조성의 연관성으로 각 색상의 착색제에 대하여 알아보았다. 갈색과 백색은 Fe, 담황색은 Ti, Fe가 착색제로 작용하였다. 감청색은 Co가, 벽색과 청록색, 녹색, 녹청색은 Fe와 Cu가 작용하였으며, 무색은 착색제의 성분함량이 대체적으로 낮은 편이다.

스퍼터링 증확 CdTe 박막의 두께 불균일 현상 개선을 위한 화학적기계적연마 공정 적용 및 광특성 향상 (Application of CMP Process to Improving Thickness-Uniformity of Sputtering-deposited CdTe Thin Film for Improvement of Optical Properties)

  • 박주선;임채현;류승한;명국도;김남훈;이우선
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.375-375
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    • 2010
  • CdTe as an absorber material is widely used in thin film solar cells with the heterostructure due to its almost ideal band gap energy of 1.45 eV, high photovoltaic conversion efficiency, low cost and stable performance. The deposition methods and preparation conditions for the fabrication of CdTe are very important for the achievement of high solar cell conversion efficiency. There are some rearranged reports about the deposition methods available for the preparation of CdTe thin films such as close spaced sublimation (CSS), physical vapor deposition (PVD), vacuum evaporation, vapor transport deposition (VTD), closed space vapor transport, electrodeposition, screen printing, spray pyrolysis, metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD), and RF sputtering. The RF sputtering method for the preparation of CdTe thin films has important advantages in that the thin films can be prepared at low growth temperatures with large-area deposition suitable for mass-production. The authors reported that the optical and electrical properties of CdTe thin film were closely connected by the thickness-uniformity of the film in the previous study [1], which means that the better optical absorbance and the higher carrier concentration could be obtained in the better condition of thickness-uniformity for CdTe thin film. The thickness-uniformity could be controlled and improved by the some process parameters such as vacuum level and RF power in the sputtering process of CdTe thin films. However, there is a limitation to improve the thickness-uniformity only in the preparation process [1]. So it is necessary to introduce the external or additional method for improving the thickness-uniformity of CdTe thin film because the cell size of thin film solar cell will be enlarged. Therefore, the authors firstly applied the chemical mechanical polishing (CMP) process to improving the thickness-uniformity of CdTe thin films with a G&P POLI-450 CMP polisher [2]. CMP process is the most important process in semiconductor manufacturing processes in order to planarize the surface of the wafer even over 300 mm and to form the copper interconnects with damascene process. Some important CMP characteristics for CdTe were obtained including removal rate (RR), WIWNU%, RMS roughness, and peak-to-valley roughness [2]. With these important results, the CMP process for CdTe thin films was performed to improve the thickness-uniformity of the sputtering-deposited CdTe thin film which had the worst two thickness-uniformities of them. Some optical properties including optical transmittance and absorbance of the CdTe thin films were measured by using a UV-Visible spectrophotometer (Varian Techtron, Cary500scan) in the range of 400 - 800 nm. After CMP process, the thickness-uniformities became better than that of the best condition in the previous sputtering process of CdTe thin films. Consequently, the optical properties were directly affected by the thickness-uniformity of CdTe thin film. The absorbance of CdTe thin films was improved although the thickness of CdTe thin film was not changed.

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Aluminum Powder Metallurgy Current Status, Recent Research and Future Directions

