• 한국정밀공학회지
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• 제23권6호
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• pp.104-110
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• 2006

A design and control of electrostatic suspension system for flexible objects is presented. A number of electrode pairs of which the number depends on the object flexibility are positioned above the object and the voltages applied to each electrode pair are controlled, independently on the others, on the basis of the gap length. To implement the system with low cost and compactness, switched-voltage control scheme that is based on the relay feedback control is utilized. Relay feedback control method deploys only a single high-voltage power supply that can deliver a DC voltage of positive and/or negative polarity and thus high voltage amplifiers that are costly and bulky are not needed any more. It is shown that despite the inherent limit cycle property of the relay feedback based control, an excellent performance in vibration suppression is attained due to the presence of a relatively large squeeze film damping originating from the electrodes and levitated object. Employing fourteen electrode pairs, a thin aluminum plate with a thickness of 0.1 mm has been suspended at a gap length of 0.75mm.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2006년도 제37회 하계학술대회 논문집 B
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• pp.1045-1046
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• 2006

최근 반도체 및 FPD 산업에서 Glass의 사이즈, 무게의 증가함에 따라 물류 이송 장비의 전원장치인 비접촉 전원장치의 크기와 용량이 증가하는 추세이며, 또한, 클린룸의 규모가 커짐에 따라 물류 이송 장비 시스템의 길이가 길어지고 Vehicle의 수가 증가하는 추세이다. 본 논문에서는 여러 대의 Vehicle간 독립제어가 가능하고, 물류 이송 장비의 구조가 직선부분과 곡선부분이 혼용되어진 구조에서도 사용 가능한 정전류 비접촉 전원장치의 주요 전력변환 토플로지 별 해로해석, 제어방법을 제시하였고 특히 직 병렬 공진 컨버터의 회로해석, 특성평가를 행하였다. 이 특성평가를 바탕으로 정전류 비접촉 전원장치의 시제품을 제작하여 저항성 부하와 선형 구동 시스템에 적용한 Vehicle 2대를 부하로 사용하여 실험을 행하여 실제 적용, 가능함을 보이고자 한다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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• pp.1124-1125
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• 2007

클린룸의 규모가 커짐에 따라 물류 이송 장비의 사이즈가 커지고 길이가 장거리화 되고 있다. 이에 이송대차(Vehicle)의 수가 증가하는 추세이다. 같은 클린룸 공간에서 물류 이송 시스템의 공간 활용 밀도를 높이면 생산수율을 높일 수 있다. 따라서 OHS(Over Head Shuttle) 시스템은 여러 대의 이송대차간 독립제어가 가능하고, 물류 이송 장비의 구조가 직선구간과 곡선구간이 혼용되어진 구조를 가지며, OHS 시스템의 이송대차에 전원을 안정적으로 공급하기 위한 비접촉 전원장치에 관한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 따라서 본 논문은 직선구간과 곡선구간에서 비접촉 전원장치를 안정적인 전원을 공급하기 위한 방법을 제시하고, 기존 방법과 비교 검토하기 위해 시작품을 제작하여 이동대차 2대를 대상으로 실험을 행하여 검증하였다.