  • Schaffer, Graham
    • 한국분말야금학회:학술대회논문집
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    • 한국분말야금학회 2001년도 추계학술강연 및 발표대회
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    • pp.7-7
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    • 2001
  • The increasing interest in light weight materials coupled to the need for cost -effective processing have combined to create a significant opportunity for aluminum P/M. particularly in the automotive industry in order to reduce fuel emissions and improve fuel economy at affordable prices. Additional potential markets for Al PIM parts include hand tools. Where moving parts against gravity represents a challenge; and office machinery, where reciprocating forces are important. Aluminum PIM adds light weight, high compressibility. low sintering temperatures. easy machinability and good corrosion resistance to all advantages of conventional iron bm;ed P/rv1. Current commercial alloys are pre-mixed of either the AI-Si-Mg or AL-Cu-Mg-Si type and contain 1.5% ethylene bis-stearamide as an internal lubricant. The powder is compacted in closed dies at pressure of 200-500Mpa and sintered in nitrogen at temperatures between $580~630^{\circ}C$ in continuous muffle furnace. For some applications no further processing is required. although most applications require one or more secondary operations such as sizing and finishing. These sccondary operations improve the dimension. properties or appearance of the finished part. Aluminum is often considered difficult to sinter because of the presence of a stable surface oxide film. Removal of the oxide in iron and copper based is usually achieved through the use of reducing atmospheres. such as hydrogen or dissociated ammonia. In aluminum. this occurs in the solid st,lte through the partial reduction of the aluminum by magncsium to form spinel. This exposcs the underlying metal and facilitates sintering. It has recently been shown that < 0.2% Mg is all that is required. It is noteworthy that most aluminum pre-mixes contain at least 0.5% Mg. The sintering of aluminum alloys can be further enhanced by selective microalloying. Just 100ppm pf tin chnnges the liquid phase sintering kinetics of the 2xxx alloys to produce a tensile strength of 375Mpa. an increilse of nearly 20% over the unmodified alloy. The ductility is unnffected. A similar but different effect occurs by the addition of 100 ppm of Pb to 7xxx alloys. The lend changes the wetting characteristics of the sintering liquid which serves to increase the tensile strength to 440 Mpa. a 40% increase over unmodified aIloys. Current research is predominantly aimed at the development of metal matrix composites. which have a high specific modulus. good wear resistance and a tailorable coefficient of thermal expnnsion. By controlling particle clustering and by engineering the ceramic/matrix interface in order to enhance sintering. very attractive properties can be achicved in the ns-sintered state. I\t an ils-sintered density ilpproaching 99%. these new experimental alloys hnve a modulus of 130 Gpa and an ultimate tensile strength of 212 Mpa in the T4 temper. In contest. unreinforcecl aluminum has a modulus of just 70 Gpa.

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Total Dietary Fiber and Mineral Absorption

  • Gordon, Dennis-T.
    • Journal of Nutrition and Health
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    • 제25권6호
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    • pp.429-449
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    • 1992
  • The consumption of foods rich in TDF should not be associated with impaired mineral absorp-tion and long-term mineral status. In surveys of populations consuming high amounts of TDF e.g Third World populations and vegetarinas gross deficiencies in mineral nutrition have not been noted. If mineral status is low among these groups it is most likely caused by the inadequacy or imbalance of the diet and not by the TDF. The key word is interaction which should be inte-rpreted in dietary imbalances that produce nut-rient deficiencies. There are no strong data to support the concept that TDF inhibits mineral absorption through a binding chelation mechanism. Limited data sug-gest that positively charged groups on polymers such as chitosan and cholestyramine will decrease iron absorption in humans and animals. Because TDF does not contain positively charged groups future research should be directed at the possible role of protein consumed along with TDF and the combination of effects on mineral nutrition Phytic acid is acknowledged as a potent chela-tor of zinc. However its association with zinc and its propensity to lower Zn bioavaiability may enhance the absorption of other elements notably copper and iron. The importance of interactions among nutrients including TDF will gain addi-tional attention in the scientific community. Soluble and insoluble dietary fiber function di-fferently in the intestine. Insoluble fibers accele-rate movement through the intestine. Soluble die-tary fibers appear to regulated blood concentra-tions of glucose and cholesterol albeit by some unknown mechanism. In creased viscosity produ-ced by the SDF in the intestine may provide an explanation of how this class of polymers affects plasma glucose cholesterol and other nutrients. Employing a double-perfusion technique in the rat we demonstrated that viscosity produced by SDF will delay transfer of zinc into the circulatory system. This delayed absorption should not be interpreted as decreased utilization. A great deal of additional research is required to prove the importance of luminaly viscosity produced by SDF on slowing nutrient absorption or regulating bllod nutrient homeostasis. Increased intake of TDF in the total human diet appears desirable. A dietary intake of 35g/day should not be considered to have a negative effect on mineral absorption. It is important to educate people that an intake of more than 35g TDF/day may cause an imbalance in the diet that can adve-rsely affect mineral utilization. Acknowledgments. Appreciation is given to Dr. George V. Vahouny(deceased) who was intense a great competitor in and out of science and who gave the author inspiration Portions of this work were supported by the University of Missouri Ag-ricultural Station and by a grant from the Univer-rch Support Grant RR 07053 from the National Institutes of Health. Contribution of the Missouri Agriculatural Experiments Station Journal Series No. 10747.

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